一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法技术

本发明专利技术公开了一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，利用单点金刚石飞切机床飞切加工被加工零件，在加工过程中通过调整主轴的转速实现连续微小尺度台阶加工。本发明专利技术在传统超精密单点金刚石飞切工艺的基础上，利用单点金刚石飞切机床在加工环境精确控制的条件下，以超精密数控机床作为加工平台，采用天然单晶金刚石刀具通过单点切削的方式直接加工出高精度平面，利用飞切刀盘在主轴不同转速下，由于离心力作用导致单点金刚石刀具切削点产生高度变化从而实现连续微小尺度台阶的确定量加工。利用该方法可以实现数微米、高陡度台阶的超精密飞切加工，为表面微小尺度台阶的超精密加工提供一种有效加工方法。

A micro scale step ultra precision flying cutting method

【技术实现步骤摘要】
一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法
本专利技术涉及机械加工
，具体涉及一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法。
技术介绍
连续微小尺度台阶以其特殊的物理、光学特性在减摩降阻、光电显示领域具有重要应用价值。由于其特殊的应用领域要求连续微小尺度台阶具有极高的表面形貌精度与超低的表面粗糙度值，该项制造技术具有重要战略意义与经济价值。传统单点金刚石飞切仅用于加工平面类零件，但目前部分光学零件要求在对于连续微小尺度台阶加工，大多是在超精密数控机床上采用快刀伺服进行加工。受限于快刀伺服加工机构的精度，加工的连续微小尺度台阶高度尺寸无法进一步降低。并且，快刀伺服无法在一个平面上加工出一个连续的连续微小尺度台阶，难以满足应用需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，本专利技术所述加工方法能够实现微米至亚微米尺度台阶超精密加工，为连续微小尺度台阶加工提供一种新方法，解决传统快刀伺服加工机构受限于精度的温度。本专利技术通过下述技术方案实现：一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，利用单点金刚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，利用单点金刚石飞切机床飞切加工被加工零件(1)，在加工过程中通过调整主轴(3)的转速实现连续微小尺度台阶加工。/n

【技术特征摘要】
1.一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，利用单点金刚石飞切机床飞切加工被加工零件(1)，在加工过程中通过调整主轴(3)的转速实现连续微小尺度台阶加工。


2.根据权利要求1所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)、高精度平面单点金刚石飞切加工：设置主轴(3)的转速为n1，采用单点金刚石刀具(5)对被加工零件(1)表面进行飞切加工；
2)、连续微小尺度台阶超精密飞切加工：改变主轴(3)的转速为n2，其中，n2>n1，采用单点金刚石刀具(5)对被加工零件(1)表面进行飞切加工，同时，直线运动机构(2)在加工长度方向做直线进给运动。


3.根据权利要求2所述的一种微米尺度台阶超精密飞切加工方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：阳红，张敏，戴晓静，刘有海，宋珂炜，尹承真，孙守利，杨光伟，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51