本发明专利技术公开了一种半导体硅片电阻检测分类设备，包括支撑箱以及固定设置于所述支撑箱上端面的两个定位板，所述定位板中设有左右贯穿的插入孔，将刻蚀好的硅片放置于左右所述定位板之间，每个所述插入孔对应一个所述硅片，所述支撑箱上设有可左右移动的传动箱，将刻蚀后的硅片放置于本发明专利技术中指定位置，本发明专利技术即可由上至下依次检测每一个硅片的电阻值，相较于人工检测，效率得到了提高，而且本发明专利技术在检测到不合格硅片后，可自动将不合格硅片取出进行分类，避免了全部检测结束后再取出不合格硅片时错拿的问题。
A device for measuring and classifying the resistance of semiconductor wafer
【技术实现步骤摘要】
一种半导体硅片电阻检测分类设备
本专利技术涉及半导体硅片制造
，具体为一种半导体硅片电阻检测分类设备。
技术介绍
硅片形成的周边PN结这一工序大都采用等离子干法刻蚀方法来完成，操作人员将刻蚀的硅片从刻蚀机里取出后，需使用万用表的表笔对同一张硅片侧边边缘任意两点间的电阻值进行检测，通过电阻值的大小来判断刻蚀效果是否合格，如果刻蚀合格，边缘导电类型是P型，刻蚀不合格，那么边缘导电类型是N型，刻蚀不合格的硅片需要重新刻蚀，由于硅片是数百张堆叠在一起的，而两支表笔须要对准其中一张硅片侧边边缘的任意两点，这个过程由人工来完成较为繁琐，导致检测效率过低，而且当检测到不合格硅片时难以及时将其取出针对上述问题，提出了本专利技术。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种半导体硅片电阻检测分类设备，克服了上述的问题。本专利技术是通过以下技术方案来实现的。一种半导体硅片电阻检测分类设备，包括支撑箱以及固定设置于所述支撑箱上端面的两个定位板，所述定位板中设有左右贯穿的插入孔，将刻蚀好的硅片放置于左右所述定位板之间，每个所述插入孔对应一个所述硅片，所述支撑箱上设有可左右移动的传动箱，所述传动箱左右对称设置，所述传动箱中设有滑动槽，所述滑动槽中设有可上下滑动的滑动块，所述滑动块右端面固定设有表笔，所述表笔插入所述插入孔中后与同一个所述硅片两端相抵检测电阻，所述滑动块相对端面通过第一连接杆固定设有支撑板，所述支撑板前端面固定设有第一电动导轨，所述第一电动导轨上侧设有推出板；所述支撑板上端面固定设有连接板，所述连接板上固定设有位于所述硅片上侧的电动推杆，所述电动推杆下侧的推杆下端固定设有上安装板，所述上安装板下端面前后对称固定设有第二电动导轨，所述第二电动导轨下侧安装有下安装板，所述下安装板下端面固定设有夹紧板，检测到不合格的所述硅片后，所述第二电动导轨启动使前后所述夹紧板相互靠近将所述硅片夹紧，所述电动推杆启动将不合格所述硅片上侧的所述硅片抬起，所述第一电动导轨启动使所述推出板向前运动将不合格所述硅片推出，实现分类。进一步地，所述滑动块相对端面固定设有第二连接杆，左右所述第二连接杆之间设有挡板，所述挡板后端面中左右对称设有弹簧槽，所述弹簧槽中滑动设有运动块，所述运动块与所述弹簧槽内壁之间连接有顶压弹簧，所述第二连接杆与所述运动块前端面固定连接，所述挡板上端始终位于下一个将要进行检测的所述硅片前侧，从而避免推出不合格所述硅片时不合格所述硅片将下侧合格的所述硅片带出。进一步地，所述支撑箱上端面放置有位于所述定位板前侧的储存箱，所述储存箱中设有向上开口的储存腔。进一步地，前后所述夹紧板相对端面固定设有橡胶条。进一步地，所述支撑箱中设有传动腔，所述传动腔顶壁中设有上下贯穿的导向滑槽，所述传动箱下端滑动安装于所述导向滑槽中，所述滑动槽中转动设有螺纹杆，所述螺纹杆下端延伸至所述传动腔中，所述螺纹杆下端固定设有传动齿轮，所述传动腔底壁左右对称转动设有转动轴，左右所述转动轴之间通过传动带轮传动连接，所述转动轴上端固定设有与所述传动齿轮啮合的旋转齿轮，左侧所述转动轴上固定设有第一齿轮，所述传动腔底壁固定设有电机，所述电机上侧动力连接有动力轴，所述动力轴上固定设有可与所述第一齿轮啮合的扇形齿轮。进一步地，所述传动箱与所述导向滑槽内壁之间连接有复位弹簧，左右所述传动箱相对端面固定设有拉线，所述拉线延伸至所述传动腔中，所述导向滑槽中转动设有旋转轴，所述旋转轴上固定设有卷线轮，所述拉线缠绕在所述卷线轮上，所述旋转轴左端固定设有传动锥齿轮，所述传动腔底壁转动设有齿轮轴，所述齿轮轴上固定设有与所述传动锥齿轮啮合的锥齿轮，所述齿轮轴上端固定设有第二齿轮，所述扇形齿轮与所述第一齿轮脱离啮合后与所述第二齿轮啮合。本专利技术的有益效果：将刻蚀后的硅片放置于本专利技术中指定位置，本专利技术即可由上至下依次检测每一个硅片的电阻值，相较于人工检测，效率得到了提高，而且本专利技术在检测到不合格硅片后，可自动将不合格硅片取出进行分类，避免了全部检测结束后再取出不合格硅片时错拿的问题。附图说明为了更清楚地说明专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术整体结构示意图；图2中图1中A-A处处结构示意图；图3是图1中B-B处结构示意图；图4是图1中挡板的正视结构示意图。具体实施方式下面结合图1-4对本专利技术进行详细说明，其中，为叙述方便，现对下文所说的方位规定如下：下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。结合附图1-4所述的一种半导体硅片电阻检测分类设备，主要包括支撑箱10以及固定设置于所述支撑箱10上端面的两个定位板30，所述定位板30中设有左右贯穿的插入孔31，将刻蚀好的硅片放置于左右所述定位板30之间，每个所述插入孔31对应一个所述硅片36，所述支撑箱10上设有可左右移动的传动箱48，所述传动箱48左右对称设置，所述传动箱48中设有滑动槽34，所述滑动槽34中设有可上下滑动的滑动块49，所述滑动块49右端面固定设有表笔47，所述表笔47插入所述插入孔31中后与同一个所述硅片36两端相抵检测电阻，所述滑动块49相对端面通过第一连接杆37固定设有支撑板46，所述支撑板46前端面固定设有第一电动导轨50，所述第一电动导轨50上侧设有推出板38；所述支撑板46上端面固定设有连接板43，所述连接板43上固定设有位于所述硅片36上侧的电动推杆41，所述电动推杆41下侧的推杆下端固定设有上安装板42，所述上安装板42下端面前后对称固定设有第二电动导轨40，所述第二电动导轨40下侧安装有下安装板45，所述下安装板45下端面固定设有夹紧板39，检测到不合格的所述硅片36后，所述第二电动导轨40启动使前后所述夹紧板39相互靠近将所述硅片36夹紧，所述电动推杆41启动将不合格所述硅片36上侧的所述硅片36抬起，所述第一电动导轨50启动使所述推出板38向前运动将不合格所述硅片36推出，实现分类。有益地，所述滑动块49相对端面固定设有第二连接杆33，左右所述第二连接杆33之间设有挡板32，所述挡板32后端面中左右对称设有弹簧槽53，所述弹簧槽53中滑动设有运动块55，所述运动块55与所述弹簧槽53内壁之间连接有顶压弹簧54，所述第二连接杆33与所述运动块55前端面固定连接，所述挡板32上端始终位于下一个将要进行检测的所述硅片36前侧，从而避免推出不合格所述硅片36时不合格所述硅片36将下侧合格的所述硅片36带出。有益地，所述支撑箱10上端面放置有位于所述定位板30前侧的储存箱51，所述储存箱51中设有向上开口的储存腔52。有益地，前后所述夹紧板39相对端面固定设有橡胶条44。有益地，所述支撑箱10中设有传动腔14，所述传动本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体硅片电阻检测分类设备，包括支撑箱以及固定设置于所述支撑箱上端面的两个定位板，其特征在于：所述定位板中设有左右贯穿的插入孔，将刻蚀好的硅片放置于左右所述定位板之间，每个所述插入孔对应一个所述硅片，所述支撑箱上设有可左右移动的传动箱，所述传动箱左右对称设置，所述传动箱中设有滑动槽，所述滑动槽中设有可上下滑动的滑动块，所述滑动块右端面固定设有表笔，所述表笔插入所述插入孔中后与同一个所述硅片两端相抵检测电阻，所述滑动块相对端面通过第一连接杆固定设有支撑板，所述支撑板前端面固定设有第一电动导轨，所述第一电动导轨上侧设有推出板；/n所述支撑板上端面固定设有连接板，所述连接板上固定设有位于所述硅片上侧的电动推杆，所述电动推杆下侧的推杆下端固定设有上安装板，所述上安装板下端面前后对称固定设有第二电动导轨，所述第二电动导轨下侧安装有下安装板，所述下安装板下端面固定设有夹紧板，检测到不合格的所述硅片后，所述第二电动导轨启动使前后所述夹紧板相互靠近将所述硅片夹紧，所述电动推杆启动将不合格所述硅片上侧的所述硅片抬起，所述第一电动导轨启动使所述推出板向前运动将不合格所述圭片推出，实现分类。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体硅片电阻检测分类设备，包括支撑箱以及固定设置于所述支撑箱上端面的两个定位板，其特征在于：所述定位板中设有左右贯穿的插入孔，将刻蚀好的硅片放置于左右所述定位板之间，每个所述插入孔对应一个所述硅片，所述支撑箱上设有可左右移动的传动箱，所述传动箱左右对称设置，所述传动箱中设有滑动槽，所述滑动槽中设有可上下滑动的滑动块，所述滑动块右端面固定设有表笔，所述表笔插入所述插入孔中后与同一个所述硅片两端相抵检测电阻，所述滑动块相对端面通过第一连接杆固定设有支撑板，所述支撑板前端面固定设有第一电动导轨，所述第一电动导轨上侧设有推出板；
所述支撑板上端面固定设有连接板，所述连接板上固定设有位于所述硅片上侧的电动推杆，所述电动推杆下侧的推杆下端固定设有上安装板，所述上安装板下端面前后对称固定设有第二电动导轨，所述第二电动导轨下侧安装有下安装板，所述下安装板下端面固定设有夹紧板，检测到不合格的所述硅片后，所述第二电动导轨启动使前后所述夹紧板相互靠近将所述硅片夹紧，所述电动推杆启动将不合格所述硅片上侧的所述硅片抬起，所述第一电动导轨启动使所述推出板向前运动将不合格所述圭片推出，实现分类。
2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片电阻检测分类设备，其特征在于：所述滑动块相对端面固定设有第二连接杆，左右所述第二连接杆之间设有挡板，所述挡板后端面中左右对称设有弹簧槽，所述弹簧槽中滑动设有运动块，所述运动块与所述弹簧槽内壁之间连接有顶压弹簧，所述第二连接杆与所述运动块前端面固定连接，所述挡板上端始终位于下一个将要进行检测的所述硅片前侧，从而避免推出不合格所述硅片时不合...
【专利技术属性】
技术研发人员：张海朋，
申请(专利权)人：青田林心半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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