一种超纯水自动循环再生系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超纯水自动循环再生系统，原水箱通过管道依次经过石英砂过滤器、活性炭过滤器后至保安过滤器处，保安过滤器出水出接一级R0泵，一级R0泵的出水端经管道与一级R0膜组连接，一级R0膜组出水端接一级纯水箱，一级纯水箱通过管道连接二级R0泵，二级R0泵经管道与二级R0膜组连接，二级R0膜组出水端接二级R0水箱，二级R0水箱出水端经R0纯水泵、精密过滤器后接至edi，与纯化水水箱连接，纯化水水箱经管道依次经过纯化水泵、紫外杀菌器、抛光混床后出水。

An automatic recycling system of ultra pure water

【技术实现步骤摘要】
一种超纯水自动循环再生系统
本技术涉及水体处理及供水领域，更涉及一种超纯水自动循环再生系统。
技术介绍
超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水，常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等，此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。现有CN201620794946.4一种自循环超纯水设备，包括原水箱、机械过滤器、二级反渗透系统、中间水箱、连续电除盐系统、超纯水供水泵、超纯水备用氮封水箱和超纯水备用供水泵，所述原水箱连接机械过滤器，机械过滤器连接二级反渗透系统，二级反渗透系统连接中间水箱，中间水箱连接连续电除盐系统，连续电除盐系统连接超纯水供水泵，超纯水供水泵的出水口连接超纯水备用氮封水箱和车间供水管道；该自循环超纯水设备具有以下优点：一、超纯水供水保持循环式即制即供，供水剩余回到中间箱；二、有备用氮封水箱及供水泵，当二级反渗透系统故障时、中间水箱低位时、连续电除盐系统故障时即可自动启用；三、节省大量氮气，供水水质时刻保持新鲜及高纯度。
技术实现思路
本技术目的在于提供超纯水自动循环再生系统，采用以下技术方案：包括：原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4、加药阻垢装置5、保安过滤器6、一级R0泵7、一级R0膜组8、一级纯水箱9、二级R0泵10、PH调节装置11、二级R0膜组12、二级R0水箱13、R0纯水泵14、精密过滤器15、抛光混床16、纯化水水箱18、纯化水泵19、紫外杀菌器20，所述原水箱1通过管道依次经过石英砂过滤器3、活性炭过滤器4后至保安过滤器6处，保安过滤器6出水出接一级R0泵7，一级R0泵7的出水端经管道与一级R0膜组8连接，一级R0膜组8出水端接一级纯水箱9，一级纯水箱9通过管道连接二级R0泵10，二级R0泵10经管道与二级R0膜组12连接，二级R0膜组12出水端接二级R0水箱13，二级R0水箱13出水端经R0纯水泵14、精密过滤器15后接至17，17与纯化水水箱18连接，纯化水水箱18经管道依次经过纯化水泵19、紫外杀菌器20、抛光混床16后出水。优选的，所述原水箱1通过水管接入自来水，原水箱1内还有液位变送器LT，并在水管上皆有进水电磁阀D1。优选的，活性炭过滤器4和保安过滤器6之间还有加药阻垢装置5，加药阻垢装置5通过加药管道向水体内加药。优选的，加药阻垢装置5和保安过滤器6之间的官道上还有RO进水阀，所述RO进水阀为常开型，预处理反洗及一级RO水箱高液位时关闭。优选的，一级R0泵7与一级R0膜组8之间的官道上有压力变送器FI、FT，用于监测水体压力变化，并通过压力表就地显示PI进行显示。优选的，一级R0膜组8与一级纯水箱9之间的管体上有PH调节装置11。优选的，一级纯水箱9内有液位变送器LT，用于监测水箱内液位，一级纯水箱9还通过管体直接接至二级R0水箱13。优选的，水箱13的进水管道上有二级电磁阀D2，其在二级RO高压泵运行时打开，出水水质不合格时关闭。优选的，二级R0膜组12还通过管道接至原水箱1。优选的，edi17与纯化水水箱18之间的官道上有EDI电磁阀，其在RO纯水泵运行时打开，出水水质不合格时关闭。本技术有益效果：水体经过过滤、多级反渗透、精密过滤、EDI连续电除盐、抛光混床后进行紫外杀菌，然后进入到纯化水水箱内，并且在在二级RO膜组与原水箱之间接管道、一级RO纯水箱与二级RO纯水箱之间连接管道、将反渗透后的水体再次循环，经过多次循环后提高水体的纯度。附图说明下面将参照图，对本技术作进一步详细的说明。构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1是本专利申请的结构示意图；图中，1、原水箱；2、原水泵；3、石英砂过滤器；4、活性炭过滤器；5、加药阻垢装置；6、保安过滤器；7、一级R0泵；8、一级R0膜组；9、一级纯水箱；10、二级R0泵；11、PH调节装置；12、二级R0膜组；13、二级R0水箱；14、R0纯水泵；15、精密过滤器；16、抛光混床；17、edi；18、纯化水水箱；19、纯化水泵；20、紫外杀菌器。D1、进水电磁阀；LT、液位变送器；CT、电导率监测；CI、电导率监测变送；FT压力变送器；PI、压力表就地显示；QI、流量表就地显示。具体实施方式以下结合附图对本技术的实施例进行详细说明。由图1所示，本专利申请包括：原水箱1、原水泵2、石英砂过滤器3、活性炭过滤器4、加药阻垢装置5、保安过滤器6、一级R0泵7、一级R0膜组8、一级纯水箱9、二级R0泵10、PH调节装置11、二级R0膜组12、二级R0水箱13、R0纯水泵14、精密过滤器15、抛光混床16、纯化水水箱18、纯化水泵19、紫外杀菌器20，所述原水箱1通过管道依次经过石英砂过滤器3、活性炭过滤器4后至保安过滤器6处，保安过滤器6出水出接一级R0泵7，一级R0泵7的出水端经管道与一级R0膜组8连接，一级R0膜组8出水端接一级纯水箱9，一级纯水箱9通过管道连接二级R0泵10，二级R0泵10经管道与二级R0膜组12连接，二级R0膜组12出水端接二级R0水箱13，二级R0水箱13出水端经R0纯水泵14、精密过滤器15后接至17，17与纯化水水箱18连接，纯化水水箱18经管道依次经过纯化水泵19、紫外杀菌器20、抛光混床16后出水。优选的，所述原水箱1通过水管接入自来水，原水箱1内还有液位变送器LT，并在水管上皆有进水电磁阀D1。优选的，活性炭过滤器4和保安过滤器6之间还有加药阻垢装置5，加药阻垢装置5通过加药管道向水体内加药。优选的，加药阻垢装置5和保安过滤器6之间的官道上还有RO进水阀，所述RO进水阀为常开型，预处理反洗及一级RO水箱高液位时关闭。优选的，一级R0泵7与一级R0膜组8之间的官道上有压力变送器FI、FT，用于监测水体压力变化，并通过压力表就地显示PI进行显示。优选的，一级R0膜组8与一级纯水箱9之间的管体上有PH调节装置11。优选的，一级纯水箱9内有液位变送器LT，用于监测水箱内液位，一级纯水箱9还通过管体直接接至二级R0水箱13。优选的，水箱13的进水管道上有二级电磁阀D2，其在二级RO高压泵运行时打开，出水水质不合格时关闭。优选的，二级R0膜组12还通过管道接至原水箱1。优选的，edi17与纯化水水箱18之间的官道上有EDI电磁阀，其在RO纯水泵运行时打开，出水水质不合格时关闭。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术；对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯水自动循环再生系统，包括：原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、加药阻垢装置、保安过滤器、一级R0泵、一级R0膜组、一级纯水箱、二级R0泵、PH调节装置、二级R0膜组、二级R0水箱、R0纯水泵、精密过滤器、抛光混床、纯化水水箱、纯化水泵、紫外杀菌器，其特征在于：所述原水箱通过管道依次经过石英砂过滤器、活性炭过滤器后至保安过滤器处，保安过滤器出水出接一级R0泵，一级R0泵的出水端经管道与一级R0膜组连接，一级R0膜组出水端接一级纯水箱，一级纯水箱通过管道连接二级R0泵，二级R0泵经管道与二级R0膜组连接，二级R0膜组出水端接二级R0水箱，二级R0水箱出水端经R0纯水泵、精密过滤器后接至edi，与纯化水水箱连接，纯化水水箱经管道依次经过纯化水泵、紫外杀菌器、抛光混床后出水。/n

【技术特征摘要】
1.一种超纯水自动循环再生系统，包括：原水箱、原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、加药阻垢装置、保安过滤器、一级R0泵、一级R0膜组、一级纯水箱、二级R0泵、PH调节装置、二级R0膜组、二级R0水箱、R0纯水泵、精密过滤器、抛光混床、纯化水水箱、纯化水泵、紫外杀菌器，其特征在于：所述原水箱通过管道依次经过石英砂过滤器、活性炭过滤器后至保安过滤器处，保安过滤器出水出接一级R0泵，一级R0泵的出水端经管道与一级R0膜组连接，一级R0膜组出水端接一级纯水箱，一级纯水箱通过管道连接二级R0泵，二级R0泵经管道与二级R0膜组连接，二级R0膜组出水端接二级R0水箱，二级R0水箱出水端经R0纯水泵、精密过滤器后接至edi，与纯化水水箱连接，纯化水水箱经管道依次经过纯化水泵、紫外杀菌器、抛光混床后出水。


2.根据权利要求1所述的一种超纯水自动循环再生系统，其特征在于：所述原水箱通过水管接入自来水，原水箱内还有液位变送器，并在水管上皆有进水电磁阀。


3.根据权利要求1所述的一种超纯水自动循环再生系统，其特征在于：活性炭过滤器和保安过滤器之间还有加药阻垢装置，加药阻垢装置通过加药管道向水体内加药。


4.根据权利要求1所述的一种超纯水自动循环再生系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱新华，
申请(专利权)人：无锡科雷水处理设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32