【技术实现步骤摘要】
单晶提拉用晶种保持器及使用该装置的硅单晶的制造方法
本专利技术涉及一种单晶提拉用晶种保持器，更详细而言涉及一种通过切克劳斯基法（以下称为CZ法）制造硅单晶时所使用的单晶提拉用晶种保持器。并且，本专利技术涉及一种使用这种晶种保持器的硅单晶的制造方法。
技术介绍
作为硅晶片的材料的硅单晶较多通过CZ法来制造。CZ法是如下方法：将晶种浸渍于石英坩埚内所容纳的硅熔液内，使晶种及石英坩埚旋转的同时缓慢地提拉晶种，由此育成在晶种的下端具有与该晶种相同的结晶方位的硅单晶。近年来，随着提拉的硅单晶的大型化，保持晶种的石墨制的晶种保持器（晶种卡盘）的强度成为问题。当晶种保持器的强度不足时，有可能保持器本身无法承受硅单晶的大重量而产生断裂，导致硅单晶掉落。为了提高晶种保持器的强度，例如在专利文献1中提出了碳纤维布强化石墨制的晶种保持器。该晶种保持器具有如下结构：制造至少在下部外周部沿周向卷装碳纤维，在其他部分沿垂直方向排列有碳纤维。并且，在专利文献2、3中，提出了如下方法：通过在晶种的锥部与晶种保持器的表面之间夹杂缓冲材料，不会...
【技术保护点】
1.一种晶种保持器，其由碳纤维强化碳复合材料构成，且为具有与大致棒状的晶种的外形相符的形状的空心部的大致圆筒状的单晶提拉用晶种保持器，所述晶种保持器的特征在于，/n至少与晶种的外周面接触的部分的碳纤维的方向从所述空心部的中心轴观察时具有各向同性，/n除了与所述晶种的外周面接触的部分以外的部分的碳纤维的方向从所述空心部的中心轴观察时具有各向异性。/n
【技术特征摘要】
20150409 JP 2015-0798641.一种晶种保持器，其由碳纤维强化碳复合材料构成，且为具有与大致棒状的晶种的外形相符的形状的空心部的大致圆筒状的单晶提拉用晶种保持器，所述晶种保持器的特征在于，
至少与晶种的外周面接触的部分的碳纤维的方向从所述空心部的中心轴观察时具有各向同性，
除了与所述晶种的外周面接触的部分以外的部分的碳纤维的方向从所述空心部的中心轴观察时具有各向异性。
2.根据权利要求1所...
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