下载单晶提拉用晶种保持器及使用该装置的硅单晶的制造方法的技术资料

文档序号:23360973

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本发明提供一种能够防止晶种内的应力集中的单晶提拉用晶种保持器以及使用该晶种保持器的安全且可靠性高的硅单晶的制造方法。晶种保持器(1)由碳纤维强化碳复合材料构成,且为具有与大致棒状的晶种(9)的外形相符的形状的空心部(10h)的大致圆筒状部件...
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