检测器制造技术

检测器在内部具有感测空间，并包括：光源部，向所述感测空间内射出光；反射器，反射所述光；试样供应部，向所述光的路径内提供试样；第一传感部，感测被所述反射器反射的光；以及第二传感部，感测所述试样引起的散射光和荧光中的至少一个。所述光源、所述第一传感部以及第二传感部提供在所述感测空间内，所述一对延伸部所形成的角度根据所述光的行进路径而设定，从所述光源部射出的所述光中的一部分具有被所述延伸部中的一个反射，并被所述延伸部中的剩余一个反射后向所述第一传感部行进的路径。

detector

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检测器
本专利技术涉及一种检测器，详细地涉及一种检测生物及/或非生物颗粒的检测器。
技术介绍
最近，如半导体那样要求高密度、高纯度的元件正得到开发。为了制造这种元件，需要最少化灰尘或细菌等异物，需要严格控制这种异物。另外，在除半导体元件之类领域之外的各种领域，例如在医疗领域等也需要严格控制异物。由此，需要包含对异物种类、异物量、异物密度等的实时信息的检测器。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够一次性有效地进行对颗粒种类、颗粒量等的定性以及定量分析的感测效率高的检测器。另外，本专利技术的目的在于提供一种紧凑型检测器。本专利技术的一实施例的检测器在内部具有感测空间，并包括：光源部，向所述感测空间内射出光；反射器，反射所述光，并包括向彼此不同方向延伸的一对延伸部；试样供应部，向所述光的路径内提供试样；第一传感部，感测被所述反射器反射的光；以及第二传感部，感测所述试样引起的散射光和荧光中的至少一个。所述光源、所述第一传感部以及第二传感部提供在所述感测空间内，所述一对延伸部所形成的角度根据所述光的行进路径而设定，从所述光源部射出的所述光中的一部分具有被所述延伸部中的一个反射，并被所述延伸部中的剩余一个反射后向所述第一传感部行进的路径。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部射出红外线、可见光以及紫外线中的至少一个波段。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部射出210nm至1200nm的波段。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部包括至少一个光源。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部包括射出彼此不同波长的光的多个光源。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述第一传感部和所述第二传感部中的至少一个包括与所述光源部对应的至少一个传感器。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部射出与所要感测的对象的大小对应的波长的光，所述第一传感部和所述第二传感部中的至少一个感测与所述对象的大小对应的波长的光。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述第一传感部包括第一红外线传感器、第一可见光传感器以及第一紫外线传感器中的至少一个。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述第二传感部包括第二红外线传感器、第二可见光传感器以及第二紫外线传感器中的至少一个。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器还包括：第三传感部，相邻于所述光源部提供，并感测从所述光源部射出的光的光量。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述第三传感部包括第三红外线传感器、第三可见光传感器以及第三紫外线传感器中的至少一个。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述反射器还包括：聚光部，所述聚光部的截面构成曲线的一部分；以及两个延伸部，从所述聚光部的两端延伸，并形成为板状，所述两个延伸部的角度为80度至110度。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器还包括：光学透镜部，提供在所述反射器和所述第二传感部之间。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器还包括：偏振滤波器，提供在所述光的路径上，并使所述光偏振。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器还包括：加热部，向所述感测空间提供热量。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部、所述反射器、所述试样供应部、第一传感部以及所述第二传感部构成检测模组，所述检测模组设置多个。在本专利技术的一实施例中，可以是，从各检测模组的所述光源部射出的光中的至少一部分具有彼此不同波长。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述光源部包括发光二极管。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述试样为流体。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器还包括：感测部，利用被所述第一传感器以及所述第二传感器感测到的值，获取所述试样中的对象物信息；以及显示部，向用户显示所述对象物信息。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器还包括：运算部，从所述感测部接收对象物信息的提供，运算所述对象物信息，向所述显示部提供运算后的对象物信息。在本专利技术的一实施例中，可以是，所述检测器感测所述试样中存在的灰尘、细菌、霉菌以及病毒中的至少一个。本专利技术提供一种紧凑且对预定颗粒的检测灵敏度高的检测器。附图说明图1是示出本专利技术的一实施例的检测器的截面图。图2是示出本专利技术的其它实施例的检测器的截面图。图3是示出本专利技术的又一其它实施例的检测器的截面图。图4是示出本专利技术的又一其它实施例的检测器的截面图。图5是示出本专利技术的又一其它实施例的检测器的截面图。图6是示出本专利技术的又一其它一实施例的检测器的截面图。图7是示出本专利技术的又一其它一实施例的检测器的截面图。图8和图9是分别示出本专利技术的又一其它一实施例的检测器的截面图。图10是概要示出用于说明本专利技术的一实施例的检测器的驱动方法的检测器的结构的框图。图11以及图12是分别示出本专利技术的一实施例的检测器的示意图。具体实施方式本专利技术可以进行各种变形，而以具有各种形态，在附图中例示特定实施例并在本文中进行详细说明。但是，其并不是要将本专利技术限定于特定的公开形态，应理解为包括包含在本专利技术的构思以及技术范围内的所有变形、均等物乃至代替物。以下，参照所附附图更详细说明本专利技术的优选实施例。图1是示出本专利技术的一实施例的检测器的截面图。本专利技术的一实施例涉及一种检测器，详细而言涉及一种检测以流体提供的试样内存在的灰尘、细菌、霉菌、病毒、预定气体等的检测器。换句而言，涉及一种检测由有机材料和无机材料中的至少一种构成的非生物颗粒及/或细胞、细菌、病毒等生物颗粒的检测器。以下，将由灰尘、细菌、霉菌、病毒等有机材料及/或无机材料构成的生物及/或非生物颗粒统称为“颗粒”。所述流体可以为空气、气溶胶等。在本专利技术的一实施例中，灰尘是有机分子、无机分子、有/无机分子复合体、预定气体(SO2、NO2、O3等)等，意指具有预定大小的非生物颗粒。细菌、霉菌、病毒等意指生物颗粒。灰尘、细菌、霉菌、病毒等可以是从纳米大小到毫米大小的各种大小的颗粒。参照图1，本专利技术的一实施例的检测器10具有用于检测提供于内部的颗粒90的感测空间11。检测器10包括：光源部20，向感测空间11内射出光；反射器70，反射光；试样供应部(未图示)，向光通过的路径内提供含有颗粒90的试样；以及传感部，设置在感测空间11内。感测空间11中可以设置光源部20、反射器70、试样供应部、传感部等，只要在向其内部供应试样时能够感测试样内颗粒90，对其形状或者大小不作特别限定。图1中示出的感测空间11在从截面上观察时呈大致五边形形状，但其是为了方便说明而概要示出的，实际形状可以与此不同。感测空间11内主要滞留试样，提供使从光源部20射出的光和试样发生反应的反应区域13。在此，光和试样(或者试样内的颗粒)发生反应不仅意指光被试样发生反射及/或散射的情况，还指光的一部分被试样吸收，或者被吸收之后引起荧光反应等产生物理化学变化的情况。反应区域13的位置不作特别本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测器，在内部具有感测空间，其中，所述检测器包括：/n光源部，向所述感测空间内射出光；/n反射器，反射所述光，并包括向彼此不同方向延伸的一对延伸部；/n试样供应部，向所述光的路径内提供试样；/n第一传感部，感测被所述反射器反射的光；以及/n第二传感部，感测所述试样引起的散射光和荧光中的至少一个，/n所述光源、所述第一传感部以及第二传感部提供在所述感测空间内，所述一对延伸部所形成的角度根据所述光的行进路径而设定，从所述光源部射出的所述光中的一部分具有被所述延伸部中的一个反射，并被所述延伸部中的剩余一个反射后向所述第一传感部行进的路径。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170831 KR 10-2017-01105531.一种检测器，在内部具有感测空间，其中，所述检测器包括：
光源部，向所述感测空间内射出光；
反射器，反射所述光，并包括向彼此不同方向延伸的一对延伸部；
试样供应部，向所述光的路径内提供试样；
第一传感部，感测被所述反射器反射的光；以及
第二传感部，感测所述试样引起的散射光和荧光中的至少一个，
所述光源、所述第一传感部以及第二传感部提供在所述感测空间内，所述一对延伸部所形成的角度根据所述光的行进路径而设定，从所述光源部射出的所述光中的一部分具有被所述延伸部中的一个反射，并被所述延伸部中的剩余一个反射后向所述第一传感部行进的路径。


2.根据权利要求1所述的检测器，其中，
所述光源部射出红外线、可见光以及紫外线中的至少一个波段。


3.根据权利要求2所述的检测器，其中，
所述光源部射出210nm至1200nm的波段。


4.根据权利要求1所述的检测器，其中，
所述光源部包括至少一个光源。


5.根据权利要求4所述的检测器，其中，
所述光源部包括射出彼此不同波长的光的多个光源。


6.根据权利要求1所述的检测器，其中，
所述第一传感部和所述第二传感部中的至少一个包括与所述光源部对应的至少一个传感器。


7.根据权利要求6所述的检测器，其中，
所述光源部射出与所要感测的对象的大小对应的波长的光，所述第一传感部和所述第二传感部中的至少一个感测与所述对象的大小对应的波长的光。


8.根据权利要求6所述的检测器，其中，
所述第一传感部包括第一红外线传感器、第一可见光传感器以及第一紫外线传感器中的至少一个。


9.根据权利要求6所述的检测器，其中，
所述第二传感部包括第二红外线传感器、第二可见光传感器以及第二紫外线传感器中的至少一个。


10.根据权利要求1所述的检测器，其中，
所述检测器还包括：
第三传感部，相邻于所述光源部提...

【专利技术属性】
技术研发人员：金钟晩，朴起延，
申请(专利权)人：首尔伟傲世有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR