制冷剂循环和清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种制冷剂循环和清洁装置，包括：具有输入端和输出端的第一管线，所述输入端能够与制冷设备的出口连通，所述输出端能够与所述制冷设备的入口连通；设置在所述第一管线上并且位于所述输入端与所述输出端之间的第一阀；第二管线，所述第二管线的一端在所述输入端与所述第一阀之间的第一位置处连通到所述第一管线，所述第二管线的另一端在所述第一阀与所述输出端之间的第二位置处连通到所述第一管线；以及依次设置在所述第二管线上的第二阀和过滤器。根据本实用新型专利技术的制冷剂循环和清洁装置，使得制冷剂的装填和清洁过滤变得简单高效，而且可以减少管线种类和数目，便于生产现场的储备和管理。

Refrigerant circulation and cleaning device

【技术实现步骤摘要】
制冷剂循环和清洁装置
本技术涉及制冷系统，尤其涉及在半导体工业中使用的制冷系统的制冷剂循环和清洁装置。
技术介绍
在半导体工业中，通常需要将来自制冷设备的冷却剂输送到生产线上的生产设备例如芯片测试机中以便对芯片测试机进行冷却。图1示意性显示了制冷设备与生产设备之间的管线连接图。制冷设备1的出口3通过输出管线5连接到生产设备7的入口9，生产设备7的出口11通过输入管线13连接到制冷设备1的入口15。经过制冷设备1产生的低温制冷剂经过输出管线5流入生产设备7，制冷剂流过生产设备7内部的热交换管道之后再从生产设备7经过输入管线13流回到制冷设备1。在安装新的制冷设备时或者在对制冷设备中的制冷剂排空进行维护保养之后都需要对制冷设备装填制冷剂。图2示意性地显示了对制冷设备装填制冷剂时的状态。为了使制冷设备内部的管道都充满制冷剂，如图2所示，在对制冷设备装填制冷剂时，需要断开制冷设备1与生产设备7之间的连通，并且利用充填管线17将制冷设备1的出口3与制冷设备1的入口15连通，以便对制冷设备1快速装填制冷剂。由于生产设备7内部的热交换管道相对比较细小，为了防本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制冷剂循环和清洁装置(30)，其特征在于，所述制冷剂循环和清洁装置(30)包括：/n具有输入端(31a)和输出端(31b)的第一管线(31)，所述输入端(31a)能够与制冷设备(1)的出口(3)连通，所述输出端(31b)能够与所述制冷设备(1)的入口(15)连通；/n设置在所述第一管线(31)上并且位于所述输入端(31a)与所述输出端(31b)之间的第一阀(33)；/n第二管线(35)，所述第二管线(35)的一端在所述输入端(31a)与所述第一阀(33)之间的第一位置(37)处连通到所述第一管线(31)，所述第二管线(35)的另一端在所述第一阀(33)与所述输出端(31b)之间的第二位...

【技术特征摘要】
1.一种制冷剂循环和清洁装置(30)，其特征在于，所述制冷剂循环和清洁装置(30)包括：
具有输入端(31a)和输出端(31b)的第一管线(31)，所述输入端(31a)能够与制冷设备(1)的出口(3)连通，所述输出端(31b)能够与所述制冷设备(1)的入口(15)连通；
设置在所述第一管线(31)上并且位于所述输入端(31a)与所述输出端(31b)之间的第一阀(33)；
第二管线(35)，所述第二管线(35)的一端在所述输入端(31a)与所述第一阀(33)之间的第一位置(37)处连通到所述第一管线(31)，所述第二管线(35)的另一端在...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕君，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：新型
国别省市：四川;51