一种碳化硅晶片的抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真空泵，所述吸盘底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管，所述圆柱形固定框顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆，且两个电动伸缩杆的活塞端均焊接有同一个安置框。本实用新型专利技术第一电动伸缩杆下降，碳化硅晶片进入圆盘内部，打磨环对碳化硅晶片进行打磨抛光，实现自动抛光的效果，海绵刷与碳化硅晶片做滑动配合，对碳化硅晶片进行清洁，关闭弧形门板可实现隔尘的效果。

A polishing device for silicon carbide wafer

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片的抛光装置
本技术涉及碳化硅晶片
，尤其涉及一种碳化硅晶片的抛光装置。
技术介绍
碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，目前碳化硅晶片在生产中需要进行抛光，但是难免会出现漏抛和抛光未达到指标的情况，且工厂抛光大多都是有流水线的，再次放回比较麻烦，或者是用手动操作抛光装置对漏抛或抛光未达到指标的碳化硅晶片进行抛光。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片的抛光装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真空泵，所述吸盘底部内壁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框(1)，其特征在于，所述圆柱形固定框(1)外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板(16)，所述圆柱形固定框(1)底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管(2)，所述固定管(2)顶部外壁固定有吸盘(3)且固定管(2)内部设置有真空泵(4)，所述吸盘(3)底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管(5)，所述吸气管(5)与真空泵(4)的吸气端相套接，所述圆柱形固定框(1)顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆(6)，且两个电动伸缩杆(6)的活塞端均焊接有同一个安置框(7)，所述安置框(7)底部内壁固定有电动机(8)，且电动机(8)的...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框(1)，其特征在于，所述圆柱形固定框(1)外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板(16)，所述圆柱形固定框(1)底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管(2)，所述固定管(2)顶部外壁固定有吸盘(3)且固定管(2)内部设置有真空泵(4)，所述吸盘(3)底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管(5)，所述吸气管(5)与真空泵(4)的吸气端相套接，所述圆柱形固定框(1)顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆(6)，且两个电动伸缩杆(6)的活塞端均焊接有同一个安置框(7)，所述安置框(7)底部内壁固定有电动机(8)，且电动机(8)的传动轴底端设置有圆盘(9)，所述圆盘(9)竖截面为凹型，且圆盘(9)内壁固定有打磨环(10)，所述圆盘(9)顶部内壁轴心处通过轴承固定有转轴，且转轴底部外壁固定有缓冲垫(11)，所述圆柱形固定框(1)沿内壁开设有环形安置槽，且环形安置槽内壁通过螺栓固定有电动滑轨(12)，所述电动滑轨(12)的滑动件靠近吸盘(3)的一侧外壁固定有安置板(13)，且安置板(13)靠近吸盘(3)的一侧外壁固定有第二电动伸缩杆(14)，所述第二电动伸缩杆(14)的活塞端设置有海绵刷(15)。

【专利技术属性】
技术研发人员：崔素杭，白欣娇，李帅，李晓波，张震，
申请(专利权)人：同辉电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13