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本实用新型公开了一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真...
该专利属于同辉电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过同辉电子科技股份有限公司授权不得商用。

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