一种基于波导结构的光探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于波导结构的光探测器，该探测器包括衬底、光源、光探测器、光栅，光栅置于衬底上，光源和光探测器置于光栅的两端，光源激发出沿光栅表面传播的电磁波，光探测器探测沿光栅表面传播的电磁波，光栅由非光敏材料条和光敏材料条构成。在被探测光的照射下，光敏材料条的折射率发生变化，从而改变光栅的有效折射率，进而改变光探测器所探测到的光强度，最终确定被探测光的波长或强度等信息。因为不同的光敏材料对不同波段的光具有响应，所以可以通过选择不同的光敏材料，实现对不同波段光的探测。因此，本发明专利技术具有探测波段宽、具有更大的探测极限等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于波导结构的光探测器
本专利技术涉及光探测领域，具体涉及一种基于波导结构的光探测器。
技术介绍
光探测技术是光学工程学科的重要技术，涉及到国民经济的各个方面。光探测器能够检测出入射到其表面的光功率，并将该光功率转化为相应的电流。常见的光探测器类型有光电倍增管、光热电探测器、半导体光探测器等。常规思路是将光转化为热或将光转化为电信号，从而进行探测。探索基于其他机制的光探测器，对于提高探测的波长范围或探测灵敏度具有重要意义。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种基于波导结构的光探测器，该探测器包括衬底、光源、光探测器、光栅，光栅置于衬底上，光源和光探测器置于光栅的两端，光源激发出沿光栅表面传播的电磁波，光探测器探测沿光栅表面传播的电磁波，光栅由非光敏材料条和光敏材料条构成。更进一步地，光敏材料条位于光栅的中部、非光敏材料条位于光栅的两端。更进一步地，与非光敏材料条相邻的光敏材料条的宽度大于其他光敏材料条的宽度。更进一步地，光敏材料条与非光敏材料条间隔设置。更进一步地，光敏材料条本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于波导结构的光探测器，包括衬底、光源、光探测器、光栅，光栅置于衬底上，光源和光探测器置于光栅的两端，光源激发出沿光栅表面传播的电磁波，光探测器探测沿光栅表面传播的电磁波，其特征在于，光栅由非光敏材料条和光敏材料条构成。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于波导结构的光探测器，包括衬底、光源、光探测器、光栅，光栅置于衬底上，光源和光探测器置于光栅的两端，光源激发出沿光栅表面传播的电磁波，光探测器探测沿光栅表面传播的电磁波，其特征在于，光栅由非光敏材料条和光敏材料条构成。


2.如权利要求1所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条位于所述光栅的中部、所述非光敏材料条位于所述光栅的两端。


3.如权利要求2所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：与所述非光敏材料条相邻的光敏材料条的宽度大于其他光敏材料条的宽度。


4.如权利要求1所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条与非光敏材料条间隔设置。


5.如权利要求4所述的基于波导结构的光探测器，其特征在于：所述光敏材料条的宽度大...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：金华伏安光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33