一种带微孔槽的抛光用白垫及生产方法技术

本发明专利技术公开了一种带微孔槽的抛光用白垫及生产方法，带微孔槽的抛光用白垫，包括抛光垫、粘合层和支撑层：所述粘合层均匀的涂覆在支撑层的一圆周面上，抛光垫覆盖在粘合层的另一圆周面上并压紧，抛光垫、粘合层和支撑层叠加固定的外圈上套入锁定环，导热双面胶将粘结在一起，可以从支撑层上剥离，抛光垫、粘合层和支撑层叠加固定的外圈上套入锁定环，锁定环将抛光垫、粘合层和支撑层的边沿固定，并且锁定环的顶部以抛光垫标准凸出的，锁定环将抛光垫外绕框住，外环绕内环旋转至出口与流液口对应，抛光液经过流液口和出口流出，外环绕内环旋转至出口与流液口交错，流液口堵住，可以存放抛光液。

A kind of polishing white pad with microporous groove and its production method

【技术实现步骤摘要】
一种带微孔槽的抛光用白垫及生产方法
本专利技术涉及到一种白垫及生产方法，特别涉及一种带微孔槽的抛光用白垫及生产方法。
技术介绍
在半导体晶片抛光中，可根据经验上获得时间的标准得知对进行抛光的抛光端点的确定。但是，构成待抛光表面的材料很多，并且随材料不同其抛光时间均不同。此外，构成待抛光表面的材料被认为将来会各种各样地改变。此外，用于抛光的研磨剂和抛光设备也是一样的。因此，获得各种不同抛光情况下的所有抛光时间效率很低。另一方面，近年来，人们已经研究了利用可直接测量待抛光表面状态的光学方法地光学端点检测设备，例如，如JP-A-9-7985、JP-A-2000-326220等所述。但是，由于上述抛光垫中的窗口实质上不能保留和释放研磨剂，存在窗口的提供降低抛光垫抛光能力的可能性，并导致不均匀性。此外，由于这个原因，难以增大该窗口(以环形方式等提供)和增加窗口的数目。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种带微孔槽的抛光用白垫及生产方法，具有外环绕内环旋转至出口与流液口交错，流液口堵住，可以存放抛光液的优点。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种带微孔槽的抛光用白垫，包括抛光垫、粘合层和支撑层：所述粘合层均匀的涂覆在支撑层的一圆周面上，抛光垫覆盖在粘合层的另一圆周面上并压紧，抛光垫、粘合层和支撑层叠加固定的外圈上套入锁定环；所述抛光垫包括基层板和抛光块，抛光块呈矩阵式分布在基层板的上表面，矩阵的抛光块之间构成相互交叉的横槽道和纵槽道，横槽道和纵槽道相互垂直分布，并在横槽道和纵槽道交叉的连接处开设孔槽；所述基层板内部沿着横槽道所在的平面上对应加工多个导流孔，导流孔呈倾斜设置，多个导流孔水平低的一端与基层板的侧壁相连通，导流孔水平高的一端与基层板最右侧边沿旁的孔槽相连通，孔槽从左至右依次和导流孔之间连通；所述锁定环包括内环和外环，内环套在基层板的外周面上固定，内环的上开设与导流孔一一对应的流液口；所述外环的内周面上下位置分别焊接上限环和下限环，上限环和下限环之间的外环上加工与流液口一一对应的出口，内环插入上限环和下限环之间，内环的外周面与外环的内周面活动，外环沿着内环旋转。进一步地，孔槽从左至右的深度依次递减，基层板上抛光液流入孔槽从右向左流。进一步地，孔槽的截面形状可以是圆形、多边型、椭圆的一种，或多种形状的孔槽组合设置在基层板上。进一步地，外环绕内环旋转至出口与流液口对应，抛光液经过流液口和出口流出，外环绕内环旋转至出口与流液口交错，流液口堵住，抛光液存留。进一步地，粘合层为3M8810导热双面胶，支撑层为聚醚多元醇交联聚合物。进一步地，孔槽的直径为2～3cm，导流孔、流液口和出口的直径相同均为2～3cm。本专利技术提供另一技术方案，一种带微孔槽的抛光用白垫的生产方法，包括以下步骤：S1：将液体状态的异氰酸酯封端的预聚物与所述中空微孔聚合物混合，真空脱气后倒入模具中，形成抛光垫，粘合层均匀的涂覆在支撑层的一圆周面上，将抛光垫压合在支撑层的粘合层，开模后得到的产物放置到开槽机中，在抛光垫上交错加工横槽道和纵槽道；S2：抛光垫运输至钻孔机内，钻孔机的夹具夹持支撑层保持竖直状态，调整钻孔机的钻头倾斜角度，沿着横槽道并且倾斜加工多个导流孔，旋转抛光垫在横槽道和纵槽道的连接处钻出与导流孔连接的孔槽；S3：将熔化后的合金液体倒入模具中，分别制造为开孔的外环和内环，外环和内环运输到抛光机中表面抛光后，运输到至钻孔机内，钻孔机沿着外环和内环的侧面加工出口与流液口；S4：内环的内径涂胶，内环套在支撑层的外部两者固定，内环插入外环内完成生产。进一步地，针对步骤S4中，内环和外环之间处于密封且旋转状态。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本带微孔槽的抛光用白垫及其生产方法，导热双面胶将抛光垫和支撑层两者粘结在一起，3M8810导热双面胶粘结牢固，可以从支撑层上剥离，抛光垫、粘合层和支撑层叠加固定的外圈上套入锁定环，锁定环将抛光垫、粘合层和支撑层的边沿固定，并且锁定环的顶部以抛光垫标准凸出的，锁定环将抛光垫外绕框住，外环绕内环旋转至出口与流液口对应，抛光液经过流液口和出口流出，外环绕内环旋转至出口与流液口交错，流液口堵住，可以存放抛光液。附图说明图1为本专利技术的整体俯视结构图；图2为本专利技术的整体左侧视图；图3为本专利技术的整体右视图；图4为本专利技术的锁定环结构图。图5为本专利技术的实施例二示意图。图6为本专利技术的实施例三示意图。图中：1、抛光垫；11、基层板；111、导流孔；12、抛光块；2、粘合层；3、支撑层；4、锁定环；41、内环；42、外环；421、上限环；422、下限环；5、横槽道；51、孔槽；6、纵槽道；7、流液口；8、出口。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚；完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例一：请参阅图1，一种带微孔槽的抛光用白垫，包括抛光垫1、粘合层2和支撑层3：粘合层2均匀的涂覆在支撑层3的一圆周面上，抛光垫1覆盖在粘合层2的另一圆周面上并压紧，粘合层2为3M8810导热双面胶，支撑层3为聚醚多元醇交联聚合物，导热双面胶将抛光垫1和支撑层3两者粘结在一起，3M8810导热双面胶粘结牢固，可以从支撑层3上剥离，抛光垫1、粘合层2和支撑层3叠加固定的外圈上套入锁定环4，锁定环4将抛光垫1、粘合层2和支撑层3的边沿固定，并且锁定环4的顶部以抛光垫1标准凸出的，锁定环4将抛光垫1外绕框住，可以存放抛光液。请参阅图2-3，抛光垫1包括基层板11和抛光块12，抛光块12呈矩阵式分布在基层板11的上表面，矩阵的抛光块12之间构成相互交叉的横槽道5和纵槽道6，横槽道5和纵槽道6相互垂直分布，横槽道5和纵槽道6提供2.0-5.0mm，横槽道5和纵槽道6让抛光液可以在上面流动，并在横槽道5和纵槽道6交叉的连接处开设孔槽51，在横槽道5和纵槽道6汇流的抛光液流入孔槽51内；基层板11内部沿着横槽道5所在的平面上对应加工多个导流孔111，导流孔111呈倾斜设置，导流孔111左边低右边高，多个导流孔111水平低的一端与基层板11的侧壁相连通，导流孔111水平高的一端与基层板11最右侧边沿旁的孔槽51相连通，孔槽51从左至右依次和导流孔111之间连通，导流孔111的倾斜设置，抛光液可以直接从导流孔111流动，孔槽51从左至右的深度依次递减，基层板11上抛光液流入孔槽51从右向左流，孔槽51的截面形状可以是圆形、多边型、椭圆的一种，或多种形状的孔槽51组合设置在基层板11上，不同形状的孔槽51形状不会影响其抛光液流入孔槽51内。请参阅图4，锁定环4包括内环41和外环42，内环41套在基层板11的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带微孔槽的抛光用白垫，其特征在于，包括抛光垫(1)、粘合层(2)和支撑层(3)：/n所述粘合层(2)均匀的涂覆在支撑层(3)的一圆周面上，抛光垫(1)覆盖在粘合层(2)的另一圆周面上并压紧，抛光垫(1)、粘合层(2)和支撑层(3)叠加固定的外圈上套入锁定环(4)；/n所述抛光垫(1)包括基层板(11)和抛光块(12)，抛光块(12)呈矩阵式分布在基层板(11)的上表面，矩阵的抛光块(12)之间构成相互交叉的横槽道(5)和纵槽道(6)，横槽道(5)和纵槽道(6)相互垂直分布，并在横槽道(5)和纵槽道(6)交叉的连接处开设孔槽(51)；/n所述基层板(11)内部沿着横槽道(5)所在的平面上对应加工多个导流孔(111)，导流孔(111)呈倾斜设置，多个导流孔(111)水平低的一端与基层板(11)的侧壁相连通，导流孔(111)水平高的一端与基层板(11)最右侧边沿旁的孔槽(51)相连通，孔槽(51)从左至右依次和导流孔(111)之间连通；/n所述锁定环(4)包括内环(41)和外环(42)，内环(41)套在基层板(11)的外周面上固定，内环(41)的上开设与导流孔(111)一一对应的流液口(7)；/n所述外环(42)的内周面上下位置分别焊接上限环(421)和下限环(422)，上限环(421)和下限环(422)之间的外环(42)上加工与流液口(7)一一对应的出口(8)，内环(41)插入上限环(421)和下限环(422)之间，内环(41)的外周面与外环(42)的内周面活动，外环(42)沿着内环(41)旋转。/n...

【技术特征摘要】
1.一种带微孔槽的抛光用白垫，其特征在于，包括抛光垫(1)、粘合层(2)和支撑层(3)：
所述粘合层(2)均匀的涂覆在支撑层(3)的一圆周面上，抛光垫(1)覆盖在粘合层(2)的另一圆周面上并压紧，抛光垫(1)、粘合层(2)和支撑层(3)叠加固定的外圈上套入锁定环(4)；
所述抛光垫(1)包括基层板(11)和抛光块(12)，抛光块(12)呈矩阵式分布在基层板(11)的上表面，矩阵的抛光块(12)之间构成相互交叉的横槽道(5)和纵槽道(6)，横槽道(5)和纵槽道(6)相互垂直分布，并在横槽道(5)和纵槽道(6)交叉的连接处开设孔槽(51)；
所述基层板(11)内部沿着横槽道(5)所在的平面上对应加工多个导流孔(111)，导流孔(111)呈倾斜设置，多个导流孔(111)水平低的一端与基层板(11)的侧壁相连通，导流孔(111)水平高的一端与基层板(11)最右侧边沿旁的孔槽(51)相连通，孔槽(51)从左至右依次和导流孔(111)之间连通；
所述锁定环(4)包括内环(41)和外环(42)，内环(41)套在基层板(11)的外周面上固定，内环(41)的上开设与导流孔(111)一一对应的流液口(7)；
所述外环(42)的内周面上下位置分别焊接上限环(421)和下限环(422)，上限环(421)和下限环(422)之间的外环(42)上加工与流液口(7)一一对应的出口(8)，内环(41)插入上限环(421)和下限环(422)之间，内环(41)的外周面与外环(42)的内周面活动，外环(42)沿着内环(41)旋转。


2.根据权利要求1所述的一种带微孔槽的抛光用白垫，其特征在于，孔槽(51)从左至右的深度依次递减，基层板(11)上抛光液流入孔槽(51)从右向左流。


3.根据权利要求1所述的一种带微孔槽的抛光用白垫，其特征在于，孔槽(51)的截面形状可以是圆形、多边型、椭圆的一种，或多种形状的孔槽(51)组合设置在基层板(11)上。


4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李加海，谭鸿，李元祥，杨惠明，
申请(专利权)人：安徽禾臣新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34