【技术实现步骤摘要】
柴可拉斯基生长装置转换配件
本技术涉及一种用于将柴可拉斯基法生长装置转换成连续的柴可拉斯基法生长装置的装置转换配件。
技术介绍
用于制备用于制造集成电路和光伏太阳能电池的材料的单晶硅锭的最有效和经济的方法之一是柴可拉斯基(Czochrakski，CZ)方法。在典型的CZ工艺中，将硅装料置于坩埚中并通常在约1416℃的温度熔化至其液态。然后降低具有预定结晶取向的小晶体硅晶种以接触熔体表面，然后逐渐取出。通过适当控制温度，液体硅在晶种上冻结，其取向与晶种的取向相同。然后将种子从熔体中缓慢升起，形成生长的硅晶锭，其整体圆柱形状的最终长度为1米或更长，直径为数百毫米。一般而言，已知两种类型的CZ技术，通常称为柴可拉斯基批量法和连续柴可拉斯基法。在批量CZ中，在加热的坩埚中，在工艺开始时熔化生长中的硅锭所需的装料材料量，并且拉出一锭以实质上上耗尽坩埚。然后可以丢弃坩埚，或者可以再填充坩埚并重复该过程以生长另外的硅锭，这有时也称为半批量工艺。此外，可以使用批量再装料工艺，其中停止晶锭的生长，将原料添加到坩埚中，然后重新开始生长。...
【技术保护点】
1.一种生长装置转换配件，用以将具有生长室的批量柴可拉斯基生长装置转换成连续柴可拉斯基生长装置，其中，该生长装置转换配件包含给料器配件，其特征在于，其包含：/n给料器，可连接至该生长室并置放成馈送固体原料至该生长室中；/n下料斗，连接至该给料器并置放成馈送固体原料至该给料器中；/n至少一上料斗，以可移除的方式接附在该下料斗上面并置放成馈送固体原料至该下料斗中；以及/n给料分离阀，位于该上料斗与该下料斗之间，该给料分离阀组构成当该上料斗正在被再填充时维持在该下料斗中的条件。/n
【技术特征摘要】
20171221 US 62/608,9801.一种生长装置转换配件，用以将具有生长室的批量柴可拉斯基生长装置转换成连续柴可拉斯基生长装置，其中，该生长装置转换配件包含给料器配件，其特征在于，其包含：
给料器，可连接至该生长室并置放成馈送固体原料至该生长室中；
下料斗，连接至该给料器并置放成馈送固体原料至该给料器中；
至少一上料斗，以可移除的方式接附在该下料斗上面并置放成馈送固体原料至该下料斗中；以及
给料分离阀，位于该上料斗与该下料斗之间，该给料分离阀组构成当该上料斗正在被再填充时维持在该下料斗中的条件。
2.如权利要求1所述的生长装置转换配件，其中，该给料器包含给料盘以及注入器区段，该给料盘具有用于从该下料斗接收该固体原料的接收区段，该注入器区段连接至该接收区段并可插入至该生长室中。
3.如权利要求2所述的生长装置转换配件，其中，该给料盘是振动式给料盘。
4.如权利要求2所述的生长装置转换配件，其中，该给料盘是转筒式给料盘。
5.如权利要求2所述的生长装置转换配件，其中，该给料盘是可移动而被插入至该生长室中。
6.如权利要求1所述的生长装置转换配件，其中，该给料器配件沿给料器轨道而可移动。
7.如权利要求6所述的生长装置转换配件，其中，该给料器包含伸缩管，该伸缩管组构成在该给料器沿着该给料器轨道移动时膨胀或收缩。
8.如权利要求1所述的生长装置转换配件，其中，该给料器配件包含给料关闭阀，该给料关闭阀位于该上料斗与该下料斗之间。
9.如权利要求1所述的生长装置转换配件，其中，该给料器配件包含室分离阀，该室分离阀组构成当该给料器配件卸除时维持该生长室内的条件。
10.如权利要求9所述的生长装置转换配件，其中，该室分离阀为具有可膨胀水冷式闸门的闸阀。
11.如权利要求9所述的生长装置转换配件，其中，该室分离阀连接至该给料器配件的该给料器。
12.如权利要求9所述的生长装置转换配件，其中，该给...
【专利技术属性】
技术研发人员：K·R·瓦扬古，R·马伦，S·J·图尔凯蒂，
申请(专利权)人：GTAT公司，
类型：新型
国别省市：美国;US
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