单晶炉连续投料输送机构制造技术

本实用新型专利技术涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉连续投料输送机构。包括主炉室，主炉室内设有热场保温桶与石英坩埚；主炉室和热场保温桶侧壁上设有投料口。主炉室侧壁投料口处设有阀门；投料机构包括圆筒状的外壳体，外壳体前端设有波纹管用于连接阀门；外壳体内部前侧设有输料管，输料管下方的外壳体内设有支撑装置；外壳体底部后侧设有直线运动机构，直线运动机构上设有旋转机构安装板；旋转机构安装板上设有旋转机构和进料装置，输料管后端与旋转机构相连，后侧端口连接进料装置。本实用新型专利技术节省了时间，降低多晶硅料落入石英坩埚中时激起的硅液波动，大幅提高了生产效率，提高石英坩埚利用率有效降低成本。

Continuous feeding and conveying mechanism of single crystal furnace

The utility model relates to the technical field of Czochralski silicon single crystal furnace equipment, in particular to a single crystal furnace continuous feeding and conveying mechanism. It includes the main furnace chamber, which is equipped with heat preservation barrel and quartz crucible; the side walls of the main furnace chamber and heat preservation barrel are equipped with feeding ports. A valve is arranged at the feeding port of the side wall of the main furnace chamber; the feeding mechanism includes a cylindrical shell body, and the front end of the shell body is provided with a corrugated pipe for connecting the valve; the front side of the shell body is provided with a feeding pipe, and the shell body under the feeding pipe is provided with a support device; the rear side of the shell body bottom is provided with a straight-line motion mechanism, and the straight-line motion mechanism is provided with a rotating mechanism mounting plate; the rotating mechanism mounting plate A rotary mechanism and a feeding device are arranged, the rear end of the feeding pipe is connected with the rotary mechanism, and the rear end port is connected with the feeding device. The utility model saves time, reduces the silicon liquid fluctuation caused when the polysilicon material falls into the quartz crucible, greatly improves the production efficiency, improves the utilization rate of the quartz crucible and effectively reduces the cost.

【技术实现步骤摘要】
单晶炉连续投料输送机构
本技术涉及直拉硅单晶炉设备
，尤其是涉及一种单晶炉连续投料输送机构。
技术介绍
单晶炉直拉法生长过程中，多晶硅原料放入石英坩埚中进行熔料、拉晶。单晶炉拉晶完成后，准备新一炉的生产需要做很多繁杂的前期工作，包括停炉冷却、清炉、装料、抽真空、化料等工序，这些前期工作，浪费了大量的时间和能耗。同时石英坩埚自身是有使用寿命的。单晶炉在一次硅单晶拉制完成后，可以使用外部连续投料装置，继续投入多晶硅料，提高石英坩埚利用率，同时拉制多根晶棒。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉连续投料输送机构。为解决上述技术问题，本技术采用的解决方案是：提供一种单晶炉连续投料输送机构，包括主炉室，主炉室内设有热场保温桶，热场保温桶内装设有石英坩埚；还包括投料机构；主炉室和热场保温桶侧壁上设有投料口，投料口投料角度为水平或小角度倾斜。主炉室侧壁投料口处设有阀门；投料机构包括圆筒状的外壳体，外壳体前端设有波纹管用于连接阀门；外壳体内部前侧设有输料管，输料管下方的外壳体内设有支撑装置，用于支撑输料管；外壳体底部后侧设有直线运动机构，直线运动机构上设有旋转机构安装板；旋转机构安装板上设有旋转机构和进料装置，输料管后端与旋转机构相连，后侧端口连接进料装置。作为一种改进，阀门为真空水冷气动插板阀。作为一种改进，支撑装置包括设于输料管下方的支撑座和套设在输料管上的支撑套。作为一种改进，支撑套为聚四氟乙烯支撑套；进料装置材料为石英或聚四氟乙烯。作为一种改进，直线运动机构包括丝杆，丝杆端部与传动轴一端连接，传动轴另一端通过锥齿轮与电机的输出轴连接，传动轴上还设有磁流体。作为一种改进，直线运动机构通过安装板设于外壳体内。作为一种改进，旋转机构相互啮合的小齿轮与大齿轮，电机与小齿轮相连，输料管与大齿轮相连。作为一种改进，输料管为石英管，石英管内部表面光滑或设有螺旋槽。作为一种改进，进料装置包括进料管，旋转机构正上方的外壳体上开有进料口，进料口与进料管一端相连，进料管另一端连接料仓。作为一种改进，外壳体上设有窗口，用于了解输料管内多晶硅料的输送情况。与现有技术相比，本技术的技术效果是：本技术可在不需要停炉的情况下实现装料，拉晶以便连续生长多根晶体，节省了停炉冷却、擦炉、装料、抽真空、化料等步骤所需的时间，降低多晶硅料落入石英坩埚中时激起的石英坩埚中的硅液波动，大幅提高了生产效率，提高石英坩埚利用率有效降低成本。附图说明图1为本技术中的连续投料输送机构的结构示意图。图2为本技术中的直线运动机构的结构示意图。图3为本技术中的旋转机构的结构示意图。图4为本技术中的支撑装置的结构示意图。附图标记：1-主炉室，2-热场保温桶，3-石英坩埚，4-阀门，5-波纹管，6-输料管，7-支撑装置，8-安装板，9-旋转机构安装板，10-直线运动机构，11-外壳体，12-进料装置，13-料仓，14-旋转机构，16-丝杆，17-传动轴，18-磁流体，19-锥齿轮，20、22-电机，21-小齿轮，23-大齿轮，24-支撑套，25-支撑座。具体实施方式下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述。如图1所示，一种单晶炉连续投料输送机构，包括主炉室1，主炉室1内设有热场保温桶2，热场保温桶2内装设有石英坩埚3。还包括投料机构。主炉室1和热场保温桶2侧壁上设有投料口，主炉室1侧壁投料口处设有阀门4。阀门4为真空水冷气动插板阀。投料机构包括圆筒状的外壳体11，外壳体11前端设有波纹管5用于连接阀门4。外壳体11内部前侧设有输料管6，输料管6为石英管，石英管内部表面光滑或设有螺旋槽。输料管6下方的外壳体11内设有支撑装置7，用于支撑输料管6。如图4所示，支撑装置7包括设于输料管6下方的支撑座25和套设在输料管6上的支撑套24。支撑套24为聚四氟乙烯支撑套24。外壳体11底部后侧设有直线运动机构10，直线运动机构10通过安装板8设于外壳体11内。如图2所示，直线运动机构10包括丝杆，丝杆端部与传动轴17一端连接，传动轴17另一端通过锥齿轮19与电机20的输出轴连接，传动轴17上还设有磁流体18。直线运动机构10上设有旋转机构安装板9。旋转机构安装板9上设有旋转机构14和进料装置12，输料管6后端与旋转机构14相连，后侧端口连接进料装置12。如图3所示，旋转机构14包括相互啮合的小齿轮21、与大齿轮23，电机22与小齿轮21相连，输料管6与大齿轮23相连。进料装置12包括进料管，旋转机构14正上方的外壳体11上开有进料口，进料口与进料管一端相连，进料管另一端连接料仓13。外壳体11上设有窗口，用于了解输料管6内多晶硅料的输送情况。本技术的工作过程为：石英坩埚内硅液不满需要进行加料时或需要边拉晶边投料时，首先将波纹管5于主炉室1上的阀门4进行连接，对外壳体11进行抽真空和充氩气操作，内部环境达到合适要求时，通过气动装置控制打开阀门4。启动直线运动机构10伸出输料管6运动至主炉室1内部，当输料管6运动至主炉室1内部合适位置时，停止直线运动机构10。启动旋转机构14，带动输料管6进行旋转工作。启动料仓13，使多晶硅料沿着进料机构12进入输料管6最后落入石英坩埚3中，投料完成后，停止料仓13工作，通过外壳体外部窗口观察多晶硅料没有残留在输料管6中后，停止旋转机构14同时启动直线运动机构10将输料管6缩回至主壳体11内部。关闭阀门4，松开波纹管5于阀门4之间的连接，完成投料过程。最后需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉连续投料输送机构，包括主炉室，主炉室内设有热场保温桶，热场保温桶内装设有石英坩埚；其特征在于，还包括投料机构；/n所述主炉室和热场保温桶侧壁上设有投料口，主炉室侧壁投料口处设有阀门；/n所述投料机构包括圆筒状的外壳体，外壳体前端设有波纹管用于连接阀门；外壳体内部前侧设有输料管，输料管下方的外壳体内设有支撑装置，用于支撑输料管；外壳体底部后侧设有直线运动机构，直线运动机构上设有旋转机构安装板；旋转机构安装板上设有旋转机构和进料装置，输料管后端与旋转机构相连，后侧端口连接进料装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉连续投料输送机构，包括主炉室，主炉室内设有热场保温桶，热场保温桶内装设有石英坩埚；其特征在于，还包括投料机构；
所述主炉室和热场保温桶侧壁上设有投料口，主炉室侧壁投料口处设有阀门；
所述投料机构包括圆筒状的外壳体，外壳体前端设有波纹管用于连接阀门；外壳体内部前侧设有输料管，输料管下方的外壳体内设有支撑装置，用于支撑输料管；外壳体底部后侧设有直线运动机构，直线运动机构上设有旋转机构安装板；旋转机构安装板上设有旋转机构和进料装置，输料管后端与旋转机构相连，后侧端口连接进料装置。


2.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述阀门为真空水冷气动插板阀。


3.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述的支撑装置包括设于输料管下方的支撑座和套设在输料管上的支撑套。


4.根据权利要求3所述的机构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡建荣，高宇，傅林坚，曹建伟，叶钢飞，倪军夫，王鹏飞，阮文星，春伟博，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33