一种倾斜型高品质光学传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种倾斜型高品质光学传感器及其制备方法。该倾斜型高品质光学传感器由下及上依次设有金属基底层和超表面结构层；所述超表面结构层连接于所述金属基底层上表面，所述超表面结构层由半圆柱型腔体按周期排列组成。本发明专利技术的倾斜型高品质光学传感器是一种同时具有超高的S、FOM和FOM*的光学传感器，有两层结构，当入射光的倾斜角度为7.5°时，可获得带宽为1.3纳米的超窄带吸收；在对溶液中Na

A tilt type high quality optical sensor and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种倾斜型高品质光学传感器及其制备方法
本专利技术涉及光学传感器领域，具体涉及一种倾斜型高品质光学传感器及其制备方法。
技术介绍
近年来，光学传感器迅速发展。在环境折射率传感的研究中，人们广泛地研究了两个用来比较和表征检测性能的参数：对环境折射率变化的灵敏度(S)和光谱的品质因子(FOM)。灵敏度(S)描述了光谱的波峰位置随环境折射率变化的关系，灵敏度的定义为S＝δλ/δn的定义(λ为光谱波峰的所在的光谱位置，n为环境折射率)。也就是说，S值越高，说明同一环境折射率变化下的光谱移动越大。通常，更高的光谱移动效率意味着更好的传感响应。品质因子用来描述精确测量的最小值，品质因子的定义为定义FOM＝S/FWHM，其中FWHM(fullwidthathalfmaxima)表示共振谱宽的半最大值处的全宽度。一般来说，更高的S和更大的FOM意味着更好的传感性能，因为它们意味着对光谱位移和光强弱的高传感测量。因此，以往等离子体传感的研究几乎都集中在高S和FOM的实现上。然而，尽管人们对高S或FOM的实现进行了大量的研究，但这两个因素的同时实现仍然是一个挑战。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种倾斜型高品质光学传感器，其特征在于：由下及上依次设有金属基底层和超表面结构层；所述超表面结构层连接于所述金属基底层上表面，所述超表面结构层由半圆柱型腔体按周期排列组成。/n

【技术特征摘要】
1.一种倾斜型高品质光学传感器，其特征在于：由下及上依次设有金属基底层和超表面结构层；所述超表面结构层连接于所述金属基底层上表面，所述超表面结构层由半圆柱型腔体按周期排列组成。


2.根据权利要求1所述的倾斜型高品质光学传感器，其特征在于：所述半圆柱型腔体的材料为银，圆柱型腔体的厚度为60纳米。


3.根据权利要求2所述的倾斜型高品质光学传感器，其特征在于：所述半圆柱型腔体以500纳米的周期排列。


4.根据权利要求3所述的倾斜型高品质光学传感器，其特征在于：所述金属基底层的材料为银，其厚度不小于200纳米。


5.根据权利要求4所述的倾斜型高品质光学传感器，其特征在于：所述金属基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘正奇，钟浩宗，刘桂强，刘晓山，付国兰，刘木林，
申请(专利权)人：江西师范大学，
类型：发明
国别省市：江西;36