【技术实现步骤摘要】
一种超高精度的定位调节装置
本专利技术涉及超高精度机械加工
，特别是涉及一种超高精度的定位调节装置。
技术介绍
由于精确运动控制和测量/高精度加工刀具的进步，当前的超精度切割/研磨加工技术已经能够容易地以亚微米级以下的精度来执行加工。基于该高精度加工技术，申请号为200810188113.3的中国专利公开了一种加工装置，包括刀具，使刀具轻微转动的致动器、支撑致动器的壳体、设置在壳体内并向致动器施加预载荷的预载荷机构(头部件和弹性支撑件)、设置在刀具和预载荷机构之间的力传感器、检测刀具相对于壳体的位移的位移传感器以及驱动致动器的控制器。然而在实际运用中发现，该技术还存在如下缺陷：如图1所示，安装致动器时在径向没有定位基准：仅仅依靠预载荷机构的头部件接触面和壳体内部端面径向轴向定位和锁紧，同时预载荷机构的头部件接触面和壳体内部端面提供摩擦力在径向固定致动器，此时摩擦固定不能保证致动器轴心和刀具受力方向同心，切割加工时致动器受到弯矩作用，降低其使用寿命；如图2所示，位移传感器在轴向上没有定位：加工过程中的振动、冲击、温升等因...
【技术保护点】
1.一种超高精度的定位调节装置，包括：基座，安装在基座(1)内的致动器、位移传感器(3)，以及安装在基座(1)一侧面上的预载荷机构，所述预载荷机构用于向所述致动器施加预载荷，所述位移传感器(3)用于检测所述致动器的振动位移量，其特征在于，所述致动器为横截面呈环形的压电陶瓷(2)，所述预载荷机构为柔性铰链(4)，所述基座(1)内还固定有垫块(5)，所述柔性铰链(4)、垫块(5)上均开设有与压电陶瓷(2)外径相匹配的环形凹槽(41、51)，所述环形凹槽(41、51)用于限位支撑所述压电陶瓷(2)的端部以对压电陶瓷(2)进行轴向、径向定位，所述基座(1)的另一侧面上还安装有调节支...
【技术特征摘要】
1.一种超高精度的定位调节装置，包括：基座，安装在基座(1)内的致动器、位移传感器(3)，以及安装在基座(1)一侧面上的预载荷机构，所述预载荷机构用于向所述致动器施加预载荷，所述位移传感器(3)用于检测所述致动器的振动位移量，其特征在于，所述致动器为横截面呈环形的压电陶瓷(2)，所述预载荷机构为柔性铰链(4)，所述基座(1)内还固定有垫块(5)，所述柔性铰链(4)、垫块(5)上均开设有与压电陶瓷(2)外径相匹配的环形凹槽(41、51)，所述环形凹槽(41、51)用于限位支撑所述压电陶瓷(2)的端部以对压电陶瓷(2)进行轴向、径向定位，所述基座(1)的另一侧面上还安装有调节支架(6)，所述调节支架(6)上安装有固定盖(7)，所述固定盖(7)的中部设有延伸至基座(1)内部的柱体部(71)，所述柱体部(71)与贯穿在压电陶瓷(2)内的位移传感器(3)的端部接触，用于对所述位移传感器(3)进行轴向定位。
2.根据权利要求1所述的超高精度的定位调节装置，其特征在于，所述基座(1)内开设有水平向贯通的安装孔(11)，所述安装孔(11)内设有柔性铰链安装部、垫块安装部、压电陶瓷安装部、调节支架安装部，所述基座(1)的壳壁上开设有第一调节螺纹孔(12)，所述第一调节螺纹孔(12)与安装孔(11)贯通。
3.根据权利要求2所述的超高精度的定位调节装置，其特征在于，所述第一调节螺纹孔(12)有若干个，分别垂直正对于柔性铰链安装部和垫块安装部。
4.根据权利要求2所述的超高精度的定位调节装置，其特征在于，所述柔性铰链(4)呈圆形，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈任寰，牛增渊，霍德鸿，丁辉，
申请(专利权)人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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