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本发明公开了一种超高精度的定位调节装置，包括：横截面呈环形的压电陶瓷、柔性铰链、垫块和位移传感器，所述柔性铰链、垫块上均开设有与压电陶瓷外径相匹配的环形凹槽，所述环形凹槽用于限位支撑所述压电陶瓷的端部以对压电陶瓷进行轴向、径向定位，还包括调...
该专利属于江苏集萃精凯高端装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃精凯高端装备技术有限公司授权不得商用。

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