【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏宽量程电容式力传感器
本技术涉及传感器
，特别涉及一种高灵敏宽量程电容式力传感器。
技术介绍
力传感器在生活、工业中应用十分广泛，广泛应用于水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、电力、机床等众多行业。力传感器的种类丰富，常见的力传感器包括电容式力传感器、电阻应变片式力传感器、压电式传感器、谐振式力传感器等。其中，电容式力传感器的优点是结构简单，温度稳定性好，价格便宜，灵敏度高，过载能力强。随着科技的进步和发展，对力传感器的要求越来越高，其体积要求更小、灵敏度更高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高灵敏宽量程电容式力传感器，以实现小体积、高灵敏度、宽量程的力传感器。为解决上述技术问题，本技术提供了一种高灵敏宽量程电容式力传感器，包括相键合的硅衬底和玻璃衬板，所述硅衬底的第一端通过介质连接有上层硅薄膜；所述上层硅薄膜的表面依次形成有第一硼硅膜和第一膜上电极；所述硅衬底的第二端形成有下层硅悬臂梁，所述硅衬底的第二端和所述下层硅悬臂梁的上表面覆盖有第二...
【技术保护点】
1.一种高灵敏宽量程电容式力传感器，包括相键合的硅衬底（1）和玻璃衬板（2），其特征在于，/n所述硅衬底（1）的第一端通过介质（8）连接有上层硅薄膜（3）；所述上层硅薄膜（3）的表面依次形成有第一硼硅膜（51）和第一膜上电极（61）；/n所述硅衬底（1）的第二端形成有下层硅悬臂梁（4），所述硅衬底（1）的第二端和所述下层硅悬臂梁（4）的上表面覆盖有第二硼硅膜（52）；所述第二硼硅膜（52）的表面依次形成有第二硼硅膜（52）和第二膜上电极（62）；/n所述高灵敏宽量程电容式力传感器还包括衬底电极（7），位于所述玻璃衬板（2）的顶表面。/n
【技术特征摘要】
1.一种高灵敏宽量程电容式力传感器，包括相键合的硅衬底（1）和玻璃衬板（2），其特征在于，
所述硅衬底（1）的第一端通过介质（8）连接有上层硅薄膜（3）；所述上层硅薄膜（3）的表面依次形成有第一硼硅膜（51）和第一膜上电极（61）；
所述硅衬底（1）的第二端形成有下层硅悬臂梁（4），所述硅衬底（1）的第二端和所述下层硅悬臂梁（4）的上表面覆盖有第二硼硅膜（52）；所述第二硼硅膜（52）的表面依次形成有第二硼硅膜（52）和第二膜上电极（62）；
所述高灵敏宽量程电容式力传感器还包括衬底电极（7），位于所述玻璃衬板（2）的顶表面。
2.如权利要求1所述的高灵敏宽量程电容式力传感器，其特征在于，所述衬底电极（7）位于所述玻璃衬板（2）的中心位置。
3.如权利要求2所述的高灵敏宽量程电容式力传感器，其特征在于，所述衬底电极（7）的第...
【专利技术属性】
技术研发人员：王庆贺，何威，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十八研究所，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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