平行度检测工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平行度检测工具，涉及靶材背衬管检测技术领域。该平行度检测工具包括：刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测量尺的位置，使所述测量尺移动至便于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差的位置。本实用新型专利技术实施例的平行度检测工具能够实现精确测量靶材背衬管的平行度误差，操作简单，使用方便。

Parallelism testing tool

【技术实现步骤摘要】
平行度检测工具
本技术涉及靶材背衬管检测
，尤其涉及一种平行度检测工具。
技术介绍
现有的薄膜太阳能电池芯片通常采用磁控溅射方式在基板上形成功能性膜层，而靶材是磁控溅射中的溅射源。薄膜太阳能电池芯片制备中采用的靶材通常包括圆柱形的背衬管和涂覆在背衬管外周面的一层合金粉末涂层。而在靶材生产前需要检验靶材背衬管的平行度是否满足生产要求，目前通常采用刀口尺与塞规配合来检测靶材背衬管的平行度，这种检测方法操作不方便，且无法精确测量靶材背衬管的平行度误差值。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术实施例提供了一种平行度检测工具，用于解决现有技术中靶材背衬管平行度检测不方便，无法精确测量靶材背衬管的平行度误差的问题。本技术实施例的一种平行度检测工具，用于检测靶材背衬管的平行度，包括：刀口尺，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管上；以及，检测组件，所述检测组件包括一测量尺，用于测量所述待检测靶材背衬管的平行度误差；所述检测组件可相对于所述刀口尺移动，以在与所述待检测靶材背衬管的长度方向平行的方向上调整所述测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平行度检测工具，用于检测靶材背衬管的平行度，其特征在于，包括：/n刀口尺(1)，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管(200)上；/n以及，检测组件(2)，所述检测组件(2)包括一测量尺(21)，用于测量所述待检测靶材背衬管(200)的平行度误差；/n所述检测组件(2)可相对于所述刀口尺(1)移动，以在与所述待检测靶材背衬管(200)的长度方向平行的方向上调整所述测量尺(21)的位置，使所述测量尺(21)移动至便于测量所述待检测靶材背衬管(200)的平行度误差的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种平行度检测工具，用于检测靶材背衬管的平行度，其特征在于，包括：
刀口尺(1)，用于垂直紧靠在待检测靶材背衬管(200)上；
以及，检测组件(2)，所述检测组件(2)包括一测量尺(21)，用于测量所述待检测靶材背衬管(200)的平行度误差；
所述检测组件(2)可相对于所述刀口尺(1)移动，以在与所述待检测靶材背衬管(200)的长度方向平行的方向上调整所述测量尺(21)的位置，使所述测量尺(21)移动至便于测量所述待检测靶材背衬管(200)的平行度误差的位置。


2.根据权利要求1所述的平行度检测工具，其特征在于，所述检测组件(2)与所述刀口尺(1)滑动连接。


3.根据权利要求2所述的平行度检测工具，其特征在于，所述刀口尺(1)上设有直线轨道(11)；
所述检测组件(2)还包括连接件(22)，设置于所述测量尺(21)上，所述连接件(22)滑动连接于所述直线轨道(11)上。


4.根据权利要求3所述的平行度检测工具，其特征在于，所述直线轨道(11)包括凸条，所述连接件(22)上设有与所述凸条滑动配合的凹槽；
或者，所述直线轨道(11)包括滑槽，所述连接件(22)上设有与所述滑槽滑动配合的滑块。


5.根据权利要求3所述的平行度检测工具，其特征在于，所述直线轨道(11)可拆卸地设置于所述刀口尺(1)上。

【专利技术属性】
技术研发人员：马国秦，出腾龙，周童，徐国军，丁家彬，
申请(专利权)人：米亚索乐装备集成福建有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35