拉膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种拉膜装置，包括贴膜机构、用于为贴膜机构输送干膜的送膜机构、用于切膜的切膜机构、以及用于拉动干膜移动的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、升降驱动件、以及设于升降驱动件的输出端且与拉膜导辊相配合的拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜机构，贴膜机构将干膜与晶圆等产品贴合完成贴膜，然后拉膜机构将贴覆有晶圆的干膜拉动至切膜机构，切膜机构沿着晶圆等产品的边缘将干膜切割，使得晶圆等产品与干膜主体分离，由于干膜与晶圆贴合的部分被切除，因此干膜部分被切除的位置形成废膜，进而完成将与晶圆贴附粘接的干膜拉动至切膜机构进行切割。

Film pulling device

【技术实现步骤摘要】
拉膜装置
本技术涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种拉膜装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。现有的如晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，通常为利用贴膜机构将干膜贴附于晶圆表面，然后利用切膜机构沿晶圆的边缘切割使得晶圆与干膜分离，因此需要将与晶圆贴附粘接的干膜拉动至切膜机构进行切割。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种拉膜装置，旨在解决现有技术中，需要将与晶圆贴附粘接的干膜拉动至切膜机构进行切割的问题。为达此目的，本技术采用以下技术方案：拉膜装置，包括用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜移动的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的升降驱动件、以及设于所述升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。进一步地，所述拉膜驱动组件包括与所述拉膜滑动座相连的第一丝杠螺母、与所述第一丝杠螺母相配合的第一丝杠轴、以及设于所述拉膜固定座且用于驱动所述第一丝杠轴转动的第一拉膜电机。进一步地，所述拉膜驱动组件包括设于所述拉膜固定座的齿条、设于所述拉膜滑动座的第二拉膜电机、以及设于所述第二拉膜电机的输出轴且与所述齿条相啮合的齿轮。进一步地，所述拉膜压块靠近所述拉膜导辊的一侧的表面开设有与所述拉膜导辊相对应的拉膜凹槽。进一步地，所述拉膜导辊设有与所述拉膜压块相接触的拉膜柔性件。进一步地，所述升降驱动件为拉膜气缸。进一步地，所述升降驱动件的数量大于或等于两个，所述升降驱动件与所述拉膜滑动座滑动连接，所述拉膜滑动座上设有用于分别驱动各个所述升降驱动件滑动的拉平驱动组件。进一步地，所述拉平驱动组件包括与所述升降驱动件相连的第二丝杠螺母、与所述第二丝杠螺母相配合的第二丝杠轴、以及用于驱动所述第二丝杠轴转动的拉平电机。进一步地，所述送膜机构包括原料膜供应组件、与所述原料膜供应组件相配合的分膜辊、底膜收卷组件、以及废膜收卷组件。进一步地，所述原料膜供应组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第一气涨轴、用于驱动所述第一气涨轴转动的第一转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第一张紧辊；所述废膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接的第二气涨轴、用于驱动所述第二气涨轴转动的第二转动驱动件、以及设于所述拉膜固定座的第二张紧辊；所述底膜收卷组件包括与所述送膜支架转动连接第三气涨轴、用于驱动所述第三气涨轴转动的第三转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第三张紧辊。本技术的有益效果：送膜机构将干膜输送至贴膜机构，贴膜机构将干膜与晶圆等产品贴合完成贴膜，然后拉膜机构将贴覆有晶圆的干膜拉动至切膜机构，切膜机构沿着晶圆等产品的边缘将干膜切割，使得晶圆等产品与干膜主体分离，由于干膜与晶圆贴合的部分被切除，因此干膜部分被切除的位置形成废膜，进而完成将与晶圆贴附粘接的干膜拉动至切膜机构进行切割。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的实施例中拉膜装置的第一视角的结构示意图；图2为本技术的实施例中拉膜机构的结构示意图；图3为图2中A处的局部放大图；图4为本技术的实施例中拉膜装置的第二视角的结构示意图；图中：400、原料膜；4001、干膜；40011、废膜；4002、底膜；500、贴膜机构；600、切膜机构；1、送膜机构；11、原料膜供应组件；111、送膜支架；112、第一气涨轴；113、第一张紧辊；12、分膜辊；13、底膜收卷组件；131、第三气涨轴；132、第三张紧辊；14、废膜收卷组件；141、第二气涨轴；142、第二张紧辊；2、拉膜机构；21、拉膜固定座；22、拉膜滑动座；23、拉膜驱动组件；231、第一拉膜电机；24、拉膜安装架；25、拉膜导辊；251、拉膜柔性件；26、升降驱动件；27、拉膜压块；271、拉膜凹槽；3、拉平驱动组件；31、拉平电机。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。以下结合具体实施例对本技术的实现进行详细的描述。如图1-图4所示，本技术实施例提出了一种拉膜装置，用于与贴膜机构500及切膜机构600相配合，贴膜机构500可为现有技术中将干膜4001贴附于晶圆等产品表面，切膜机构600可为现有技术中沿晶圆等产品的边缘将干膜4001切除的机构，拉膜装置包括用于为贴膜机构500输送干膜4001的送膜机构1、以及用于拉动干膜4001移动的拉膜机构2；拉膜机构2包括拉膜固定座21、与拉膜固定座21滑动连接的拉膜滑动座22、用于驱动拉膜滑动座22移动的拉膜驱动组件23、与拉膜滑动座22相连的拉膜安装架24、设于拉膜安装架24的拉膜导辊25、设于拉膜滑动座22的升降驱动件26、以及设于升降驱动件26的输出端且与拉膜导辊25相配合的拉膜压块27。在本技术的实施例中，拉膜装置配合贴膜机构500及切膜机构600的工作过程为：送膜机构1将干膜4001输送至贴膜机构500，贴膜机构500将干膜4001与晶圆等产品贴合完成贴膜(干膜4001的尺寸大于晶圆)，然后拉膜机构2将贴覆有晶圆的干膜4001拉动至切膜机构600，切膜机构600沿着晶圆等产品的边缘将干膜4001切割，使得晶圆等产品与干膜4001主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.拉膜装置，其特征在于，包括用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜移动的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的升降驱动件、以及设于所述升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。/n

【技术特征摘要】
1.拉膜装置，其特征在于，包括用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜移动的拉膜机构；所述拉膜机构包括拉膜固定座、与所述拉膜固定座滑动连接的拉膜滑动座、用于驱动所述拉膜滑动座移动的拉膜驱动组件、与所述拉膜滑动座相连的拉膜安装架、设于所述拉膜安装架的拉膜导辊、设于所述拉膜滑动座的升降驱动件、以及设于所述升降驱动件的输出端且与所述拉膜导辊相配合的拉膜压块。


2.根据权利要求1所述的拉膜装置，其特征在于，所述拉膜驱动组件包括与所述拉膜滑动座相连的第一丝杠螺母、与所述第一丝杠螺母相配合的第一丝杠轴、以及设于所述拉膜固定座且用于驱动所述第一丝杠轴转动的第一拉膜电机。


3.根据权利要求1所述的拉膜装置，其特征在于，所述拉膜驱动组件包括设于所述拉膜固定座的齿条、设于所述拉膜滑动座的第二拉膜电机、以及设于所述第二拉膜电机的输出轴且与所述齿条相啮合的齿轮。


4.根据权利要求1所述的拉膜装置，其特征在于，所述拉膜压块靠近所述拉膜导辊的一侧的表面开设有与所述拉膜导辊相对应的拉膜凹槽。


5.根据权利要求1所述的拉膜装置，其特征在于，所述拉膜导辊设有与所述拉膜压块相接触的拉膜柔性件。


6.根据权利要求1所述的拉膜装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢军，
申请(专利权)人：广东思沃精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44