【技术实现步骤摘要】
多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统及方法
本专利技术涉及光纤预制棒制造领域，尤其涉及一种多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统及方法。
技术介绍
轴向气相沉积技术是目前主流的光纤预制棒制造技术之一，其生产工艺为：先将原料液体SiCl4和GeCl4加热汽化，汽化后的原料通过质量流量控制计精确通入反应腔体内，在氢氧焰中发生火焰水解反应，生成的SiO2和GeO2微米级颗粒，在腔体内微负压的环境下沉积到靶棒上。靶棒的提升速度与微米级颗粒的沉积速度相匹配，最终得到形状均匀的疏松体预制棒。在光纤预制棒的沉积过程中，火焰水解反应生成的微米级颗粒并非全部会沉积到靶棒上，其沉积效率、沉积均匀性与反应腔体内压力控制有很大的关系。反应腔体内压力的控制关键在于抽风排废系统的抽风量，风量过大会直接影响沉积效率，风量过小会影响沉积质量，抽风量的异常波动会导致预制棒表面沉积不均匀，经烧结后预制棒熔缩尺寸不一致，产品报废。当多条支线同时开动时，抽风排废系统的总抽风量通常能保持一致，但是若其中一条支线关闭，由于人为的调整总抽风量，易带...
【技术保护点】
1.多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，包括多个轴向气相沉积反应腔体、多个支线风管、总线风管和PLC控制器，所述轴向气相沉积反应腔体与所述支线风管的数量相同，两者一一对应，每一个轴向气相沉积反应腔体与一个支线风管连接，构成一条支线，支线风管的一端连接轴向气相沉积反应腔体，另一端与总线风管连接；/n所述轴向气相沉积反应腔体设置腔体压力检测仪；/n所述支线风管设置支线自动阀和手动补风阀；/n所述总线风管设置风机、缓冲罐、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪；/n所述轴向气相沉积反应腔体的腔体压力检测仪、所述支线风管的支线自动阀，以及所述总线风管的风...
【技术特征摘要】
1.多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，包括多个轴向气相沉积反应腔体、多个支线风管、总线风管和PLC控制器，所述轴向气相沉积反应腔体与所述支线风管的数量相同，两者一一对应，每一个轴向气相沉积反应腔体与一个支线风管连接，构成一条支线，支线风管的一端连接轴向气相沉积反应腔体，另一端与总线风管连接；
所述轴向气相沉积反应腔体设置腔体压力检测仪；
所述支线风管设置支线自动阀和手动补风阀；
所述总线风管设置风机、缓冲罐、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪；
所述轴向气相沉积反应腔体的腔体压力检测仪、所述支线风管的支线自动阀，以及所述总线风管的风机、缓冲罐压力检测仪、总线自动阀、总线风管压力检测仪均与所述PLC控制器连接。
2.如权利要求1所述的多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，所述轴向气相沉积反应腔体设置抽风口和补风口，所述腔体压力检测仪位于所述抽风口下方。
3.如权利要求2所述的多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，所述支线风管的一端穿过所述抽风口伸入所述轴向气相沉积反应腔体，该端安装排风罩。
4.如权利要求3所述的多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，所述轴向气相沉积反应腔体内还设置芯层喷灯、包层喷灯、疏松体预制棒、靶棒。
5.如权利要求1所述的多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，所述手动补风阀相比于所述支线自动阀更靠近所述轴向气相沉积反应腔体。
6.如权利要求1所述的多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其特征在于，所述风机、除尘装置、缓冲罐、总线自动阀、总线风管压力检测仪从所述总线风管上远离支线风管的一端依次安装于总线风管上。
7.利用如权利要求1～6中任一所述的多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统进行压力联动控制的方法，其特征在于，包括：
当由一个轴向气相沉积反应腔体和一...
【专利技术属性】
技术研发人员：张文俊，范修远，赵莹莹，何斐逸，
申请(专利权)人：赣州讯飞腾传导技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江西;36
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。