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本发明提出一种多支线轴向气相沉积反应的压力联动控制系统，其包括多个轴向气相沉积反应腔体、多个支线风管、总线风管和PLC控制器，反应腔体与支线风管的数量相同，支线风管的一端连接反应腔体，另一端与总线风管连接；反应腔体内设置腔体压力检测仪；支线...
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