晶圆用自动安装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶圆用自动安装装置，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。通过晶圆抓取机构将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上，以实现生产的自动化，从而提高生产速度，节省人力物力的效果。

Automatic mounting device for wafer

【技术实现步骤摘要】
晶圆用自动安装装置
本技术涉及一种晶圆用自动安装装置。
技术介绍
目前在将晶圆安装到石墨盘的加工工序中，晶圆一般都是储存在扩晶环上，将晶圆从扩晶环上取下需要人工采用吸盘的方式，在将吸附到吸盘上的晶圆安装到石墨盘上相应的位置，并且每次将一个晶圆安装到石墨盘上的相应的位置后，都需要从新在扩晶环上再次拿取下一个晶圆，在找好在石墨盘上与之相对应的安装位置，每次人工找准晶圆的安装位置都会浪费大量的工作时间，由此造成人力的浪费，并且产量也不能满足市场需求。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆用自动安装装置，以解决需要人工将晶圆安装到石墨盘上的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种晶圆用自动安装装置，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。进一步的，所述石墨盘移动机构包括第三滑台底板、第四滑台底板以及用于支撑石墨盘的托板，所述托板的下端固定连接有可在第三滑台底板上左右滑动的第三螺母，所述第三滑台底板上转动连接有第三丝杆，所述第三螺母螺纹连接在第三丝杆上，所述第三滑台底板的侧壁面上固定连接有第三电机，所述第三电机的输出轴与第三丝杆固定连接，且所述第三电机带动第三丝杆转动以使托板在平板上方左右移动；所述第三滑台底板的下端固定连接有可在第四滑台底板上前后滑动的第四螺母，所述第四滑台底板上转动连接有第四丝杆，所述第四螺母螺纹连接在第四丝杆上，所述第四滑台底板的侧壁面上固定连接有第四电机，所述第四电机的输出轴与第四丝杆固定连接，且所述第四电机带动第四丝杆转动以使托板在平板上方前后移动；所述托板的左端固定连接有定位板，所述托板的右端滑动连接有夹紧板，所述托板的上端面、定位板的右端面以及夹紧板的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区；所述定位板上设有夹紧气缸，所述定位板的上端开设有避让槽，所述夹紧气缸的缸体固定连接在定位板的左端面上，所述夹紧气缸的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块，且所述夹紧气缸带动压紧块左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内；所述定位板与夹紧板之间设有位移杆，所述位移杆的一端固定连接在定位板上，所述位移杆的另一端滑动连接在夹紧板上，所述夹紧板上固定连接有锁紧块，所述锁紧块与所述位移杆相配合，所述夹紧板的下端固定连接有位移滑块，所述托板的上端固定连接有位移导轨，所述位移滑块滑动连接在位移导轨上，所述夹紧板在托板上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。进一步的，所述石墨盘移动机构还包括横梁，所述横梁固定连接在平板上，所述横梁上滑动连接有推料座，所述横梁的前端固定连接有推料电机，所述推料电机的输出轴上固定连接有主推料齿轮，所述主推料齿轮上啮合有推料皮带，所述横梁的后端转动连接有副推料齿轮，所述推料皮带与所述副推料齿轮相啮合；所述推料座的下端固定连接有齿板，所述齿板的上端面与推料座的下端面之间形成移动间隙，所述推料皮带设置在移动间隙内，且所述齿板上的齿与所述推料皮带上的齿相配合以带动推料座在横梁上前后移动；所述推料座上端设有推料气缸，所述推料气缸的缸体固定连接在推料座上，所述推料气缸的推杆上固定连接有推料板，所述推料板的前后两端均滑动连接有推送销，且两个推送销之间设有缓冲弹簧；所述平板的侧壁面上滑动连接有料架，所述料架上开设有多个用于放置石墨盘的储料室，所述储料室的左壁面上开设有推料口，所述推料板滑动连接在推料口内，且所述推料板前后滑动并将储料室内的石墨盘移动至固定区内；所述料架的下端固定连接有送料螺母，所述平板的侧壁面上固定连接有送料电机，所述送料电机的输出轴上固定连接有送料丝杆，所述送料螺母螺纹连接在送料丝杆上，且所述送料电机带动送料丝杆转动以使料架上下移动。进一步的，所述晶圆旋转机构包括晶圆旋转支撑板，所述晶圆旋转支撑板的下端安装在平板上；所述晶圆旋转支撑板上开设有旋转孔，所述旋转孔内设有固定环，所述固定环的下端转动连接在晶圆旋转支撑板的旋转孔内，所述固定环的上端固定连接有半圆形挡板以及弹簧座，所述半圆形挡板的侧壁面与固定环的上端面之间形成L形支撑槽，所述弹簧座与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环的夹紧区；所述弹簧座的下端固定连接在固定环的上端面上，所述弹簧座的左右两端分别转动连接有夹抓，所述夹抓包括夹手端以及顶紧端，所述弹簧座上的弹簧顶紧在夹抓的顶紧端上，并使夹抓的夹手端将扩晶环夹紧在夹紧区内；所述晶圆旋转支撑板的上设有第一气缸，所述第一气缸的缸体固定连接在晶圆旋转支撑板的上端面上，所述第一气缸的推杆顶紧在两个夹抓的顶紧端上，并使夹抓的夹手端脱离扩晶环。进一步的，所述晶圆旋转支撑板上设有换位电机，所述换位电机的法兰端固定连接在晶圆旋转支撑板的下端面上，所述换位电机的输出轴从晶圆旋转支撑板中穿过；所述固定环的外侧面上开设有环形齿，所述环形齿上啮合有传动皮带，所述换位电机的输出轴上固定连接有输出齿轮，所述输出齿轮与所述传动皮带相啮合，且所述换位电机经传动皮带带动固定环在晶圆旋转支撑板的旋转孔内转动；所述平板的上端面上固定连接有第一滑台底板，所述第一滑台底板上设有第一丝杆以及用于带动第一丝杆转动的第一电机，所述第一电机的法兰端固定连接在第一滑台底板的侧壁面上，所述第一电机的输出轴固定连接在第一丝杆上；所述第一丝杆上螺纹连接有可在第一滑台底板上左右滑动的第一螺母，所述第一螺母固定连接在第二滑台底板的下端面，且所述第一电机带动第一丝杆转动以使第二滑台底板在平板的上方左右移动；所述第二滑台底板上设有第二丝杆以及用于带动第二丝杆转动的第二电机，所述第二电机的法兰端固定连接在第二滑台底板的侧壁面上，所述第二电机的输出轴固定连接在第二丝杆上；所述第二丝杆上螺纹连接有可在第二滑台底板上左右滑动的第二螺母，所述第二螺母固定连接在晶圆旋转支撑板的下端面上，且所述第二电机带动第二丝杆转动以使晶圆旋转支撑板在平板的上方前后移动。进一步的，所述晶圆旋转支撑板上设有用于将扩晶环上的晶圆顶起的顶升机构；所述顶升机构包括调节座以及顶升电机，所述调节座的下端面固定连接在平板的上端面，所述顶升电机的法兰端固定连接在调节座上，所述顶升电机的输出轴上固定连接有偏心轴，所述偏心轴上套设有偏心环；所述调节座的上设有顶升座，所述顶升座的下端固定连接在调节座的上端，所述顶升座的上端设有可上下滑动的顶针帽，所述顶升座上开设有上下贯穿的通孔，所述通孔内滑动连接有心轴，所述心轴的上端顶紧在顶针帽上，所述心轴的下端固定连接有用于与偏心环相配合的装快，所述心轴的下端套设有复位弹簧，所述复位弹簧的下端顶紧在装快上，所述复位弹簧的上端顶紧在顶升座的通孔内，所述装快上开设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有导向杆，所述导向杆的上端固定连接在顶升座上，且所述顶升电机带动偏心环转动以使心轴带动顶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆用自动安装装置，其特征在于，包括平板(1)，所述平板(1)的上端面上固定连接有晶圆旋转机构(2)、晶圆抓取机构(3)以及石墨盘移动机构(4)，所述晶圆抓取机构(3)设置在晶圆旋转机构(2)与石墨盘移动机构(4)之间；/n所述晶圆抓取机构(3)适于将晶圆旋转机构(2)上的晶圆抓取至石墨盘移动机构(4)的石墨盘上。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆用自动安装装置，其特征在于，包括平板(1)，所述平板(1)的上端面上固定连接有晶圆旋转机构(2)、晶圆抓取机构(3)以及石墨盘移动机构(4)，所述晶圆抓取机构(3)设置在晶圆旋转机构(2)与石墨盘移动机构(4)之间；
所述晶圆抓取机构(3)适于将晶圆旋转机构(2)上的晶圆抓取至石墨盘移动机构(4)的石墨盘上。


2.根据权利要求1所述的晶圆用自动安装装置，其特征在于，所述石墨盘移动机构(4)包括第三滑台底板(41)、第四滑台底板(42)以及用于支撑石墨盘的托板(43)，所述托板(43)的下端固定连接有可在第三滑台底板(41)上左右滑动的第三螺母(431)，所述第三滑台底板(41)上转动连接有第三丝杆(411)，所述第三螺母(431)螺纹连接在第三丝杆(411)上，所述第三滑台底板(41)的侧壁面上固定连接有第三电机(412)，所述第三电机(412)的输出轴与第三丝杆(411)固定连接，且所述第三电机(412)带动第三丝杆(411)转动以使托板(43)在平板(1)上方左右移动；
所述第三滑台底板(41)的下端固定连接有可在第四滑台底板(42)上前后滑动的第四螺母(413)，所述第四滑台底板(42)上转动连接有第四丝杆(421)，所述第四螺母(413)螺纹连接在第四丝杆(421)上，所述第四滑台底板(42)的侧壁面上固定连接有第四电机(422)，所述第四电机(422)的输出轴与第四丝杆(421)固定连接，且所述第四电机(422)带动第四丝杆(421)转动以使托板(43)在平板(1)上方前后移动；
所述托板(43)的左端固定连接有定位板(432)，所述托板(43)的右端滑动连接有夹紧板(433)，所述托板(43)的上端面、定位板(432)的右端面以及夹紧板(433)的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区；
所述定位板(432)上设有夹紧气缸(434)，所述定位板(432)的上端开设有避让槽，所述夹紧气缸(434)的缸体固定连接在定位板(432)的左端面上，所述夹紧气缸(434)的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块(44)，且所述夹紧气缸(434)带动压紧块(44)左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内；
所述定位板(432)与夹紧板(433)之间设有位移杆(45)，所述位移杆(45)的一端固定连接在定位板(432)上，所述位移杆(45)的另一端滑动连接在夹紧板(433)上，所述夹紧板(433)上固定连接有锁紧块(46)，所述锁紧块(46)与所述位移杆(45)相配合，所述夹紧板(433)的下端固定连接有位移滑块(47)，所述托板(43)的上端固定连接有位移导轨(471)，所述位移滑块(47)滑动连接在位移导轨(471)上，所述夹紧板(433)在托板(43)上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。


3.根据权利要求2所述的晶圆用自动安装装置，其特征在于，所述石墨盘移动机构(4)还包括横梁(48)，所述横梁(48)固定连接在平板(1)上，所述横梁(48)上滑动连接有推料座(481)，所述横梁(48)的前端固定连接有推料电机(482)，所述推料电机(482)的输出轴上固定连接有主推料齿轮，所述主推料齿轮上啮合有推料皮带(483)，所述横梁(48)的后端转动连接有副推料齿轮，所述推料皮带(483)与所述副推料齿轮相啮合；
所述推料座(481)的下端固定连接有齿板(484)，所述齿板(484)的上端面与推料座(481)的下端面之间形成移动间隙，所述推料皮带(483)设置在移动间隙内，且所述齿板(484)上的齿与所述推料皮带(483)上的齿相配合以带动推料座(481)在横梁(48)上前后移动；
所述推料座(481)上端设有推料气缸(485)，所述推料气缸(485)的缸体固定连接在推料座(481)上，所述推料气缸(485)的推杆上固定连接有推料板(486)，所述推料板(486)的前后两端均滑动连接有推送销(487)，且两个推送销(487)之间设有缓冲弹簧(488)；
所述平板(1)的侧壁面上滑动连接有料架(49)，所述料架(49)上开设有多个用于放置石墨盘的储料室(491)，所述储料室(491)的左壁面上开设有推料口(492)，所述推料板(486)滑动连接在推料口(492)内，且所述推料板(486)前后滑动并将储料室(491)内的石墨盘移动至固定区内；
所述料架(49)的下端固定连接有送料螺母(493)，所述平板(1)的侧壁面上固定连接有送料电机(494)，所述送料电机(494)的输出轴上固定连接有送料丝杆(495)，所述送料螺母(493)螺纹连接在送料丝杆(495)上，且所述送料电机(494)带动送料丝杆(495)转动以使料架(49)上下移动。


4.根据权利要求3所述的晶圆用自动安装装置，其特征在于，所述晶圆旋转机构(2)包括晶圆旋转支撑板(21)，所述晶圆旋转支撑板(21)的下端安装在平板(1)上；
所述晶圆旋转支撑板(21)上开设有旋转孔(211)，所述旋转孔(211)内设有固定环(22)，所述固定环(22)的下端转动连接在晶圆旋转支撑板(21)的旋转孔(211)内，所述固定环(22)的上端固定连接有半圆形挡板(221)以及弹簧座(23)，所述半圆形挡板(221)的侧壁面与固定环(22)的上端面之间形成L形支撑槽，所述弹簧座(23)与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环(5)的夹紧区；
所述弹簧座(23)的下端固定连接在固定环(22)的上端面上，所述弹簧座(23)的左右两端分别转动连接有夹抓(231)，所述夹抓(231)包括夹手端以及顶紧端，所述弹簧座(23)上的弹簧顶紧在夹抓(231)的顶紧端上，并使夹抓(231)的夹手端将扩晶环(5)夹紧在夹紧区内；
所述晶圆旋转支撑板(21)的上设有第一气缸(24)，所述第一气缸(24)的缸体固定连接在晶圆旋转支撑板(21)的上端面上，所述第一气缸(24)的推杆顶紧在两个夹抓(231)的顶紧端上，并使夹抓(231)的夹手端脱离扩晶环(5)。


5.根据权利要求4所述的晶圆用自动安装装置，其特征在于，所述晶圆旋转支撑板(21)上设有换位电机(25)，所述换位电机(25)的法兰端固定连接在晶圆旋转支撑板(21)的下端面上，所述换位电机(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：向军，冯霞霞，封浩，
申请(专利权)人：江苏新智达新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32