一种用于COF湿制程的液浮滚轮制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于COF湿制程的液浮滚轮，包括圆柱体密封腔，该圆柱体密封腔的侧壁上开设有进水口和出水孔，显影液通过进水口进入圆柱形密封腔，后再通过出水孔以液柱形式冲出，在顶起COF产品的同时对COF产品进行显影作用。以上结构中，显影液形成的液柱直接对COF产品进行支撑，而无需其他结构对COF产品接触进行支撑，避免了传统的段差滚轮的尺寸设计，结构简单；同时，还避免了起支撑作用的结构接触COF产品对其干膜及线路造成污染或损伤，提高了COF产品质量。

A kind of floating roller used in the wet process of COF

【技术实现步骤摘要】
一种用于COF湿制程的液浮滚轮
本技术涉及COF(覆晶薄膜)加工
，尤其涉及一种用于COF湿制程的液浮滚轮。
技术介绍
COF是运用软质附加电路板做封装芯片载体将芯片与软性基板电路接合的新兴封装技术，或单指未封装芯片的软质附加电路板。在COF产品的湿制程中显影工序至关重要，是将产品上干膜未曝光的部分显影去除，留下曝光部分；现有的实现该工序的设备为段差滚轮，即在滚轮的周向侧壁上设凹槽、未设凹槽的部位自然形成凸起；并且需要设计适宜于COF产品大小的凹槽及凸起，使COF产品拼版上的废料区与滚轮的周向侧壁上的凸起接触，而COF产品本身的加工区域则位于凹槽中不与段差滚轮接触。但是，由于COF产品的干膜很薄，线路密集纤细，一旦与其他物体接触，则容易造成干膜划伤或者线路损伤，上述显影工序中的段差滚轮、尤其是凸起部分容易在COF产品搬运的过程中与COF产品本身的加工区域接触，或者显影液在凹槽中结晶与COF产品本身的加工区域接触，造成干膜划伤、异物污染或者线路损伤，影响COF产品的品质甚至生产合格率。因此，有必要设计一种新的能够实现COF产品湿制程中显影工序的设备及方法，以避免传统的段差滚轮对COF产品的干膜或线路产生不利影响。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，在于提供一种用于COF湿制程的液浮滚轮，利用本技术的装置及方法，可以无需再进行段差滚轮的尺寸设计，并且避免利用传统的段差滚轮实现显影工序时对COF产品的干膜或线路产生不利影响。本技术解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种用于COF湿制程的液浮滚轮，包括：圆柱体密封腔，所述圆柱体密封腔的侧壁上开设进水口与出水孔；显影液从进水口进入所述圆柱体密封腔再通过所述出水孔从所述圆柱体密封腔喷出、顶起COF产品。。在一种优选的实施方式中，所述圆柱体密封腔包括外层圆柱体密封腔与内层圆柱体密封腔，所述外层圆柱体密封腔套设在所述内层圆柱体密封腔外侧，二者之间形成夹层腔；所述内层圆柱体密封腔的侧壁上设置所述进水口以及出水口，所述外层圆柱体密封腔的侧壁上设置所述出水孔。在一种优选的实施方式中，所述进水口设置在所述内层圆柱体密封腔的端面上，所述出水口设置在所述内层圆柱体密封腔的周向侧壁上；所述出水孔设置在所述外层圆柱体密封腔的周向侧壁上。在一种优选的实施方式中，设置若干所述出水口在所述内层圆柱体密封腔的周向侧壁上沿所述内层圆柱体密封腔的一条母线均匀排列。在一种优选的实施方式中，在所述外层圆柱体密封腔面向COF产品的周向外壁上设置平台，所述平台上设置若干所述出水孔。在一种优选的实施方式中，还包括所述平台上设置的若干所述出水孔呈行、列均匀排布。在一种优选的实施方式中，所述母线位于所述内层圆柱体密封腔的周向侧壁最远离COF产品的位置。在一种优选的实施方式中，所述外层圆柱体密封腔与所述内层圆柱体密封腔邻近所述进水口的端面固定连接；所述外层圆柱体密封腔与所述内层圆柱体密封腔远离所述进水口的端面均向外侧凸出成圆弧面。一种用于COF湿制程的液浮方法，显影液从出水孔以液柱形式冲出，顶起COF产品并对其进行显影作用。在一种优选的实施方式中，设置若干所述出水孔均匀排布，显影液从所述出水孔冲出形成若干排列均匀的液柱对COF产品均匀作用。本技术的有益效果是：本技术中用于COF湿制程的液浮滚轮包括圆柱体密封腔，该圆柱体密封腔的侧壁上开设有进水口和出水孔，显影液通过进水口进入圆柱形密封腔，后再通过出水孔以液柱形式冲出，在顶起COF产品的同时对COF产品进行显影作用。以上结构中，显影液形成的液柱直接对COF产品进行支撑，而无需其他结构对COF产品接触进行支撑，避免了传统的段差滚轮的尺寸设计，结构简单；同时，还避免了起支撑作用的结构接触COF产品对其干膜及线路造成污染或损伤，提高了COF产品质量。附图说明下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。图1是传统的段差滚轮的实施例的结构示意图；图2是本技术中用于COF湿制程的液浮滚轮的一个实施例的主视方向的剖视图；图3是图2实施例的左视方向的剖视图。具体实施方式以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整的描述，以充分地理解本技术的目的、方案和效果。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。需要说明的是，如无特殊说明，当某一特征被称为“固定”、“连接”在另一个特征，它可以直接固定、连接在另一个特征上，也可以间接地固定、连接在另一个特征上。此外，本技术中所使用的上、下、左、右等描述仅仅是相对于附图中本技术各组成部分的相互位置关系来说的，除非另有说明。此外，除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本
的技术人员通常理解的含义相同。本文说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例，而不是为了限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的组合。图1是传统的段差滚轮的实施例的结构示意图，图2是本技术中用于COF湿制程的液浮滚轮的一个实施例的主视方向的剖视图，图3是图2实施例的左视方向的剖视图；参照图2至图3，该用于COF湿制程的液浮滚轮包括：圆柱体密封腔1，进水口2以及出水口孔3。图2、图3中还示出了COF产品A。图2、图3中的箭头所示方向为显影液的流动方向。传统COF湿制程显影工序中的段差滚轮，如图1所示，是在圆柱体滚轮的周向侧壁上设置凹槽7，未设置凹槽的部位自然形成凸起8，设计适宜于COF产品大小的凹槽7及凸起8，使COF产品拼板上的废料区与圆柱体滚轮周向侧壁上的凸起8接触，而COF产品本身的加工区域则位于凹槽7中不与段差滚轮接触，以保护COF产品上的干膜和精细的线路结构。但是，COF产品与段差滚轮的“非接触式”位置关系并不稳定可靠，当COF产品的位置稍有变动，其加工区域仍容易段差滚轮上的凸起接触，或者段差滚轮的凹槽存在清洗死角，显影液容易在死角中产生可能会破坏COF产品上的干膜或线路结构的结晶，影响COF产品质量。本技术中，如图2、3所示，圆柱体密封腔1的侧壁上开设进水口2与出水孔3；显影液以一定速度从进水口2进入圆柱体密封腔1，再通过出水孔3从圆柱体密封腔1喷出，顶起位于出水孔3上方的COF产品并对其进行显影作用。以上结构，避免了对传统的段差滚轮进行尺寸设计，液浮滚轮能够兼容一定尺寸范围内的COF产品，结构简单；同时，避免COF产品与异物接触造成干膜、线路受到污染或损伤，提高了COF产品的质量。本实施例中，优选地，圆柱体密封腔1包括外层圆柱体密封腔101与内层圆柱体密封腔102，且外层圆柱体密封腔101套设在内层圆柱体密封腔102的外侧，二者之间形成夹层腔103；其中，内层圆柱体密封腔102的侧壁上设置进水口2以及出水口4，外层圆柱体密封腔10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于COF湿制程的液浮滚轮，其特征在于，包括：圆柱体密封腔，所述圆柱体密封腔的侧壁上开设进水口与出水孔；显影液从进水口进入所述圆柱体密封腔再通过所述出水孔从所述圆柱体密封腔喷出、顶起COF产品。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于COF湿制程的液浮滚轮，其特征在于，包括：圆柱体密封腔，所述圆柱体密封腔的侧壁上开设进水口与出水孔；显影液从进水口进入所述圆柱体密封腔再通过所述出水孔从所述圆柱体密封腔喷出、顶起COF产品。


2.根据权利要求1所述的用于COF湿制程的液浮滚轮，其特征在于：所述圆柱体密封腔包括外层圆柱体密封腔与内层圆柱体密封腔，所述外层圆柱体密封腔套设在所述内层圆柱体密封腔外侧，二者之间形成夹层腔；所述内层圆柱体密封腔的侧壁上设置所述进水口以及出水口，所述外层圆柱体密封腔的侧壁上设置所述出水孔。


3.根据权利要求2所述的用于COF湿制程的液浮滚轮，其特征在于：所述进水口设置在所述内层圆柱体密封腔的端面上，所述出水口设置在所述内层圆柱体密封腔的周向侧壁上；所述出水孔设置在所述外层圆柱体密封腔的周向侧壁上。


4.根据权利要求3所述的用于COF湿制程的液浮...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨洁，汪洋，孙彬，吴骏，沈洪，李晓华，
申请(专利权)人：江苏上达电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32