【技术实现步骤摘要】
一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件
本专利技术一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，属于传感器
，
技术介绍
传统的流量传感器流量范围较大，基本在毫克以上，因此其流道结构设计为分流模式，通过测量分流后的气体流量，经过计算得整体气体流量。该种测量方法适合毫克级以上的流量测量。而对于微克量级的流量测量，采用分流会导致由于分流流量过小，无法测量流量且压损过大，影响下游工作压力。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，以便在满足高精度及微流量测量要求的同时，实现高可靠、低压损的结构设计。本专利技术采用的技术方案为：一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)...
【技术保护点】
1.一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；/n流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；/n测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)；/n流道组件(3)的外壳体上设有环形跑道形状的凹槽，凹槽底部与流体通道连通；测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成测量单元；测量单元中测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中，测量单元和流道组件(3)外壳体通过电子束焊接方式进行密封。/n
【技术特征摘要】
1.一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；
流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；
测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)；
流道组件(3)的外壳体上设有环形跑道形状的凹槽，凹槽底部与流体通道连通；测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成测量单元；测量单元中测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中，测量单元和流道组件(3)外壳体通过电子束焊接方式进行密封。
2.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：测量元件(1)，包括：四个温度敏感电阻和八个功能端；
四个温度敏感电阻，分别为薄膜电阻R1、薄膜电阻R2、薄膜电阻R3、薄膜电阻R4；
薄膜电阻R1作为上游测温电阻、薄膜电阻R2作为上游加热电阻，薄膜电阻R3作为下游加热电阻，薄膜电阻R4作为下游测温电阻；
八个功能端，上游测温电阻第一测量端、上游测温电阻第二测量端、上游加热电阻第一测量端、上游加热电阻第二测量端、下游测温电阻第一测量端、下游测温电阻第二测量端、下游加热电阻第一测量端、下游加热电阻第二测量端；
薄膜电阻R1的一端连接上游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R1的另一端连接上游测温电阻第二测量端；
薄膜电阻R2的一端连接上游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R2的另一端连接上游加热电阻第二测量端；
薄膜电阻R3的一端连接下游加热电阻第一测量端，薄膜电阻R3的另一端连接下游加热电阻第二测量端；
薄膜电阻R4的一端连接下游测温电阻第一测量端，薄膜电阻R4的另一端连接下游测温电阻第二测量端。
3.根据权利要求1所述的一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于：陶瓷电连接器2，包括：传输基座、焊针、刚性连接圈；
传输基座，包括：导电薄膜层、陶瓷层；导电薄膜层加工在陶瓷层上；
陶瓷层上设置有微孔，焊针的一端通过钎焊的方式插入微孔中，焊针的另一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：付新菊，张恒，吕泰增，关威，刘旭辉，汪旭东，龙军，李秀堂，石召新，杨灵芝，王平，蒋庆华，李恒建，王宇，
申请(专利权)人：北京控制工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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