一种双层金属薄膜太赫兹波分器制造技术

本发明专利技术涉及太赫兹波技术领域，且公开了一种片上双层金属薄膜太赫兹波分器，包括主干直波导，所述主干直波导呈片状设置，所述主干直波导的一端耦合有两个分支波导，两个所述分支波导关于主干直波导对称设置，所述主干直波导和两个分支波导的表面刻有波分器周期结构，所述主干直波导和两个分支波导为双层金属结构，所述主干直波导和两个分支波导的双层金属结构置于基底上。所述主干直波导和两个分支波导上的波分器周期结构两侧设置有若干个槽深渐变结构。所述基底为F4B材质设置。所述金属结构为铜材质设置。所述波分器周期结构通过在金属表面刻蚀槽形成的。该波分器用双层反向对称结构金属薄膜取代传统单层金属薄膜，使得对于电磁波的束缚性更强。

A double layer metal film terahertz wave divider

【技术实现步骤摘要】
一种双层金属薄膜太赫兹波分器
本专利技术涉及太赫兹波
，具体为一种双层金属薄膜太赫兹波分器。
技术介绍
太赫兹波是指频率范围大概在0.1THz-10THz的电磁辐射，其对应的波长范围大概为0.03mm-3mm介于无线电波和光波之间。由于高效率的太赫兹源和探测器等太赫兹器件的开发进展缓慢，因此太赫兹技术发展速度相较其他行业稍显缓慢。但是太赫兹波可以携带大量丰富的信息，且安全性高、定向性好，在许多军事、民用领域都具有着良好的前景。表面等离激元(SPPs)是电磁波激励贵金属表面形成的局域在金属表面的电磁模式。主要工作在可见光、近红外等高频频段，其优势是亚波长束缚。人工表面等离激元(SpoofSPPs)是利用周期排布的特定金属结构，实现微波、太赫兹等低频段类似于SPPs色散特性的表面波，同样具有能量高度束缚等特点。这样的周期排布表面结构的优点在于可以通过调节周期单元的构型、尺寸和排布形式来控制材料的电磁参数，从而获得多种新颖的电磁特性，被称为仿表面等离子激元(SSPPs)。可实现电磁波的有效导引、电磁波调制、电磁功率分配以及表面传感等应用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双层金属薄膜太赫兹波分器，包括主干直波导(1)，其特征在于：所述主干直波导(1)呈片状设置，所述主干直波导(1)的一端耦合有两个分支波导(2)，两个所述分支波导(2)关于主干直波导(1)对称设置，所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)的表面刻有波分器周期结构(3)，所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)为双层金属结构，所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)的双层金属结构置于基底上。/n

【技术特征摘要】
1.一种双层金属薄膜太赫兹波分器，包括主干直波导(1)，其特征在于：所述主干直波导(1)呈片状设置，所述主干直波导(1)的一端耦合有两个分支波导(2)，两个所述分支波导(2)关于主干直波导(1)对称设置，所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)的表面刻有波分器周期结构(3)，所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)为双层金属结构，所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)的双层金属结构置于基底上。


2.根据权利要求1所述的一种双层金属薄膜太赫兹波分器，其特征在于：所述主干直波导(1)和两个分支波导(2)上的波分器周期结构(3)两层均设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟任斌，梁泽坤，黄倢彪，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51