一种高性能储能薄膜的制备方法技术

本发明专利技术的一种高性能储能薄膜的制备方法，具体为Pb

A preparation method of high performance energy storage film

【技术实现步骤摘要】
一种高性能储能薄膜的制备方法
本专利技术属于功能材料领域，具体涉及一种Pb1-3x/2RxZr0.95Ti0.05O3薄膜的溶胶凝胶制备方法。
技术介绍
储能电容器作为脉冲高功率电源的重要组成，需要在短时间内传送大量的能量，高储能密度的介电材料(线性介电材料、反铁电材料、铁电材料)可以满足对电容材料的需求。由于PZT铁电薄膜的极化、退极化相当于电容器的充电、放电过程，PZT薄膜也常被用作储能电容器的介电材料，并且铁电、压电、储能性能都可以通过加入缓存层、调节Zr/Ti比以及掺杂等方法得以改善，近年来引起了研究者的广泛关注。
技术实现思路
Pb1-3x/2RxZr0.95Ti0.05O3薄膜是一种性能优良的介电储能材料，当对其进行掺杂改性后会明显增加其储能性能，使得其在具有较大的击穿场强的同时又具有较大的储能效率，这样不仅为储能材料提供新的思路同时也将有利于该材料在实际中的应用。本专利技术得到的Pb1-3x/2RxZr0.95Ti0.05O3薄膜可以作为介电储能材料，有利于后期制备出具有储能密度大、损耗小且温度稳定性高本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高性能储能薄膜的制备方法，具体为Pb

【技术特征摘要】
1.一种高性能储能薄膜的制备方法，具体为Pb1-3x/2RxZr0.95Ti0.05O3铁电薄膜，其中R为La、Ce、Nd中一种，x＝0.02～0.08，其特征在于，包括如下具体步骤：
(1)称量前将起始原料Pb(CH3COO)2、R(NO3)3、C12H28O4Zr、C16H36O4Ti按照Pb1-3x/2RxZr0.95Ti0.05O3相应的化学计量比称量，其摩尔配比如下：



将原料溶于包含有醋酸、乙酰丙酮和乙二醇甲醚的混合溶剂中，搅拌1～4小时制得Pb1-3x/2RxZr0.95Ti0.05O3的前驱体溶液，其中R为La、Ce、Nd中的一种，x＝0.02～0.08；
(2)将从上至下依次为Pt/Ti/SiO2/Si的基片依次在丙酮、酒精、去离子水中各超声5～20分钟后，氮气枪吹净基片表面去离子水，热板上烘干1～8分钟，等离子清洗机清洗30～240秒，制得干净基片；
(3)将步骤(1)中的制得的前驱体溶液旋涂在步骤(2)制得的干净基片上后，以400～1000转每分钟的低转速旋涂6～20秒，再以3000～6000转每分钟的高转速旋涂20～80秒；
(4)将步骤(3)旋涂后的基片放在200～400℃的第一热板上3～9分钟，然后放在300～500℃的第二热板上3～9分钟，最后放在500～900℃管式炉中3～9分钟；
(5)重复步骤(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭彪林，富永明，王宁章，
申请(专利权)人：广西大学，
类型：发明
国别省市：广西;45