气压式研磨液供给系统技术方案

本实用新型专利技术涉及机械研磨领域，具体而言，涉及一种气压式研磨液供给系统，其包括支撑架、喷洒装置、传动装置以及供液装置；喷洒装置包括存储箱、安装在存储箱上部的进液管以及安装在存储箱底部的若干喷嘴；传动装置包括驱动电机、与驱动电机连接的主动齿轮以及与主动齿轮配合的从动齿轮供液装置包括储液罐、端部伸入到储液罐内部的输液管以及与储液罐连通的气管；该新型所涉及的气压式研磨液供给系统解决了现有技术中供液零部件磨损严重，研磨液的液量不足且渗漏严重，研磨液喷洒范围有限，喷洒不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】
气压式研磨液供给系统
本技术涉及机械研磨领域，具体而言，涉及一种气压式研磨液供给系统。
技术介绍
目前在蓝宝石的上游加工领域，需要对蓝宝石晶片进行精密单面研磨，为控制蓝宝石晶片表面应力、平坦度、粗糙度，需对加工工艺严格控制，其中一项工艺过程是对研磨液流量进行严格控制。目前研磨液供给的主要控制方法是采用蠕动泵驱动四个泵头，将滴液管均匀分布在研磨盘表面，研磨液滴落至盘面，通过调节蠕动泵转速改变滴液量；此种供给方式的缺点是：由于研磨液内含有高硬度研磨剂，在蠕动泵高速运行摩擦挤压蠕动管打液的过程中，供液系统零部件磨损消耗严重，造成研磨液泄露，研磨液渗入泵头轴承内，使泵头损坏，零部件更换频繁，且现有的喷洒装置多是单头喷洒，喷洒的范围有限，喷洒液不均匀，造成在研磨的过程中有些地方研磨不充分，且不能满足尺寸较大或者是一组多个蓝宝石晶片的同步研磨。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种气压式研磨液供给系统，以解决现有技术中供液零部件磨损严重，研磨液的液量不足且渗漏严重，研磨液喷洒范围有限，喷洒不均匀的问题。为了实现上述目的，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气压式研磨液供给系统，其特征在于，包括支撑架(1)、喷洒装置(2)、传动装置以及供液装置；喷洒装置(2)以及传动装置均固定在支撑架(1)上；/n喷洒装置(2)与支撑架(1)可转动连接，包括存储箱(21)、安装在存储箱(21)上部的进液管(22)以及安装在存储箱(21)底部的若干喷嘴(23)，存储箱(21)中空，进液管(22)以及喷嘴(23)均与存储箱(21)连通；/n传动装置包括驱动电机(4)、与驱动电机(4)连接的主动齿轮(5)以及与主动齿轮(5)配合的从动齿轮(3)，从动齿轮(3)同轴固定在存储箱(21)的外围；/n供液装置包括储液罐(6)、端部伸入到储液罐(6)内部的输液管(7)...

【技术特征摘要】
1.一种气压式研磨液供给系统，其特征在于，包括支撑架(1)、喷洒装置(2)、传动装置以及供液装置；喷洒装置(2)以及传动装置均固定在支撑架(1)上；
喷洒装置(2)与支撑架(1)可转动连接，包括存储箱(21)、安装在存储箱(21)上部的进液管(22)以及安装在存储箱(21)底部的若干喷嘴(23)，存储箱(21)中空，进液管(22)以及喷嘴(23)均与存储箱(21)连通；
传动装置包括驱动电机(4)、与驱动电机(4)连接的主动齿轮(5)以及与主动齿轮(5)配合的从动齿轮(3)，从动齿轮(3)同轴固定在存储箱(21)的外围；
供液装置包括储液罐(6)、端部伸入到储液罐(6)内部的输液管(7)以及与储液罐(6)连通的气管(8)，输液管(7)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东，李长生，
申请(专利权)人：青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37