X射线分光分析装置制造方法及图纸

一种X射线分光分析装置，具备：激发源(12)，向试样(S)的照射区域(A)照射激发线；衍射部件(14)，设置为面向照射区域(A)；狭缝部件(13)，设置在照射区域(A)和衍射部件(13)之间，具有与照射区域(A)及衍射部件(14)的规定的面平行的狭缝；X射线线性传感器(15)，具有在与狭缝的长度方向垂直的方向上排列有多个检测元件而形成的光入射面；第1移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述衍射部件移动，从而变更所述试样表面与所述规定的面所成的角度、或/和所述试样表面与所述规定的面之间的距离；第2移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述X射线线性传感器移动，从而使该X射线线性传感器位于通过所述狭缝而在所述规定的面衍射的特征X射线的路径上。

X-ray spectrometer

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线分光分析装置
本专利技术涉及对照射了1级X射线或电子射线等激发线的试样发出的特征X射线进行分光并检测每个波长的强度的X射线分光分析装置。
技术介绍
若对试样照射1次X射线或电子射线等激发线，则从该试样发出具有含有元素特有的波长的特征X射线。因此，通过对每个波长测量这样的X射线的强度，能够进行试样的元素分析。在专利文献1及2中记载了一种X射线分光分析装置，具有：对试样的表面的分析点照射激发线的激发源、对从该激发线所照射的试样发出的X射线进行衍射的分光晶体、检测由该分光晶体衍射的X射线的检测器。若对分析点照射激发线，则从该分析点向各个方向发出特征X射线。若着眼于某一个波长的特征X射线，则在特征X射线的发出方向上放置分光晶体的情况下，在该分光晶体中，仅在该特征X射线的波长与对该分光晶体的入射角满足布拉格反射的条件时衍射并反射该特征X射线。因此，通过利用X射线线性传感器测量由该分光晶体以各种角度反射的X射线的强度，能够确定该特征X射线的峰值的波长。由X射线线性传感器测量的特征X射线的波长有时不仅有一个而有多个。在X射线分光分析装置中，将像本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线分光分析装置，其特征在于，具备：/n(a)激发源，在试样表面的规定的照射区域照射用于产生特征X射线的激发线；/n(b)衍射部件，设置为面向所述照射区域；/n(c)狭缝部件，设置在所述照射区域和所述衍射部件之间，具有与该照射区域及该衍射部件的规定的面平行的狭缝；/n(d)X射线线性传感器，具有在与所述狭缝的长度方向垂直的方向上排列有多个检测元件而形成的光入射面；/n(e)第1移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述衍射部件移动，从而变更所述试样表面与所述规定的面所成的角度、或/和所述试样表面与所述规定的面之间的距离；/n(f)第2移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述X射线线...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种X射线分光分析装置，其特征在于，具备：
(a)激发源，在试样表面的规定的照射区域照射用于产生特征X射线的激发线；
(b)衍射部件，设置为面向所述照射区域；
(c)狭缝部件，设置在所述照射区域和所述衍射部件之间，具有与该照射区域及该衍射部件的规定的面平行的狭缝；
(d)X射线线性传感器，具有在与所述狭缝的长度方向垂直的方向上排列有多个检测元件而形成的光入射面；
(e)第1移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述衍射部件移动，从而变更所述试样表面与所述规定的面所成的角度、或/和所述试样表面与所述规定的面之间的距离；
(f)第2移动机构，在与所述长度方向垂直的面内使所述X射线线性传感器移动，由此使该X射线线性传感器位于通过所述狭缝而在所述规定的面衍射的特征X射线的路径上。


2.如权利要求1所述的X射线分光分析装置，其特征在于，所述第1移动机构具备旋转机构及直动机构。


3.如权利要求1所述的X射线分光分析装置，其特征在于，所述第2移动机构具备旋转机构及直动机构。


4.如权利要求1所述的X射线分光分析装置，其特征在于，所述衍射部件从可切换地配置且能够衍射的X射线的波长范围不同的多个衍射部件中选择。


5.如权利要求1所述的X射线分光分析装置，其特征在于，所述X射线线性传感器从可切换地配置且能够检测的X射线的波长范围不同的多个X射线线性传感器中选择。


6.如权利要求1所述的X射线分光分析装置，其特征在于，所述X射线线性传感器将检测元件二维地排列在与长度方向垂直的方向和与该方向正交的方向上，将配置在所述正交的方向上的检测元件的输出信...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤贤治，和泉拓朗，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP