具微结构可形成柱状光束的光学器件制造技术

技术编号:23048385 阅读:49 留言:0更新日期:2020-01-07 14:30
本发明专利技术有关于一种具微结构可形成柱状光束的光学器件,其具有多圈以光学器件的中心向外形成的微结构,其中,多圈微结构相对于光学器件具有一角度,而外圈的微结构的角度大于内圈的微结构的角度,使光学器件能聚焦形成一柱状光束。本发明专利技术不仅减少透镜组的设置,又能保有较好的能量密度。

Optical devices with microstructure that can form cylindrical beams

【技术实现步骤摘要】
具微结构可形成柱状光束的光学器件
本专利技术有关于一种具微结构可形成柱状光束的光学器件,尤其是指一种可通过微结构让光线以不同的角度折射,并于同一轴线上聚焦形成一柱状光束的光学器件;而通过微结构角度的改变,亦能够使柱状光束的焦距以及范围被改变。
技术介绍
按,半导体产业中,电子器件的基板通常以玻璃、蓝宝石或是硅作为材料,而随着产品的多样化,电子器件的需求也随之改变,因此,不同的产品应用就会需要不同尺寸的电子器件,即需要切割基板或晶片,使其达到所需的大小与厚度;目前切割方式中,又以激光切割为主,其可以避免材料表面于切割过程中受到毁损,激光切割是通过光学透镜,使激光光线得以聚焦于一个点或一个区域,常见的一般透镜4将光线聚焦成一个焦点,如图7所示,光学透镜中,锥状透镜5能够将激光光线聚集在一个区域,并形成柱状光束,但其聚焦范围较广,因此能量密度不足以用于现行工业切割的需求,如图8所示;再者,激光光线的焦距会因为光学透镜的关系而有所改变,针对不同厚度或是不同切割需求的材料,就必须变换光束成形的焦距,将光线通过一般透镜4跟锥状透镜5组合的透镜组进行光整形,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具微结构可形成柱状光束的光学器件,其特征在于,包括:具有多圈以所述光学器件的中心向外形成的微结构,其中,所述多圈微结构相对于所述光学器件具有一角度,而外圈的所述微结构的角度大于内圈的所述微结构的角度,使所述光学器件能聚焦形成一柱状光束。/n

【技术特征摘要】
20180629 TW 1071224611.一种具微结构可形成柱状光束的光学器件,其特征在于,包括:具有多圈以所述光学器件的中心向外形成的微结构,其中,所述多圈微结构相对于所述光学器件具有一角度,而外圈的所述微结构的角度大于内圈的所述微结构的角度,使所述光学器件能聚焦形成一柱状光束。


2.如权利要求1所述的具微结构可形成柱状光束的光学器件,其特征在于,所述多圈微结构以所述角度为0°~42°形成于所述光学器件上。


3.如权利要求1所述的具微结构可形成柱状光束的光学器件,其特征在于,所述光学器件的中心设置锥形凸部、一般凸透镜、平面透镜或贯穿孔。


4.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:李武钊陈冠纶
申请(专利权)人:东捷科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

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