一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，包括电子驱动器、MEMS微型鼓风机和微流量泵体，所述电子驱动器的内部设有压电元件，所述电子驱动器的左侧连接有压电振子，所述压电振子通过驱动电路与微流量泵体连接，且微流量泵体的内部设有MEMS微型鼓风机，所述微流量泵体的上侧连接有液体储存器，所述微流量泵体左端设有空气压力传感器，所述空气压力传感器的左侧连接有输送管道，所述输送管道的左侧连接有微型提升器，本实用新型专利技术可连续调整泵的流量,准确率高,响应时间快，由于成本低廉,该装置特别适用于需要完全系统集成和流量控制自动化的应用,可以提供微量位移和动力输出，可以应用于需要大负载、微量精密位移的应用场合。

A micro flow pump device driven by piezoelectricity based on micro drop

【技术实现步骤摘要】
一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置
本技术涉及微流量泵领域，具体是一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置。
技术介绍
微机电加工技术的进步，极大地促进了分析仪器微型化的发展，液体的微流量驱动与控制技术在微型化方面,特别是在微型全分析系统、临床药物微量输液等领域始终是一个具有挑战性的关键问题，由于其压电驱动系统，它比普通的空气压缩设备消耗更低的功率，基本上这种微型鼓风机的工作原理是压电效应，压电元件安装在柔性膜片上，在前一半的时间内，隔膜以预定的频率振动，在下一半时间内，空气被排出，以提供大于或等于振动膜片的位移体积的喷射流量，施加电压的增加可导致微型鼓风机的输出喷嘴处的空气压力增加，传统的微流量泵不能可连续调整微流量泵体的流量,降低了准确率，并且不能提供微量位移。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，以解决传统技术中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，包括电子驱动器、MEMS微型鼓风机、微流量泵体、空气压力传感器和驱动电路，所述电子驱动器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，包括电子驱动器（1）、MEMS 微型鼓风机（8）、微流量泵体（3）、空气压力传感器（5）和驱动电路（2），其特征在于：所述电子驱动器（1）的内部设有压电元件（11），所述电子驱动器（1）的左侧连接有压电振子（10），所述压电振子（10）通过驱动电路（2）与微流量泵体（3）连接，且微流量泵体（3）的内部设有MEMS 微型鼓风机（8），所述微流量泵体（3）的上侧连接有液体储存器（4），所述微流量泵体（3）的下侧连接有水平溶液库（9），所述微流量泵体（3）的左端设有空气压力传感器（6），所述空气压力传感器（6）的左侧连接有输送管道（7），所述输送管道（7）的左...

【技术特征摘要】
1.一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，包括电子驱动器（1）、MEMS微型鼓风机（8）、微流量泵体（3）、空气压力传感器（5）和驱动电路（2），其特征在于：所述电子驱动器（1）的内部设有压电元件（11），所述电子驱动器（1）的左侧连接有压电振子（10），所述压电振子（10）通过驱动电路（2）与微流量泵体（3）连接，且微流量泵体（3）的内部设有MEMS微型鼓风机（8），所述微流量泵体（3）的上侧连接有液体储存器（4），所述微流量泵体（3）的下侧连接有水平溶液库（9），所述微流量泵体（3）的左端设有空气压力传感器（6），所述空气压力传感器（6）的左侧连接有输送管道（7），所述输送管道（7）的左侧连接有微型提升器（6），所述MEMS微型鼓风机（8）的两侧设有输入管（13）和输出管（12）。


2.根据权利要求1所述的一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置，其特征在于：所述微...

【专利技术属性】
技术研发人员：游智予，张晓鹏，韩森，王立远，王瑞桐，
申请(专利权)人：游智予，
类型：新型
国别省市：山东;37