一种高精密可调节电驱动微量泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体、隔膜、微流体芯片和双晶硅膜，所述微量泵泵体的右侧设有ER流体入口，所述ER流体入口的内部设有第一单向阀，所述第一单向阀的左端连接有微流体通道，且微流体通道的上部设有隔膜，所述隔膜的左侧通过微流体通道与第二单向阀连接，所述隔膜的上部设有微流体芯片，所述微流体芯片的上部设有共振线圈，所述微流体芯片的侧面设有双晶硅框架，所述双晶硅框架的内侧设有双晶硅膜，本实用新型专利技术采用隔膜和微流体芯片进行高精度控制，将流体输送到微流体通道并灵活改变其流速，且微量泵可以产生具有可控尺寸和化学成分的微滴，用于提供精确、可重复和独立配送的流量。

【技术实现步骤摘要】
一种高精密可调节电驱动微量泵
本技术涉及微量泵
，具体是一种高精密可调节电驱动微量泵。
技术介绍
当今科学技术发展迅速,更多的场合对流体的流动速度,要求进行精确的控制，在医院及科学实验等场合使用的微量泵可以对药物液体的使用量和速度进行精确控制,电驱动微量泵不只改善了医疗应用中给药方式,还提高了医疗安全水平,同时电驱动微量泵也可应用于生命科学研究、生物化学试验和食品安全监控等特殊领域，微量泵作为主要的驱动元件，可以为整个系统的工作提供驱动力，其中微量恒定流量可以作为微量输送子系统，传统的电驱动微量泵无法高精度调节流动速率，并且噪音比较大,从而降低了微量泵的性能。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高精密可调节电驱动微量泵，以解决传统电驱动微量泵无法高精度调节流动速率，并且噪音比较大,从而降低了微量泵的性能。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体、ER流体入口、隔膜、微流体芯片和双晶硅膜，所述微量泵泵体的右侧设有ER流体入口，所述ER流体入口的内部设有第一单向阀，所述第一单向阀的左端连接有微流体通道，且微流体通道的上部设有隔膜，所述隔膜的左侧通过微流体通道与第二单向阀连接，且第二单向阀的左端设有ER流体出口，所述隔膜的上部设有微流体芯片，所述微流体芯片的上部设有共振线圈，所述共振线圈的侧面设有电极，所述共振线圈的中部设有弹簧，所述微流体芯片的侧面设有双晶硅框架，所述双晶硅框架的内侧设有双晶硅膜，且双晶硅膜的内部设有铝环。优选的，所述隔膜由下隔膜和上隔膜组成，且下隔膜和上隔膜为圆形隔膜，隔膜的半径为1毫米，厚度为30微米，隔膜位于微流体通道之间，隔膜在左侧电极对上施加适当电压时ER流体从右向左流动的情况，ER流向左侧停止，从而导致压力积聚在隔膜下方并向上推动，隔膜上的流体体积被压缩，从而驱动液体流动。优选的，所述双晶硅膜（的内部设有压敏电阻和金属驱动的上层铝膜，可以用于检测膜片的形变情况，另一方面驱动膜片形变大小又决定了微流量泵泵腔的体积变化。优选的，所述微量泵泵体采用非金属惰性材料制成，可以适用于输送高纯度液体。优选的，所述微流体芯片由微传感器、微阀、微通道和过滤网构成，微流体芯片可以对微量流体进行复杂及精确的操作，而且尺寸微小，具有提高响应速度的特点。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术采用高精度且便于控制的微量泵泵体，可以隔膜和微流体芯片进行高精度控制，将流体输送到微流体通道并灵活改变其流速，并在毫秒级和高泵压下快速响应稳定，微量泵可以产生具有可控尺寸和化学成分的微滴，用于提供精确、可重复和独立配送的流量，通过共振线圈和电极进行电信号控制以协同作用时，这些排斥和吸收动作可以产生所需的泵送动作，可以进行控制通道内ER流体的流动，在微流体装置内输送流体并控制其流动速率，具有高灵活性。附图说明图1为本技术剖视结构示意图。图2为本技术双晶硅膜结构示意图。图3为本技术的隔膜变形结构示意图。图中：1-微量泵泵体、2-微流体通道、3-双晶硅框架、4-ER流体出口、5-第二单向阀、6-第一单向阀、7-ER流体入口、8-隔膜、9-微流体芯片、10-电极、11-共振线圈、12-弹簧、13-双晶硅膜、14-铝环。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1～3，本技术实施例中，一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体1、ER流体入口7、隔膜8、微流体芯片9和双晶硅膜13，所述微量泵泵体1的右侧设有ER流体入口7，流动液体通过ER流体入口7进入微量泵泵体1内部，所述ER流体入口7的内部设有第一单向阀6，第一单向阀6可以控制流体的方向，所述第一单向阀6的左端连接有微流体通道2，且微流体通道2的上部设有隔膜8，隔膜8具有控制压强的作用，所述隔膜8的左侧通过微流体通道2与第二单向阀5连接，且第二单向阀5的左端设有ER流体出口4，流动液体通过ER流体出口4从微量泵泵体1的内部流出，所述隔膜8的上部设有微流体芯片9，微流体芯片9可以对微量流体进行复杂及精确的操作，所述微流体芯片9的上部设有共振线圈11，利用共振线圈11可以产生磁场，从而驱动隔膜8进行运动，所述共振线圈11的侧面设有电极10，所述共振线圈11的中部设有弹簧12，弹簧12具有控制隔膜8运动的作用，所述微流体芯片9的侧面设有双晶硅框架3，双晶硅框架3具有固定双晶硅膜13的作用，所述双晶硅框架3的内侧设有双晶硅膜13，且双晶硅膜13的内部设有铝环14，双晶硅膜13和铝环14可以通过外部电路对双晶硅膜13的输出信号进行处理就可以获得对微流量泵的流量信息，所述隔膜8由下隔膜和上隔膜组成，且下隔膜和上隔膜为圆形隔膜，隔膜8的半径为1毫米，厚度为30微米，隔膜8位于微流体通道2之间，隔膜8在左侧电极对上施加适当电压时ER流体从右向左流动的情况，ER流向左侧停止，从而导致压力积聚在隔膜8下方并向上推动，隔膜8上的流体体积被压缩，从而驱动液体流动，所述双晶硅膜的内部设有压敏电阻和金属驱动的上层铝膜，可以用于检测膜片的形变情况，另一方面驱动膜片形变大小又决定了微流量泵泵腔的体积变化，所述微量泵泵体1采用非金属惰性材料制成，可以适用于输送高纯度液体，所述微流体芯片9由微传感器、微阀、微通道和过滤网构成，微流体芯片9可以对微量流体进行复杂及精确的操作，而且尺寸微小，具有提高响应速度的特点。本技术通过外部电场识加在电极10上部，使共振线圈11可以产生磁场，利用弹簧12使隔膜8产生上下振动弯曲变形，由双晶硅膜13进行获得对微流量泵的流量信息，隔膜8向下摆动弯曲变形时，微量泵泵体1内部的腔体增加，腔体内压力减小，使流体可以从ER流体入口7和微流体通道2进入微量泵泵体1内部，同时关闭第一单向阀6，利用微流体芯片9可以对微量流体进行高精度控制，电极10断电时，隔膜8向上摆动弯曲变形时，微量泵泵体1内部的腔体减小，腔体内压力增加，在压力作用下，使流体通过ER流体出口4流出微量泵泵体1，同时关闭第二单向阀5，隔膜8不断振动弯曲变形，使微量泵每次可以进行一次完整的开关循环。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体（1）、ER流体入口（7）、隔膜（8）、微流体芯片（9）和双晶硅膜（13），其特征在于：所述微量泵泵体（1）的右侧设有ER流体入口（7），所述ER流体入口（7）的内部设有第一单向阀（6），所述第一单向阀（6）的左端连接有微流体通道（2），且微流体通道（2）的上部设有隔膜（8），所述隔膜（8）的左侧通过微流体通道（2）与第二单向阀（5）连接，且第二单向阀（5）的左端设有ER流体出口（4），所述隔膜（8）的上部设有微流体芯片（9），所述微流体芯片（9）的上部设有共振线圈（11），所述共振线圈（11）的侧面设有电极（10），所述共振线圈（11）的中部设有弹簧（12），所述微流体芯片（9）的侧面设有双晶硅框架（3），所述双晶硅框架（3）的内侧设有双晶硅膜（13），且双晶硅膜（13）的内部设有铝环（14）。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精密可调节电驱动微量泵，包括微量泵泵体（1）、ER流体入口（7）、隔膜（8）、微流体芯片（9）和双晶硅膜（13），其特征在于：所述微量泵泵体（1）的右侧设有ER流体入口（7），所述ER流体入口（7）的内部设有第一单向阀（6），所述第一单向阀（6）的左端连接有微流体通道（2），且微流体通道（2）的上部设有隔膜（8），所述隔膜（8）的左侧通过微流体通道（2）与第二单向阀（5）连接，且第二单向阀（5）的左端设有ER流体出口（4），所述隔膜（8）的上部设有微流体芯片（9），所述微流体芯片（9）的上部设有共振线圈（11），所述共振线圈（11）的侧面设有电极（10），所述共振线圈（11）的中部设有弹簧（12），所述微流体芯片（9）的侧面设有双晶硅框架（3），所述双晶硅框架（3）的内侧设有双晶硅膜（13...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓鹏，韩森，游智予，王立远，杨允泽，
申请(专利权)人：张晓鹏，
类型：新型
国别省市：山东;37