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一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置制造方法及图纸
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文档序号:23046363
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本实用新型公开了一种基于微滴的压电驱动微流量泵装置,包括电子驱动器、MEMS微型鼓风机和微流量泵体,所述电子驱动器的内部设有压电元件,所述电子驱动器的左侧连接有压电振子,所述压电振子通过驱动电路与微流量泵体连接,且微流量泵体的内部设有MEM...
该专利属于游智予所有,仅供学习研究参考,未经过游智予授权不得商用。
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