【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵
本专利技术涉及一种真空泵。
技术介绍
作为容积型的干式真空泵,已知有例如双螺杆泵。此种螺杆泵具有一对螺杆转子、收容一对螺杆转子的壳体和使一对螺杆转子旋转的驱动机构。通过这一对螺杆转子旋转,气体从壳体的进气口被输送到排气口,从而真空容器内的气体被排出(例如,参考专利文献1)。有时壳体在一对螺杆转子长时间一直工作的情况下被加热成高温。因此,壳体通常采用风冷方式或水冷方式进行冷却。并且,在希望真空泵紧凑化的情况下,在作为其一部分的壳体中如何形成简便且高效的冷却结构变得重要。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2009-185778号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题关于上述冷却结构,由于需要简便的冷却结构,所以需要采用循环型冷却结构。另外,作为冷却介质,一般使用冷却效率比油、冷却液高且容易处理的水。另外,若冷却介质是水,则适合对水的耐受性高的不锈钢制的冷却管。但是,在使用不锈钢制的冷却管的情况下,重要的是设法使不锈钢制的冷却管与壳体均匀地密接, ...
【技术保护点】
1.一种真空泵,其具有:/n泵壳体,其由铸铁构成;以及/n冷却管,其具有外周面和内周面并由不锈钢构成,贯通所述泵壳体,与所述泵壳体密接的所述外周面由敏化层构成。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170807 JP 2017-1527401.一种真空泵,其具有:
泵壳体,其由铸铁构成;以及
冷却管,其具有外周面和内周面并由不锈钢构成,贯通所述泵壳体,与所述泵壳体密接的所述外周面由敏化层构成。
2.根据权利要求1所述的真空泵,其中,
还具有:收容在所述泵壳体内的第一螺杆转子和第二螺杆转子,
所述第一螺杆转子具有螺旋状的第一齿部,所述第二螺杆转子具有与所述第一齿部啮合的螺旋状的第二齿。
3.根据权利要求1或2所述的真空泵,其中,
所述冷却管具有第一冷却管部和与所述第一冷却管部并列的第二冷却管部,
所述第一螺杆转子和所述第二螺杆转子被所述第一冷却管部和所述第二冷却管部所夹持。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:桥本建治,井上英晃,柴山浩司,铃木敏生,
申请(专利权)人:株式会社爱发科,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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