一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述处理方法包括如下步骤：T1：向反应罐中通入六氯二硅烷和氯化氢；T2：向反应罐中通入氮氮二甲基苯胺；T3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。在氮氮二甲基苯胺的催化作用下，六氯二硅烷和氯化氢能够进行快速地反应，从而实现三氯氢硅和四氯化硅的高效回收，从而进一步节约了能源，减少了排放量。本发明专利技术还公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理装置。

A treatment method and device of hexachlorosilane in polysilicon production

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置
本专利技术涉及多晶硅生产领域，更具体地说，涉及一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置。
技术介绍
在多晶硅生产中会产生六氯二硅烷废料。在现有技术中，未对六氯二硅烷废料进行降解，而是对六氯二硅烷废料进行水解后直接将六氯二硅烷废料排出。这样不仅会使排放量增大，而且无法回收六氯二硅烷废料中的三氯氢硅和四氯化硅，从而造成能源的浪费。现有技术中，存在一些对六氯二硅烷进行降解的方法，但是降解反应速度慢，回收效率低。因此，如何设计一种多晶硅生产中六氯二硅烷的处理方法，该处理方法能够回收六氯二硅烷废料中的三氯氢硅和四氯化硅，该方法的回收效率高，从而进一步节约能源，减少排放量，是本领域技术人员亟待解决的关键性问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种多晶硅生产中六氯二硅烷的处理方法，该处理方法能够回收六氯二硅烷废料中的三氯氢硅和四氯化硅，且该方法的回收效率高，从而进一步节约能源，减少排放量。一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述处理方法包括如下步骤：T1：向反本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，其特征在于，所述处理方法包括如下步骤：/nT1：向反应罐(1)中通入六氯二硅烷和氯化氢；/nT2：向反应罐(1)中通入氮氮二甲基苯胺；/nT3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。/n

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，其特征在于，所述处理方法包括如下步骤：
T1：向反应罐(1)中通入六氯二硅烷和氯化氢；
T2：向反应罐(1)中通入氮氮二甲基苯胺；
T3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。


2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，其特征在于，在所述步骤T1之前还包括步骤S2：对所述反应罐(1)进行加热，使所述反应罐(1)的内部温度为设定的温度。


3.根据权利要求2所述的多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，其特征在于，所述设定的温度为90℃±5℃。


4.根据权利要求2所述的多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，其特征在于，所述步骤S2之前还包括步骤S1：利用氮气置换所述反应罐(1)中的水分和空气。


5.根据权利要求1所述的多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述步骤T2之后，所述步骤T3之前还包括步骤T23：检测所述反应罐(1)中的压力是否为设定的压力，如果小于所述设定的压力，那么向所述反应罐(1)中充入氮气；如果大于所述设定的压力，那么对所述反应罐(1)进行泄压。


6.根据权利要求5所述的多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述设定的压力为200kpa±20kpa。


7.一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理装置，其特征在于，包括反应罐(1)，所述反应罐(1)上设置有物料进口(2)、气相出口、催化剂入口，所述物料进口(2)供六氯二硅烷和氯化氢的进入，所述气相出口供反应生成物的流出，所述催化剂入口供氮氮二甲基苯胺的进入。

【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，罗周，向春林，宋垒，
申请(专利权)人：四川永祥新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51