温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述处理方法包括如下步骤：T1：向反应罐中通入六氯二硅烷和氯化氢；T2：向反应罐中通入氮氮二甲基苯胺；T3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以...
该专利属于四川永祥新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥新能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。