用于硅片的毛刷辊双面清洗装置制造方法及图纸

本申请公开了一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，包括机架以及水平设置在机架内的第一皮带和第二皮带，所述第一皮带的尾部与第二皮带的头部上下交错衔接，所述第二皮带设置在第一皮带上方，所述第一皮带的正上方以及第二皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊。该清洗装置通过在毛刷辊两端设置一对可调高度的从动辊对正在受毛刷辊毛刷的硅片进行压紧限位，避免硅片因毛刷辊的力而移位，确保硅片经毛刷辊毛刷干净，从而提高清洗效率，且两个皮带首尾衔接并配以可调节的压辊组件，保证硅片的流畅性，且适合不同规格的硅片，适用性更广。

Double side cleaning device of brush roller for silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
用于硅片的毛刷辊双面清洗装置
本申请涉及硅片领域，特别是一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置。
技术介绍
在光伏或半导体领域，用于硅片的双面毛刷辊清洗装置通常由两个输送带和两个分别设置在两个输送带上下方的毛刷辊组成，在对硅片清洗过程中，两个输送装置之间衔接效果不好容易导致硅片掉落，同时毛刷辊在对硅片毛刷过程中，毛刷辊由于其旋转方向与输送带输送方向相同，容易造成硅片过快的经过毛刷辊，导致硅片产生便宜，从而清洗不干净。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，以克服现有技术中的不足。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：本申请实施例公开了一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：包括机架以及水平设置在机架内的第一输送皮带和第二输送皮带，所述第一输送皮带的尾部与第二输送皮带的头部上下交错衔接，所述第二输送皮带设置在第一输送皮带上方，所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊，一对所述侧板对称设置在机架的前后内壁上，所述侧板顶部凹设有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，一对所述从动辊通过其两端设置的第一轴承座分别与第一滑槽、第三滑槽上下滑动连接，所述毛刷辊通过其两端设置的第二轴承座与第二滑槽上下滑动连接，所述第一轴承座和第二轴承座的顶部均凹设有螺纹孔，所述侧板顶部设有盖板，所述盖板上分别设有延伸至第一滑槽、第二滑槽、第三滑槽内的三个螺栓，三个所述螺栓分别与第一滑槽内第一轴承座上的螺纹孔、第二滑槽内第二轴承座上的螺纹孔以及第三滑槽内第一轴承座上的螺纹孔配合螺纹连接，所述第一输送皮带和第二输送皮带均内设有朝向毛刷辊设置的负压吸片装置。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有多个压辊机构，每个所述压辊机构包括一对U型支撑件和压辊，一对所述支撑件对称设置在机架的前后内壁上，所述压辊的两端与一对U型支撑件卡接。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述U型支撑件的两侧端面上均开设有长条形通孔，所述通孔内设有螺栓，所述U型支撑件通过螺栓与机架内壁固定连接。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述压辊机构有四个，四个所述压辊机构分别设置在第一输送皮带的两端以及第二输送皮带的两端。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述机架内设有通过皮带驱动两根毛刷辊的毛刷辊驱动电机，所述机架内还设有通过皮带同时驱动第一输送皮带和第二输送皮带的皮带驱动电机。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述第一滑槽及第三滑槽内均设有套设在螺栓上的弹簧。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述负压吸片装置包括负压抽吸室以及与负压抽吸室贯通连接的负压源。优选的，在上述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置中，所述第一输送带和第二输送皮带上设有配合负压吸片装置的通孔。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：该清洗装置通过在毛刷辊两端设置一对可调高度的从动辊对正在受毛刷辊毛刷的硅片进行压紧限位，避免硅片因毛刷辊的力而移位，确保硅片经毛刷辊毛刷干净，从而提高清洗效率，且两个皮带首尾衔接并配以可调节的压辊组件，保证硅片的流畅性，且适合不同规格的硅片，适用性更广。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本专利技术具体实施例中用于硅片的毛刷辊双面清洗装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参图1示，本实施例中的用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，包括机架1以及水平设置在机架1内的第一输送皮带2和第二输送皮带3，第一输送皮带2的尾部与第二输送皮带3的头部上下交错衔接，第二输送皮带3设置在第一输送皮带2上方，第一输送皮带2的正上方以及第二输送皮带3的正下方还设有毛刷辊组件4，每个毛刷辊组件4包括一对侧板401、毛刷辊402和一对从动辊403，一对侧板401对称设置在机架1的前后内壁上，侧板401顶部凹设有第一滑槽404、第二滑槽405和第三滑槽406，一对从动辊403通过其两端设置的第一轴承座407分别与第一滑槽404、第三滑槽406上下滑动连接，毛刷辊402通过其两端设置的第二轴承座408与第二滑槽402上下滑动连接，第一轴承座407和第二轴承座408的顶部均凹设有螺纹孔409，侧板401顶部设有盖板410，盖板410上分别设有延伸至第一滑槽404、第二滑槽405、第三滑槽406内的三个螺栓7，三个螺栓7分别与第一滑槽404内第一轴承座407上的螺纹孔409、第二滑槽405内第二轴承座408上的螺纹孔409以及第三滑406槽内第一轴承座407上的螺纹孔409螺纹连接，第一输送皮带2和第二输送皮带3均内设有朝向毛刷辊402设置的负压吸片装置5。进一步的，负压吸片装置5包括负压抽吸室501以及与负压抽吸室501贯通连接的负压源502。进一步的，第一输送带2和第二输送皮带3上设有配合负压吸片装置5的通孔。在该技术方案中，该清洗装置通过在毛刷辊两端设置一对可调高度的从动辊对正在受毛刷辊毛刷的硅片进行压紧限位，避免硅片因毛刷辊的力而移位，确保硅片经毛刷辊毛刷干净，从而提高清洗效率，且两个皮带首尾衔接并配以可调节的压辊组件，保证硅片的流畅性，且适合不同规格的硅片，适用性更广。在一实施例中，第一输送皮带2的正上方以及第二输送皮带3的正下方还设有多个压辊机构6，每个压辊机构6包括一对U型支撑件601和压辊602，一对支撑件601对称设置在机架1的前后内壁上，压辊602的两端与一对U型支撑件601卡接。进一步的，U型支撑件601的两侧端面上均开设有长条形通孔603，通孔603内设有螺栓7，U型支撑件601通过螺栓7与机架1内壁固定连接。松动螺栓后可以通过长条形通孔来调整支撑件的高度从而调整压辊的高度，来适合不同规格的硅片。进一步的，压辊机构6有四个，四个压辊机构6分别设置在第一输送皮带2的两端以及第二输送皮带3的两端。在该技术方案中，通过压辊机构保证两个输送皮带之间输送硅片的稳定性，同时保证硅片与输送皮带处于贴紧的状态，避免硅片滑落损坏。在一实施例中，机架1内设有通过皮带驱动两根毛刷辊402的毛刷辊驱动电机8，机架1内还设有通过皮带同时驱动第一输送皮带2和第二输送皮带3的皮带驱动电机9。在该技术方案中，通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：包括机架以及水平设置在机架内的第一输送皮带和第二输送皮带，所述第一输送皮带的尾部与第二输送皮带的头部上下交错衔接，所述第二输送皮带设置在第一输送皮带上方，所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊，一对所述侧板对称设置在机架的前后内壁上，所述侧板顶部凹设有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，一对所述从动辊通过其两端设置的第一轴承座分别与第一滑槽、第三滑槽上下滑动连接，所述毛刷辊通过其两端设置的第二轴承座与第二滑槽上下滑动连接，所述第一轴承座和第二轴承座的顶部均凹设有螺纹孔，所述侧板顶部设有盖板，所述盖板上分别设有延伸至第一滑槽、第二滑槽、第三滑槽内的三个螺栓，三个所述螺栓分别与第一滑槽内第一轴承座上的螺纹孔、第二滑槽内第二轴承座上的螺纹孔以及第三滑槽内第一轴承座上的螺纹孔配合螺纹连接，所述第一输送皮带和第二输送皮带均内设有朝向毛刷辊设置的负压吸片装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：包括机架以及水平设置在机架内的第一输送皮带和第二输送皮带，所述第一输送皮带的尾部与第二输送皮带的头部上下交错衔接，所述第二输送皮带设置在第一输送皮带上方，所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊，一对所述侧板对称设置在机架的前后内壁上，所述侧板顶部凹设有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，一对所述从动辊通过其两端设置的第一轴承座分别与第一滑槽、第三滑槽上下滑动连接，所述毛刷辊通过其两端设置的第二轴承座与第二滑槽上下滑动连接，所述第一轴承座和第二轴承座的顶部均凹设有螺纹孔，所述侧板顶部设有盖板，所述盖板上分别设有延伸至第一滑槽、第二滑槽、第三滑槽内的三个螺栓，三个所述螺栓分别与第一滑槽内第一轴承座上的螺纹孔、第二滑槽内第二轴承座上的螺纹孔以及第三滑槽内第一轴承座上的螺纹孔配合螺纹连接，所述第一输送皮带和第二输送皮带均内设有朝向毛刷辊设置的负压吸片装置。


2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有多个压辊机构，每个所述压辊机构包括一对U型支撑件和压辊，一对所述支撑件对称设置在机...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32