本实用新型专利技术揭示一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱和退火炉炉台，所述清洁箱内腔的右侧设置有水箱和烘烤鼓风箱，所述清洁箱内腔的左侧设置有吸尘箱，所述水箱和烘烤鼓风箱右侧靠近底部的位置均固定连接有水管，两个所述水管和吸尘管的一端均固定连接有对接环，所述对接环的内腔分别固定连接有冲刷杆、烘烤杆和吸尘杆，所述冲刷杆、烘烤杆和吸尘杆的底部分别设置有清洁刷、吹风口和吸尘器吸口且均通过铰链连接；本实用新型专利技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，通过转杆和固定插杆等结构，可以使对退火炉炉台进行清洁时更加方便快捷，使其可以快速的将退火炉炉台进行吸尘，解决了传统清洁方式效率较慢的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置
本技术涉及退火炉炉台清扫装置
，具体涉及一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，包括加热多个半导体晶片。热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。目前大部分退火炉在使用时都是放置在退火炉炉台上，利用退火炉炉台进行散热，但由于退火炉炉台是暴露在外界的，因此其表面会附着大量的灰尘，当灰尘推挤较多时会对退火炉炉台的散热性能起到影响，从而需要对退火炉炉台进行清扫，保持其表面的洁净；但目前对于退火炉炉台的清洁大部分只是利用人工清洁，效率低下且费时费力，并且在用水进行刷洗后大多是任其风干，拖慢了生产的进程。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱和退火炉炉台，所述清洁箱内腔的右侧设置有水箱和烘烤鼓风箱，所述清洁箱左右两侧靠近顶部的位置均固定连接有卡接环，所述清洁箱内腔的左侧设置有吸尘箱，所述水箱和烘烤鼓风箱右侧靠近底部的位置均固定连接有水管，两个所述水管和吸尘管的一端均固定连接有对接环，所述对接环的内腔分别固定连接有冲刷杆、烘烤杆和吸尘杆，所述冲刷杆烘烤杆和吸尘杆的底部分别设置有清洁刷、吹风口和吸尘器吸口且均通过铰链连接，所述清洁刷、吹风口和吸尘器吸口的正面和背面均开设有卡接槽，所述卡接槽内活动插接有固定插杆，所述固定插杆的左侧一体成型有导向架，所述导向架的顶部设置有推杆，所述推杆的外表面活动套接有夹环，所述推杆通过球形关节与导向架活动连接，所述导向架内侧的左侧固定连接有直导轮，所述导向架内侧的底部设置有万向导轮，所述万向导轮的顶部固定连接有调节块，所述调节块的顶部开设有调节孔，所述调节孔内插接有固定插杆，所述调节块的中央贯穿连接有转杆。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中导向架外侧的右侧开设有调节槽，所述调节槽的侧视图形为半圆环状且开口处与调节块上调节孔的运动轨迹相对应。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中固定插杆和转杆的左侧均开设有与之对应的固定槽，所述固定槽有两个且均与调节孔转动后的位置相对应。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中吸尘箱和烘烤鼓风箱内分别设置有吸尘器和热鼓风机。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中清洁箱的顶部固定连接有推拉杆，所述推拉杆的底部固定连接有箱盖，所述推拉杆的右侧设置有注水口，所述注水口贯穿箱盖且与水箱连通，所述清洁箱底部的四角处均固定连接有滚轮。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中吸尘管和水管的转角处均设置有波纹管，所述吸尘管和两根水管分别与吸尘杆、烘烤杆和冲刷杆内部的内管密封对接。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中清洁刷、吹风口和吸尘器吸口左右两侧的卡接槽均与卡接杆相适配。本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其中清洁刷的底部沿水平等距离开设有三个出水口，所述出水口上开设有多个细密的小孔。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：本技术的高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，通过导向架、卡接杆、万向导轮、直导轮、球形关节、调节块、调节孔、调节槽、转杆和固定插杆等结构，可以使对退火炉炉台进行清洁时更加方便快捷，利用导向架与清洁工具卡接，使其可以快速的将退火炉炉台进行吸尘、冲刷和烘干，实现吸尘、冲刷、烘干一体化，大大加快了清洁的效率，减轻了清洁工人的压力，同时也加快了生产的进程，为工厂节约了大量的清洁时间，解决了传统清洁方式效率较慢的问题。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为清洁箱整体正视剖视结构示意图；图2为清洁箱侧视结构示意图；图3为导向架正视结构示意图；图4为退火炉炉台结构示意图；图5为出水口俯视结构示意图；图6为清洁刷结构示意图；图7为吸尘器吸口结构示意图；图8为吹风口结构示意图；图9为万向导轮收起和放下结构示意图；图10为调节槽结构示意图；图11为固定插杆侧视结构示意图。图中：01、箱盖；02、注水口；03、对接环；04、水箱；05、冲刷杆；06、水管；07、铰链；08、清洁刷；09、滚轮；10、吸尘器吸口；11、吸尘箱；12、吸尘管；13、吸尘杆；14、卡接环；15、清洁箱；16、烘烤杆；17、吹风口；18、内管；19、卡接槽；20、退火炉炉台；21、导向架；22、出水口；23、推杆；24、夹环；25、卡接杆；26、万向导轮；27、直导轮；28、球形关节；29、调节块；30、调节孔；31、调节槽；32、转杆；33、固定插杆；34、烘烤鼓风箱。具体实施方式以下将以图式揭露本技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。本技术的一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱15和退火炉炉台20，清洁箱15内腔的右侧设置有水箱04和烘烤鼓风箱34，清洁箱15左右两侧靠近顶部的位置均固定连接有卡接环14，该结构的设计，可以利用卡接环14将吸尘管12和水管06卡接住，清洁箱15内腔的左侧设置有吸尘箱11，水箱04和烘烤鼓风箱34右侧靠近底部的位置均固定连接有水管06，两个水管06和吸尘管12的一端均固定连接有对接环03，该结构的设计，可以利用对接环03快速稳定的将水管06和吸尘管12与内管18密封连接，防止漏水、漏风和漏灰尘，对接环03的内腔分别固定连接有冲刷杆05、烘烤杆16和吸尘杆13，冲刷杆05、烘烤杆16和吸尘杆13的底部分别设置有清洁刷08、吹风口17和吸尘器吸口10且均通过铰链07连接，清洁刷08、吹风口17和吸尘器吸口10的正面和背面均开设有卡接槽19，该结构的设计，可以利用卡接槽19和卡接杆本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱(15)和退火炉炉台(20)，其特征在于：所述清洁箱(15)内腔的右侧设置有水箱(04)和烘烤鼓风箱(34)，所述清洁箱(15)左右两侧靠近顶部的位置均固定连接有卡接环(14)，所述清洁箱(15)内腔的左侧设置有吸尘箱(11)，所述水箱(04)和烘烤鼓风箱(34)右侧靠近底部的位置均固定连接有水管(06)，两个所述水管(06)和吸尘管(12)的一端均固定连接有对接环(03)，所述对接环(03)的内腔分别固定连接有冲刷杆(05)、烘烤杆(16)和吸尘杆(13)，所述冲刷杆(05)、烘烤杆(16)和吸尘杆(13)的底部分别设置有清洁刷(08)、吹风口(17)和吸尘器吸口(10)且均通过铰链(07)连接，所述清洁刷(08)、吹风口(17)和吸尘器吸口(10)的正面和背面均开设有卡接槽(19)，所述卡接槽(19)内活动插接有固定插杆(33)，所述固定插杆(33)的左侧一体成型有导向架(21)，所述导向架(21)的顶部设置有推杆(23)，所述推杆(23)的外表面活动套接有夹环(24)，所述推杆(23)通过球形关节(28)与导向架(21)活动连接，所述导向架(21)内侧的左侧固定连接有直导轮(27)，所述导向架(21)内侧的底部设置有万向导轮(26)，所述万向导轮(26)的顶部固定连接有调节块(29)，所述调节块(29)的顶部开设有调节孔(30)，所述调节孔(30)内插接有固定插杆(33)，所述调节块(29)的中央贯穿连接有转杆(32)。/n...
【技术特征摘要】
1.一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，包括清洁箱(15)和退火炉炉台(20)，其特征在于：所述清洁箱(15)内腔的右侧设置有水箱(04)和烘烤鼓风箱(34)，所述清洁箱(15)左右两侧靠近顶部的位置均固定连接有卡接环(14)，所述清洁箱(15)内腔的左侧设置有吸尘箱(11)，所述水箱(04)和烘烤鼓风箱(34)右侧靠近底部的位置均固定连接有水管(06)，两个所述水管(06)和吸尘管(12)的一端均固定连接有对接环(03)，所述对接环(03)的内腔分别固定连接有冲刷杆(05)、烘烤杆(16)和吸尘杆(13)，所述冲刷杆(05)、烘烤杆(16)和吸尘杆(13)的底部分别设置有清洁刷(08)、吹风口(17)和吸尘器吸口(10)且均通过铰链(07)连接，所述清洁刷(08)、吹风口(17)和吸尘器吸口(10)的正面和背面均开设有卡接槽(19)，所述卡接槽(19)内活动插接有固定插杆(33)，所述固定插杆(33)的左侧一体成型有导向架(21)，所述导向架(21)的顶部设置有推杆(23)，所述推杆(23)的外表面活动套接有夹环(24)，所述推杆(23)通过球形关节(28)与导向架(21)活动连接，所述导向架(21)内侧的左侧固定连接有直导轮(27)，所述导向架(21)内侧的底部设置有万向导轮(26)，所述万向导轮(26)的顶部固定连接有调节块(29)，所述调节块(29)的顶部开设有调节孔(30)，所述调节孔(30)内插接有固定插杆(33)，所述调节块(29)的中央贯穿连接有转杆(32)。
2.根据权利要求1所述的一种高氢气燃气罩式退火炉炉台清扫装置，其特征在于：所述导向架(21)外侧的右侧开设有调节槽(31)，所述调节槽(31)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶金宝，陈立森，赵雨，王彬，李铁东，孟德志，李超，李彬，王明心，李健，姜作生，
申请(专利权)人：吉林华信新型结构科技有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22
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