【技术实现步骤摘要】
一种可用于曝光机的LED列阵排列模块
本专利技术涉及LED应用
,具体为一种可用于曝光机的LED列阵排列模块。
技术介绍
曝光机,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。因此,电子束光源是否均匀稳定直接决定了曝光成像质量的好坏。现有的曝光机光源一般采用集合型LED光源,即把多颗大功率的LED集中一小块的电路板上,代替旧有的曝光灯。在大面积曝光的应用中,一般是根据曝光面积用多组LED灯简单排列叠加而成,这种叠加结构较难做到曝光均匀,很容易产生不合格产品。因此,有必要对大面积曝光的光源进行改进,对光源的排列组合进行模块化的设计,使得曝光效果均匀稳定,提升曝光光源工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可用于曝光机的LED列阵排列模块,按LED灯珠的掠影角度,按照一定规律列阵排列并形成模块化结构,以解决
技术介绍
中提到的大面积曝光 ...
【技术保护点】
1.一种可用于曝光机的LED列阵排列模块,包括电路板(1),其特征在于,所述电路板(1)平行固定在感光膜载体(8)的下方,所述电路板(1)一端面间隔排列有A组灯(2)和B组灯(3),所述A组灯(2)和B组灯(3)均由若干相同的LED灯珠(4)横向直线排列组成,所述LED灯珠(4)位于其相邻组的两相邻所述LED灯珠(4)的中垂线上,所述B组灯(3)的灯珠数量比所述A组灯(2)的灯珠数量多1个。/n
【技术特征摘要】
1.一种可用于曝光机的LED列阵排列模块,包括电路板(1),其特征在于,所述电路板(1)平行固定在感光膜载体(8)的下方,所述电路板(1)一端面间隔排列有A组灯(2)和B组灯(3),所述A组灯(2)和B组灯(3)均由若干相同的LED灯珠(4)横向直线排列组成,所述LED灯珠(4)位于其相邻组的两相邻所述LED灯珠(4)的中垂线上,所述B组灯(3)的灯珠数量比所述A组灯(2)的灯珠数量多1个。
2.根据权利要求1所述的可用于曝光机的LED列阵排列模块,其特征在于:所述每组相邻的LED灯珠(4)的横向间距(5)均相等,所述相邻组的LED灯珠(4)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:余光辉,
申请(专利权)人:中山市汉斯威尔机械有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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