【技术实现步骤摘要】
一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法
本专利技术属于超导器件制备
，具体涉及一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法。
技术介绍
超导现象早在1911年就为世人所知。目前我国关于超导技术的各项研发均已步入正轨，且进入产业化运作，现已普遍运营在电力行业、通信领域、军事领域以及医疗领域等。随着超导技术的发展，超导量子器件的重要性逐渐突出，尤其在弱磁探测和量子计算领域倍受关注。超导电子学器件中，约瑟夫森结的制备是其中至关重要的一步。超导材料只有在特定的温度下才会呈现零电阻现象。超导材料主要分为高温超导和低温超导两大类，一般在常压下，液氮温度下有超导现象的材料成为高温超导体，在更低温度下才出现超导现象的材料成为低温超导体。约瑟夫森结以诺贝尔奖获得者英国物理学家布赖恩•约瑟夫森命。由两个超导体构成，它们被一个非常薄的非超导电层隔开，所以电子能够穿过绝缘层。当没有电压时超导体间的电流称作约瑟夫森电流（Josephsoncurrent），而电子通过障碍物的运动称作约瑟夫森隧穿（Josephsontunneling）。通过超导路径连结在一起的两个或多...
【技术保护点】
1.一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法，所述铌基约瑟夫森结从上到下依次包括掩膜材料、Nb层、AlO
【技术特征摘要】
1.一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法，所述铌基约瑟夫森结从上到下依次包括掩膜材料、Nb层、AlOx/Al层、Nb层和底层材料，其特征在于，所述铌基约瑟夫森结在加工时处于不中断真空环境的条件，所述刻蚀方法具体步骤如下：
步骤一.真空状态下，将待刻蚀铌基约瑟夫森结样品放入传送装置，传送装置将样品传送至反应离子刻蚀腔；
步骤二.真空状态下向反应离子刻蚀腔内通入刻蚀气体，对待刻蚀样品Nb层进行刻蚀；
步骤三.然后在真空状态下用传送装置将样品传送至离子束刻蚀机，通入惰性气体，刻蚀AlOx/Al层；
步骤四.样品出真空，得到刻蚀后铌基约瑟夫森结超导器件。
2.根据权利要求1所述的一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法，其特征在于，所述刻蚀方法还包括原位保护，步骤三中刻蚀AlOx/Al层后，在真空条件下通过传送装置将样品传送至等离子体CVD腔室，进行原位镀膜保护，然后进行步骤四的操作，使样品出真空，得到刻蚀后铌基约瑟夫森结超导器件。
3.根据权利要求1所述的一种铌基约瑟夫森结刻蚀方...
【专利技术属性】
技术研发人员：谷志强，吴志浩，吴愧，蒋中原，车东晨，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。