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一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法，属于超导器件制备技术领域。具体方法如下：在真空状态下将待刻蚀样品通过传送装置送至反应离子刻蚀腔，通入刻蚀气体，对待刻蚀样品Nb层进行刻蚀；然后在真空状态下通过传送装置将反应离子刻蚀后的样品送入离子束刻蚀机，通入惰...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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