一种RF射频电源的功率检测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种RF射频电源的功率检测系统，包括定向耦合系统和主控系统，所述定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口，所述输入口是为了输送入射功率，所述输出口是为了输出反射功率，所述定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路，通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理，然后将检测的信号传送给主控系统。本发明专利技术，将功率检测设计直接集成在射频电源内部，体积小成本低；将大功率输出的交流信号转化为低压直流信号，便于系统检测射频电源的工作状态。

A power detection system of RF power supply

【技术实现步骤摘要】
一种RF射频电源的功率检测系统
本专利技术涉及功率检测
，具体是一种RF射频电源的功率检测系统。
技术介绍
在射频电源中，核心部分为功率放大模块，在功率放大模块之后往往连接有用于检测其放大功率的功率检测电路，对于射频电源功率检测电路，其性能的好坏直接影响功率放大模块的输出功率的精准度。目前现有的做功率检测多为外接形式的仪器进行测试，检测较为麻烦。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种RF射频电源的功率检测系统，以解决现有技术中的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种RF射频电源的功率检测系统，包括定向耦合系统和主控系统，所述定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口，所述输入口是为了输送入射功率，所述输出口是为了输出反射功率，所述定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路，通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理，然后将检测的信号传送给主控系统。优选的，所述入射功率检测信号的运算电路将入射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控。优选的，所述反射功率检测信号的运算电路将反射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控。优选的，所述入射功率检测信号的运算电路中的R3、R10、R11是对反馈信号粗调和细调的电位器。优选的，所述反射功率检测信号的运算电路中的R23、R18、R19是对反馈信号粗调和细调的电位器。优选的，还包括壳体和功率输出射频头，所述壳体内设置功率检测板和感应线圈，所述感应线圈位于功率检测板的开口处，所述功率输出射频头通过输出功率线连接感应线圈。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术将功率检测设计直接集成在射频电源内部，体积小成本低；将大功率输出的交流信号转化为低压直流信号，便于系统检测射频电源的工作状态。附图说明附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1为本专利技术的定向耦合电路；图2为本专利技术入射功率检测信号的运算电路；图3为本专利技术反射功率检测信号的运算电路；图4为本专利技术的主视图；图5为本专利技术的左视图；图6为本专利技术的俯视图。图中：1、功率检测板；2、壳体；3、感应线圈；4、输出功率线；5、功率输出射频头。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术主要应用输出为27.12Mhz频率，50欧姆阻抗的射频电源输出的检测。请参阅图1-6，本专利技术实施例中，一种RF射频电源的功率检测系统，包括定向耦合系统和主控系统，定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口，输入口是为了输送入射功率，输出口是为了输出反射功率，定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路，通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理，然后将检测的信号传送给主控系统，入射功率检测信号的运算电路将入射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控，反射功率检测信号的运算电路将反射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控，入射功率检测信号的运算电路中的R3、R10、R11是对反馈信号粗调和细调的电位器，反射功率检测信号的运算电路中的R23、R18、R19是对反馈信号粗调和细调的电位器，还包括壳体2和功率输出射频头5，壳体2内设置功率检测板1和感应线圈3，感应线圈3位于功率检测板1的开口处，功率输出射频头5通过输出功率线4连接感应线圈3；理想的定向耦合器输出信号在频率使用范围内比较平稳，且具有一定的方向性；常用的定向耦合器基本有两种类型：一种是由集总参数元器件组成的类似于高频阻抗电桥的方式；另一种是利用分布参数电路的微带方式。前者具有较号的频率特性，在相当宽的频带内定向耦合系数基本恒定，但是收到分离元器件特性的限制，不能使用到超高频带，只能使用在1.5-60MHZ；后者由微带线组成，阻抗连续性比较好，电路简单，缺点是对频率变化敏感。本专利技术的工作原理是：主要将27.12Mhz的功率信号，通过定向耦合电路耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理，然后将检测的信号传送给控制系统；入射功率检测信号的运算电路将入射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控，反射功率检测信号的运算电路将反射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控，入射功率检测信号的运算电路中的R3、R10、R11是对反馈信号粗调和细调的电位器，反射功率检测信号的运算电路中的R23、R18、R19是对反馈信号粗调和细调的电位器。最后应说明的是：以上所述仅为本专利技术的优选实施例而已，并不用于限制本专利技术，尽管参照前述实施例对本专利技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种RF射频电源的功率检测系统，包括定向耦合系统和主控系统，其特征在于：所述定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口，所述输入口是为了输送入射功率，所述输出口是为了输出反射功率，所述定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路，通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理，然后将检测的信号传送给主控系统。/n

【技术特征摘要】
1.一种RF射频电源的功率检测系统，包括定向耦合系统和主控系统，其特征在于：所述定向耦合系统包括输入口、输出口和耦合输出口，所述输入口是为了输送入射功率，所述输出口是为了输出反射功率，所述定向耦合系统还包括入射功率检测信号的运算电路和反射功率检测信号的运算电路，通过定向耦合系统耦出来的入射和反射的比例信号进行滤波和放大处理，然后将检测的信号传送给主控系统。


2.根据权利要求1所述的一种RF射频电源的功率检测系统，其特征在于：所述入射功率检测信号的运算电路将入射功率耦合信号进行滤波及比例运算，然后反馈给主控系统进行功率值大小监控。


3.根据权利要求1所述的一种RF射频电源的功率检测系统，其特征在于：所述反射功率检测信号的运算电路将反射功率耦合信号进行滤波...

【专利技术属性】
技术研发人员：王璐菊，杨章静，吴海荣，耿广善，刘天瑞，
申请(专利权)人：苏州博维仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32