一种质谱仪多级真空抽滤系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种质谱仪多级真空抽滤系统，包括真空腔体、第一分子泵、第二分子泵、机械泵和连接机构，所述真空腔体底端安装有第一分子泵和第二分子泵，所述第一分子泵、第二分子泵和机械泵之间通过连接机构相互连接。本实用新型专利技术，涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空；通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10

【技术实现步骤摘要】
一种质谱仪多级真空抽滤系统


[0001]本技术涉及质谱仪
，具体是一种质谱仪多级真空抽滤系统。

技术介绍

[0002]质谱仪用来做质量筛选的真空腔体，必须要保证相对的真空度才能正常工作，真空度不够会出现灵敏度下降甚至是不出信号的情况，因此保证真空腔体的真空度对仪器的整体性能至关重要。独立的抽真空装置会导致气流波动太大，影响测试重复性的数据，怎样保证大流量的真空抽滤同时还要保证气流的稳定性是此项技术的关键所在。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种质谱仪多级真空抽滤系统，以解决现有技术中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种质谱仪多级真空抽滤系统，包括真空腔体、第一分子泵、第二分子泵、机械泵和连接机构，所述真空腔体底端安装有第一分子泵和第二分子泵，所述第一分子泵、第二分子泵和机械泵之间通过连接机构相互连接。
[0005]优选的，所述连接机构包括第一弯管、直管、三通管、第二弯管和卡箍，所述直管一端通过卡箍固定有第一弯管，直管另一端通过卡箍固定有三通管，所述三通管通过卡箍连接有第二弯管。
[0006]优选的，所述第一弯管与第一分子泵之间通过卡箍连接，所述第二弯管与机械泵之间通过卡箍连接，所述三通管与第二分子泵之间通过卡箍连接。
[0007]优选的，所述卡箍包括第一夹板、连接头、第二夹板和密封圈，所述连接头的截面为T形结构，所述连接头的中部安装有密封圈，所述连接头的外侧安装有第一夹板和第二夹板。
[0008]优选的，所述连接头位于密封圈处设置为圆弧形结构。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：在真空腔体的前后两端同时采用两个涡轮分子泵装置，利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的，然后串联在一起的排气管接入大功率的机械泵进行气流的转换；涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空；通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10
‑6Pa级，大大保证仪器的灵敏度特性。
附图说明
[0010]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]图2为本技术的结构示意图。
[0013]图3为本技术的结构示意图。
[0014]图4为本技术的结构示意图。
[0015]图中：1、真空腔体；2、第一分子泵；3、第二分子泵；4、机械泵；5、连接机构；51、第一弯管；52、直管；53、三通管；54、第二弯管；55、卡箍；551、第一夹板；552、连接头；553、第二夹板；554、密封圈。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
‑
4，本技术实施例中，一种质谱仪多级真空抽滤系统，包括真空腔体1、第一分子泵2、第二分子泵3、机械泵4和连接机构5，所述真空腔体1底端安装有第一分子泵2和第二分子泵3，所述第一分子泵2、第二分子泵3和机械泵4之间通过连接机构5相互连接；所述连接机构5包括第一弯管51、直管52、三通管53、第二弯管54和卡箍55，所述直管52一端通过卡箍55固定有第一弯管51，直管52另一端通过卡箍55固定有三通管53，所述三通管53通过卡箍55连接有第二弯管54。；所述第一弯管51与第一分子泵2之间通过卡箍55连接，所述第二弯管54与机械泵4之间通过卡箍55连接，所述三通管53与第二分子泵3之间通过卡箍55连接；所述卡箍55包括第一夹板551、连接头552、第二夹板553和密封圈554，所述连接头552的截面为T形结构，所述连接头552的中部安装有密封圈554，所述连接头552的外侧安装有第一夹板551和第二夹板553；所述连接头552位于密封圈554处设置为圆弧形结构；在真空腔体的前后两端同时采用两个涡轮分子泵装置，利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的，然后串联在一起的排气管接入大功率的机械泵进行气流的转换。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10
‑6Pa级，大大保证仪器的灵敏度特性。
[0018]本技术的工作原理是：在真空腔体的前后两端同时采用两个涡轮分子泵装置，利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的，然后串联在一起的排气管接入大功率的机械泵进行气流的转换。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。通过两组涡轮分子泵和机械泵的组合设计，能正常保持真空度为10
‑6Pa级，大大保证仪器的灵敏度特性。
[0019]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种质谱仪多级真空抽滤系统，其特征在于：包括真空腔体（1）、第一分子泵（2）、第二分子泵（3）、机械泵（4）和连接机构（5），所述真空腔体（1）底端安装有第一分子泵（2）和第二分子泵（3），所述第一分子泵（2）、第二分子泵（3）和机械泵（4）之间通过连接机构（5）相互连接。2.根据权利要求1所述的一种质谱仪多级真空抽滤系统，其特征在于：所述连接机构（5）包括第一弯管（51）、直管（52）、三通管（53）、第二弯管（54）和卡箍（55），所述直管（52）一端通过卡箍（55）固定有第一弯管（51），直管（52）另一端通过卡箍（55）固定有三通管（53），所述三通管（53）通过卡箍（55）连接有第二弯管（54）。3.根据权利要求2所述的一种质谱仪多级真空抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：王璐菊，吴海荣，杨章静，
申请(专利权)人：苏州博维仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：