一种掩膜板及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种掩膜板及其制备方法，所述掩膜板包括支撑框、支撑网以及掩膜条；所述支撑网由多个支撑架拼接组成，每个支撑架包括开口区域以及支撑条；至少一开口区域，位于所述图形区域下方；彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内。本发明专利技术的技术效果在于，提供一种掩膜板及其制备方法，所述掩膜板为精密掩膜板，采取异形的支撑架，并将支撑架逐一安装在支撑框上表面，形成支撑网，该支撑网用于支撑掩膜条，可以避免现有技术中支撑条旋转导致精度差的技术问题，掩膜板的制备工艺简单，加工难度低，购买成本低廉。

A mask plate and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板及其制备方法
本专利技术涉及掩膜结构领域，尤其是涉及一种掩膜板及其制备方法。
技术介绍
随着智慧终端的迅速发展，对于显示面板的显示品质、耗能效率以及应用场合的要求越来越高。有机电致发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)显示器因具有色彩鲜艳、对比度高、功耗低、延展性佳等诸多优点，成为了显示领域的开发重点。随着OLED显示器制作工艺的日趋成熟，应用领域也越来越广。有机电致发光二极管显示器采用真空蒸镀技术制备OLED薄膜，真空环境(～10-5Pa)中加热有机材料或者金属材料，材料受热升华，通过具有图案的金属掩膜板，在基板表面形成具有一定形状的有机薄膜或者金属薄膜。经历多种材料的连续沉积成膜，即可形成具有多层薄膜的OLED结构。OLED面板厂开发一款OLED屏幕，必须购买金属掩膜板，包括通用型的金属金属掩膜板和精密型的金属掩膜板。其中，通用型的金属掩膜板和精密型的金属掩模板的结构都包括，支撑框和固定在支撑框上的支撑网，支撑网的厚度通常为10-100um。支撑网用激光焊接的方法固定在支撑框上表面。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：/n支撑框，具有多个凹槽；/n支撑网，由多个支撑架拼接组成，设于所述支撑框上表面；以及/n掩膜条，具有至少一图形区域，设于所述支撑网上表面；/n其中，每个支撑架包括：/n至少一开口区域，位于所述图形区域下方；以及/n彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：
支撑框，具有多个凹槽；
支撑网，由多个支撑架拼接组成，设于所述支撑框上表面；以及
掩膜条，具有至少一图形区域，设于所述支撑网上表面；
其中，每个支撑架包括：
至少一开口区域，位于所述图形区域下方；以及
彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内。


2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，
所述凹槽的宽度大于或等于所述支撑条的宽度的两倍。


3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，
所述支撑条包括第一支撑条和第二支撑条；
其中，一支撑架的第二支撑条与另一支撑架的第一支撑条被放置于同一凹槽内。


4.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，
所述凹槽的深度为50um～200um。


5.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，
所述支撑条的厚度为20-100um。


6.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
支撑框提供步骤，提供一支撑框；
支撑网设置步骤，在所述支撑框...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋谦，陈永胜，刘志乔，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42