【技术实现步骤摘要】
一种高精度恒温储液装置及具有其的OLED平板清洗机
本专利技术涉及平板清洗设备
，具体涉及一种高精度恒温储液装置。
技术介绍
在OLED基板的生产加工过程中，常需使用到恒温的药液工件进行清洗等操作，但是现有操作程序多是通过冷热水和药液的混合形成所需温度的水，也有在药液槽中设置加热器来调整药液温度的手段，但是这种加热方式容易造成局部温度过高，影响清洗质量，且长时存放后，药液的温度会产生变化，还是会影响最终的清洗质量。因此，如何来保证进入到清洗工位的药液温度，是目前急需解决的一个技术问题。
技术实现思路
本专利技术目的是要提供一种高精度恒温储液装置，其能够对药液进行冷却和加热，实现对于的药液的恒温保温，从而提高后续工位的平板清洗质量，同时对药液的量进行监测控制，保证具有其的OLED平板清洗机的生产工作的正常进行。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：本专利技术提供了一种高精度恒温储液装置，包括槽体，在槽体中设置有冷却盘、加热器以及循环管路，在所述槽体内设置有温控棒和液位浮球...
【技术保护点】
1.一种高精度恒温储液装置，包括槽体，在槽体中设置有冷却盘、加热器以及循环管路，其特征在于，在所述槽体内设置有温控棒和液位浮球杆，所述温控棒用于检测储液槽中药液温度并反馈温度检测信号至外部的控制器，所述液位浮球杆用于检测储液槽内的药液高度并反馈液位检测信号至外部的控制器，所述控制器根据返回的所述温度检测信号和所述液位检测信号控制进液管、出液管、冷却盘以及加热器的工作。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种高精度恒温储液装置，包括槽体，在槽体中设置有冷却盘、加热器以及循环管路，其特征在于，在所述槽体内设置有温控棒和液位浮球杆，所述温控棒用于检测储液槽中药液温度并反馈温度检测信号至外部的控制器，所述液位浮球杆用于检测储液槽内的药液高度并反馈液位检测信号至外部的控制器，所述控制器根据返回的所述温度检测信号和所述液位检测信号控制进液管、出液管、冷却盘以及加热器的工作。
2.根据权利要求1所述的高精度恒温储液装置，其特征在于，在所述槽体中设置有两根温控棒，包括用于检测高温的第一温控棒和用于检测低温的第二温控棒，所述第一温控棒和所述第二温控棒的信号端分别接入所述控制器。
3.根据权利要求1所述的高精度恒温储液装置，其特征在于，所述液位浮球杆包括浮球管，在所述浮球管内设置有浮球，所述浮球管中设置有至少四个检测点位，分别对应检测上极限液位、下极限液位以及高液位和低液位。
4.根据权利要求1所述的高精度恒温储液装置，其特征在于，所述冷却盘固设于所述槽体的底部，所述加热器包括若干根水平穿设在槽体侧板上的加热管并与侧壁相固定，所述加热器与所述冷却盘相对设置在所述槽体内。
技术研发人员：蒋新，徐浩，窦福存，陈国才，施利君，田丹女，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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