盘管式恒温循环槽制造技术

本实用新型专利技术为了解决现有的循环槽的密封性达不到完全隔绝化学药剂的效果，提供了一种包括槽体、盘管、铁氟龙槽盖和液压缸的盘管式恒温循环槽，槽体于开口处设置有密封垫，铁氟龙槽盖采用转轴安装于槽体顶部，液压缸作为动力源带动铁氟龙槽盖旋转；槽体由外槽体和石英内槽体组成，石英内槽体安装于外槽体内，盘管安装于石英内槽体内，盘管的两个管口分别与外部恒温源的进水口和出水口连通。本实用新型专利技术采用液压缸带动铁氟龙槽盖打开和关闭，实现了槽盖的一键开关功能，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全。

Coil type constant temperature circulating tank

【技术实现步骤摘要】
盘管式恒温循环槽
本技术涉及晶圆清洗设备
，特别是指用于承装清洗溶液的盘管式恒温循环槽。
技术介绍
盘管式恒温循环槽以冷热恒温机作为制冷和加热的高精度恒温源，恒温液体循环流动于盘管对槽内的清洗溶液进行冷热交换实现恒温。晶圆清洗使用的某些化学药剂具有挥发性，严重危害操作人员的身体健康，循环槽需要有极佳的密封性能去阻隔挥发的化学药剂，但是现有的循环槽的密封性还达不到完全隔绝的效果，还需要进一步改进。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：如何提高盘管式恒温循环槽的密封性能，使其能够完全阻隔挥发的化学药剂。为解决上述技术问题，本技术的技术方案如下：盘管式恒温循环槽，包括槽体、盘管、铁氟龙槽盖和液压缸，所述槽体于开口处设置有密封垫，所述铁氟龙槽盖采用转轴安装于所述槽体顶部，所述液压缸作为动力源带动所述铁氟龙槽盖旋转；所述槽体由外槽体和石英内槽体组成，所述石英内槽体安装于所述外槽体内，所述盘管安装于所述石英内槽体内，所述盘管的两个管口分别与外部恒温源的进水口和出水口连通。优选的，所述铁氟龙槽盖与所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.盘管式恒温循环槽，其特征在于，包括槽体、盘管、铁氟龙槽盖和液压缸，所述槽体于开口处设置有密封垫，所述铁氟龙槽盖采用转轴安装于所述槽体顶部，所述液压缸作为动力源带动所述铁氟龙槽盖旋转；/n所述槽体由外槽体和石英内槽体组成，所述石英内槽体安装于所述外槽体内，所述盘管安装于所述石英内槽体内，所述盘管的两个管口分别与外部恒温源的进水口和出水口连通。/n

【技术特征摘要】
1.盘管式恒温循环槽，其特征在于，包括槽体、盘管、铁氟龙槽盖和液压缸，所述槽体于开口处设置有密封垫，所述铁氟龙槽盖采用转轴安装于所述槽体顶部，所述液压缸作为动力源带动所述铁氟龙槽盖旋转；
所述槽体由外槽体和石英内槽体组成，所述石英内槽体安装于所述外槽体内，所述盘管安装于所述石英内槽体内，所述盘管的两个管口分别与外部恒温源的进水口和出水口连通。


2.根据权利要求1所述的盘管式恒温循环槽，其特征在于，所述铁氟龙槽盖与所述转轴固连，所述液压缸的杆件与所述转轴固定，其缸体采用铰接方式固定。


3.根据权利要求1所述的盘管式恒温循环槽，其特征在于，所述液压缸采用纯水液压水缸。


4.根据权利要求3所述的盘管式恒温循环槽，其特征在于，所述铁氟龙槽盖和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静强，徐福兴，
申请(专利权)人：昆山基侑电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32