下载一种高精度恒温储液装置及具有其的OLED平板清洗机的技术资料

文档序号:22939712

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本发明涉及一种高精度恒温储液装置及具有其的OLED平板清洗机,高精度恒温储液装置包括槽体,在槽体中设置有冷却盘、加热器以及循环管路,在所述槽体内设置有温控棒和液位浮球杆,所述温控棒用于检测储液槽中药液温度并反馈温度检测信号至外部的控制器,所...
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