【技术实现步骤摘要】
一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具
本技术属于半导体真空测试领域,特别是涉及一种存在多个独立通道工件的真空测试密封治具。适用于IC装备制造业中涉及到存在多个独立通道工件的真空密封。
技术介绍
目前,在IC晶圆加工设备中,对其设备内部环境的真空度及密封性要求很高,密封性的好坏直接影响着晶圆的加工能否顺利进行。而设备的整体真空度及真空漏率则是由其各组成零部件保证的,因此,必须保证零部件的真空度及漏率的检测结果是可靠的。由于晶圆的加工设备是由多种零部件组装而成的,其整体的密封性的测试可以通过各零部件之间相互组装配合进行。而对于单一零部件的测试而言,有许多特殊工件,例如在同一平面存在多个独立通道的工件,需要用普通治具一个一个测试,费时费力。鉴于上述情况,有必要设计一种专用密封治具以满足此类工件的密封。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题,本技术提供一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具,可以通过此治具来满足同一平面存在多个独立通道工件的密封。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具,包括盲板;盲板上部设有多个O-RING槽,盲板内部设有交汇的通道,盲板下部设有法兰头焊接口;盲板上还设有多个螺纹孔。在O-RING槽内设有O-RING圈。O-RING槽11通过通道与法兰头焊接口连接。盲板通过侧壁打孔加工形成通道,最后将侧壁孔焊接堵死,形成密闭通道。本技术的有益效果为:1.本技术能有效对存在多个独立通道的工件进行密封 ...
【技术保护点】
1.一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具,其特征在于:/n包括盲板;盲板上部设有多个O-RING槽,盲板内部设有交汇的通道,盲板下部设有法兰头焊接口;盲板上还设有多个螺纹孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种多个独立通道交汇真空测试的密封治具,其特征在于:
包括盲板;盲板上部设有多个O-RING槽,盲板内部设有交汇的通道,盲板下部设有法兰头焊接口;盲板上还设有多个螺纹孔。
2.按照权利要求1所述多个独立通道交汇真空测试的密封治具,其特征在于:在O-RING槽内设有O-RIN...
【专利技术属性】
技术研发人员:王新宇,
申请(专利权)人:沈阳富创精密设备有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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