一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，晶体生长炉包括炉体、炉底板、坩埚，升降机构包括可升降的设于炉底板下方的升降台、用于驱动升降台升降的驱动装置、固设于升降台上的导向套、下端固定连接在导向套中的弹性件、下端固定连接在弹性件上端的缓冲杆；缓冲杆可沿自身轴心线方向活动的穿设于导向套中，缓冲杆的上端固定连接在炉底板的下表面；导向套的上端与炉底板之间间隙分布。本实用新型专利技术一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，当炉体抽真空时，炉底板在弹性件的作用下被向上均匀顶起，使接触面保持贴合，提高了炉体的真空度；当炉体破真空时，炉底板的振动被弹性件缓冲，使压力释放均匀，延长了升降机构的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构
本技术涉及一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构。
技术介绍
晶体生长炉用于生长晶体，一般是通过炉底板做升降运动来将原料放入坩埚中或从坩埚中取出生长后的晶体。现有的升降装置，一般是直接通过升降机构与炉底板连接的，其连接为刚性连接。当炉体内抽真空时，炉底板会上升倾斜，造成接触面的不贴合，影响炉体的真空度；当炉体内破真空时，会引起炉底板的振动，压力释放不均匀，影响升降机构的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，为炉底板的升降提供弹性缓冲，不仅提高了炉体的真空度，还延长了升降机构的使用寿命。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，晶体生长炉包括炉体、可升降的设于所述炉体下方的炉底板、设于所述炉底板上的坩埚，所述升降机构包括可升降的设于所述炉底板下方的升降台、用于驱动所述升降台升降的驱动装置、固设于所述升降台上的导向套、下端固定连接在所述导向套中的弹性件、下端固定连接在所述弹性件上端的缓冲杆；所述缓冲杆可沿自身轴心线方向活动的穿设于所述导向套中，所述缓冲杆的上端固定连接在所述炉底板的下表面；所述导向套的上端与所述炉底板之间间隙分布。优选地，所述导向套的下端固设于所述升降台上，所述导向套位于所述升降台和所述炉底板之间。优选地，所述导向套、所述弹性件、所述缓冲杆均同轴延伸。优选地，所述弹性件为弹性伸缩方向平行于竖直方向的弹簧。优选地，所述升降台上设有多个导向套。优选地，所述升降机构还包括连接在所述导向套与所述升降台之间的第一连接块、连接在所述缓冲杆与所述炉底板之间的第二连接块。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：本技术一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，能够为炉底板的升降提供弹性缓冲；当炉体抽真空时，炉底板在弹性件的作用下被向上均匀顶起，使接触面保持贴合，提高了炉体的真空度；当炉体破真空时，炉底板的振动被弹性件缓冲，使压力释放均匀，延长了升降机构的使用寿命。附图说明附图1为本技术装置的结构示意图。其中：1、炉体；2、炉底板；3、坩埚；4、升降台；5、导向套；6、弹性件；7、缓冲杆；8、第一连接块；9、第二连接块。具体实施方式下面结合附图来对本技术的技术方案作进一步的阐述。参见图1所示，上述一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，晶体生长炉包括炉体1、可升降的设于炉体1下方的炉底板2、设于炉底板2上的坩埚3。炉底板2向上紧贴炉体1底部时，两者相互围合形成密闭腔体，坩埚3位于该密闭腔体中。上述一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构包括可升降的设于炉底板2下方的升降台4、用于驱动升降台4升降的驱动装置（图中未示出）、固设于升降台4上的导向套5、下端固定连接在导向套5中的弹性件6、下端固定连接在弹性件6上端的缓冲杆7。缓冲杆7可沿自身轴心线方向活动的穿设于导向套5中，缓冲杆7的上端固定连接在炉底板2的下表面；导向套5的上端与炉底板2之间间隙分布。在本实施例中，导向套5、弹性件6、缓冲杆7均同轴延伸，其轴心线方向平行于竖直方向。通过这个设置，能够为炉底板2的升降提供弹性缓冲；当炉体1抽真空时，炉底板2受到密闭腔体中产生的向上的吸引力，此时，炉底板2在弹性件6的作用下被向上均匀顶起，使接触面保持贴合，提高了炉体1的真空度；当炉体1破真空时，炉底板2的振动被下方的弹性件6缓冲，使压力释放均匀，延长了升降机构的使用寿命。在本实施例中，弹性件6为弹性伸缩方向平行于竖直方向的弹簧。弹簧的下端固设于导向套5的底部，弹簧的上端可沿竖直方向弹性伸缩的设于该导向套5中。在本实施例中，导向套5的下端固设于升降台4上，导向套5位于升降台4和炉底板2之间。上述一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构还包括连接在导向套5与升降台4之间的第一连接块8、连接在缓冲杆7与炉底板2之间的第二连接块9。第一连接块8和第二连接块9均为平行于水平面的连接板，通过设置第一连接块8和第二连接块9，增加连接处的面积，提高了连接的牢固性，有效的提升了该缓冲式升降机构的连接强度。升降台4上设有多个导向套5，每个导向套5中均对应的设有弹性件6和缓冲杆7。通过这个设置，能够对炉底板2施压更为均匀的弹性缓冲力。以下具体阐述下本实施例的工作过程：炉体1抽真空时，炉底板2在真空吸引力的作用下上升，此时通过弹性件6的作用，炉底板2被向上均匀顶起，使接触面保持贴合；炉体1破真空时，炉底板2产生振动，此时通过下方的弹性件6进行缓冲，使压力均匀释放。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，晶体生长炉包括炉体、可升降的设于所述炉体下方的炉底板、设于所述炉底板上的坩埚，其特征在于：所述升降机构包括可升降的设于所述炉底板下方的升降台、用于驱动所述升降台升降的驱动装置、固设于所述升降台上的导向套、下端固定连接在所述导向套中的弹性件、下端固定连接在所述弹性件上端的缓冲杆；所述缓冲杆可沿自身轴心线方向活动的穿设于所述导向套中，所述缓冲杆的上端固定连接在所述炉底板的下表面；所述导向套的上端与所述炉底板之间间隙分布。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，晶体生长炉包括炉体、可升降的设于所述炉体下方的炉底板、设于所述炉底板上的坩埚，其特征在于：所述升降机构包括可升降的设于所述炉底板下方的升降台、用于驱动所述升降台升降的驱动装置、固设于所述升降台上的导向套、下端固定连接在所述导向套中的弹性件、下端固定连接在所述弹性件上端的缓冲杆；所述缓冲杆可沿自身轴心线方向活动的穿设于所述导向套中，所述缓冲杆的上端固定连接在所述炉底板的下表面；所述导向套的上端与所述炉底板之间间隙分布。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，其特征在于：所述导向套的下端固设于所述升降台上，所述导向套位于所述升降台和所述炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：李留臣，周正星，周洁，
申请(专利权)人：江苏星特亮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32