一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。本实用新型专利技术装置采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，提升烘干效率。

【技术实现步骤摘要】
一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置
本技术属于刻蚀SCHMID设备
，具体涉及一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置。
技术介绍
单晶产品在刻蚀SCHMID设备制程中通过：去除硅片背面和边缘的PN结，使硅片上下两面绝缘。去除扩散形成的PSG。其烘干系统采用热风机鼓风后送到风刀由风刀将热风均匀吹撒在硅片上下表面，达到烘干硅片效果。SCHMID刻蚀设备的产能很大部分取决于其滚轮带速，而目前滚轮带速的提升完全受制于其风烘干装置的烘干效果。硅片进过风刀的速度越慢，烘干时间就越长，烘干效果便越好，但产量就越小。反之产量越大。烘干效果便越差。欲达到更大的产量必要提示烘干系统的烘干效率，目前设备本身具有两组风刀烘干，但是目前现有的烘干装置安装的空间有限，两组风刀装置的安装位置很难根据硅片调整，烘干时难以达到最佳的角度和位置，且现有烘干装置的风量和温度也不好进行控制，使得硅片的烘干效率还有很大的提升空间。
技术实现思路
本技术的目的在于：解决目前SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置采用两组风刀的装置，安装有很大的局限性，且风刀风量和温度不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机(1)，其特征在于：还包括设置在风机出风口的加热器(2)，加热器出风口连接有风管(3)，风管(3)的尾端分别连接有上风刀(4)和下风刀(5)，风机(1)还连接有风速控制装置，加热器(2)还连接有加热温度控制装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机(1)，其特征在于：还包括设置在风机出风口的加热器(2)，加热器出风口连接有风管(3)，风管(3)的尾端分别连接有上风刀(4)和下风刀(5)，风机(1)还连接有风速控制装置，加热器(2)还连接有加热温度控制装置。


2.根据权利要求1所述的一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，其特征在于：所述风机(1)包括第一风机和第二风机，加热器(2)包括第一加热器和第二加热器，风管(3)包括第一风管和第二风管，第一风机和第二风机出风口分别设置有第一加热器和第二加热器，第一加热器和第二加热器都分别连接有第一风管和第二风管，第一风管和第二风管的尾端分别连接上风刀(4)和下风刀(5)，第一风机和第二风机分别连接有风速控制装置，第一加热器和第二加热器分别连接有加热温度控制装置。


3.根据权利要求1或2所述的一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，其特征在于：所述风速控制装置包括变频器和用于设定风机速度的模拟量发生器。


4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶春阳，白云平，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51