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本实用新型公开了一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。本实用新型装置采用一组独立...
该专利属于通威太阳能(成都)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能(成都)有限公司授权不得商用。

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